【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置
本技术涉及真空镀膜领域,具体为一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置。
技术介绍
对于较大的、形状复杂的、非平面的工件表面镀膜,工件移动、翻转不容易实现,需要较大的回转空间,而且回转力矩较大。由于是曲面形状,采用传统的固定式阴极镀膜设备无法满足此类工件的镀膜厚度均匀性的要求,必须采取一种新的阴极布置方式,即工件固定不动,阴极沿工件表面法向、等距、反复移动扫描来完成工件表面镀膜工作。而移动阴极在较大的真空镀膜室内沿工件表面做移动镀膜时,阴极自身的布气装置提供的工艺气体分布会随着阴极和工件相对移动位置的改变而变化或不稳定,导致工件表面镀膜的均匀性差及膜层质量不合格,甚至使工件报废。
技术实现思路
本技术的目的在于为移动式阴极真空镀膜设备提供一套结构合理,连接可靠的移动阴极布气管道及设备内部环境布气管道组成的工艺气体供气系统,为设备磁控溅射镀膜提供精准控制的、均匀分布的工艺气体气氛。本技术采用的技术方案如下:一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置,包括真空室体、阴极布气装置和真空室内环境布气装置,所述阴极布气装置包括护罩住阴极体及靶材的阴极外罩,阴极外罩和阴极体绝缘,阴极外罩通过供气管道与工艺气体馈入接口连接,在阴极外罩内部设有通气孔,通气孔把引入的工艺气体分成两路或多路汇合在阴极外罩一端的布气环内,在布气环朝向靶面的一侧均匀分布有多个喷气孔,所述真空室内环境布气装置包括沿真空室体内壁周边均布的多个布气管,在布气管上分布有布气孔,每个布气管单独通过供气管道 ...
【技术保护点】
1.一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置,包括真空室体,其特征在于:还包括阴极布气装置和真空室内环境布气装置,所述阴极布气装置包括护罩住阴极体及靶材的阴极外罩,阴极外罩和阴极体绝缘,阴极外罩通过供气管道与工艺气体馈入接口连接,在阴极外罩内部设有通气孔,通气孔把引入的工艺气体分成两路或多路汇合在阴极外罩一端的布气环内,在布气环朝向靶面的一侧均匀分布有多个喷气孔,所述真空室内环境布气装置包括沿真空室体内壁周边均布的多个布气管,在布气管上分布有布气孔,每个布气管单独通过供气管道与工艺气体馈入接口连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射真空镀膜机工艺气体布气装置,包括真空室体,其特征在于:还包括阴极布气装置和真空室内环境布气装置,所述阴极布气装置包括护罩住阴极体及靶材的阴极外罩,阴极外罩和阴极体绝缘,阴极外罩通过供气管道与工艺气体馈入接口连接,在阴极外罩内部设有通气孔,通气孔把引入的工艺气体分成两路或多路汇合在阴极外罩一端的布气环内,在布气环朝向靶面的一侧均匀分布有多个喷气孔,所述真空室内环境布气装置包括沿真空室体内壁周边均布的多个布气管,在布气管上分布有布气孔,每个布气管单独通过供气管道与工艺气体馈入...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘国利,周毅,李国强,
申请(专利权)人:湖南玉丰真空科学技术有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南;43
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