U型立式多功能双面镀膜生产线制造技术

本实用新型专利技术公开了一种U型立式多功能双面镀膜生产线，包括平行设置的PVD连续真空生产线和CVD连续真空生产线，PVD连续真空生产线的末端与CVD连续真空生产线的首端通过真空平移室衔接，真空平移室用于将基片从PVD连续真空生产线转移至CVD连续真空生产线，以及真空度切换，真空平移室与PVD连续真空生产线、CVD连续真空生产线对接腔室的连接处分别设置有用于封闭进出口的门阀，且真空平移室通过真空管道连接真空抽气系统，在真空平移室内设置有用于转移基片的平移机构。本实用新型专利技术实现了所镀产品多层膜系且不同工艺条件下在真空环境下连续完成，而且实现产品双面镀膜工艺，在满足产品高要求工艺的同时大大提高生产产能。产品高要求工艺的同时大大提高生产产能。产品高要求工艺的同时大大提高生产产能。

【技术实现步骤摘要】
U型立式多功能双面镀膜生产线


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体为一种U型立式多功能双面镀膜生产线。

技术介绍

[0002]真空镀膜的主要工艺有物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）。物理气相沉积(PVD)，指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。化学气相沉积(CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。目前镀膜生产线只能单独的实现PVD和CVD工艺的连续真空环境下镀膜，不能同设备下实现两种不同工艺下的真空环境连续镀膜,特别是针对双面镀膜工艺。

技术实现思路

[0003]针对上述现有技术中存在的问题，本技术提供一种U型立式多功能双面镀膜生产线，实现了所镀产品多层膜系且不同工艺条件下在真空环境下连续完成，而且实现产品双面镀膜工艺，在满足产品高要求工艺的同时大大提高生产产能。
[0004]本技术采用的技术方案如下：U型立式多功能双面镀膜生产线，包括PVD连续真空生产线和CVD连续真空生产线，所述PVD连续真空生产线和CVD连续真空生产线平行设置，PVD连续真空生产线的末端与CVD连续真空生产线的首端通过真空平移室衔接，所述真空平移室用于将基片从PVD连续真空生产线转移至CVD连续真空生产线，以及真空度切换，所述真空平移室与PVD连续真空生产线、CVD连续真空生产线对接腔室的连接处分别设置有用于封闭进出口的门阀，且真空平移室通过真空管道连接真空抽气系统，在所述真空平移室内设置有用于转移基片的平移机构。
[0005]进一步地，所述PVD连续真空生产线依次包括进片室、缓冲室、过渡室、PVD工艺室、气氛隔离室；所述CVD连续真空生产线依次包括气氛隔离室、CVD工艺室、过渡室、缓冲室、出片室，PVD连续真空生产线和CVD连续真空生产线运行方向相反，并采用独立的真空抽气系统。
[0006]进一步地，所述真空平移室整体呈方形，在真空平移室同侧侧壁上开设有基片入口和基片出口，所述平移机构包括平行固定在真空平移室底板上的平移导轨，与平移导轨配合的基片框架传输支架，以及驱动基片框架传输支架沿平移导轨移动的平移驱动装置，所述基片框架传输支架上端固定有磁导向装置，在基片框架传输支架下部对应所述磁导向装置设置有多组输送滚轮，所述多组输送滚轮与固定在基片框架传输支架上的真空电机传动连接，真空电机驱动多组输送滚轮转动并在磁导向装置配合下将基片框架引入或送出基片框架传输支架。
[0007]进一步地，所述平移驱动装置包括伺服马达、同步带主动轮、同步带从动轮、同步带，所述同步带主动轮、同步带从动轮分别设置在真空平移室底板上与基片入口和基片出口对应的两侧，所述同步带绕在同步带主动轮、同步带从动轮之间，所述基片框架传输支架
底部与同步带固定连接，所述伺服马达固定安装真空平移室底板下方，伺服马达输出端延伸至真空平移室内并通过磁流体密封装置与真空平移室密封连接，伺服马达输出端固定连接有第一伞齿轮，所述同步带主动轮同轴固定连接有与所述第一伞齿轮啮合的第二伞齿轮。
[0008]进一步地，在真空平移室底板上对应基片入口和基片出口分别设置有到位传感器。
[0009]进一步地，在所述基片框架传输支架底部安装有与所述平移导轨配合的导轮。
[0010]本技术的U型立式多功能双面镀膜生产线，实现了所镀产品多层膜系且不同工艺条件下在真空环境下连续完成，而且实现产品双面镀膜工艺，在满足产品高要求工艺的同时大大提高生产产能；该设备采用U型结构设计，占地面积小，上下料位置统一在一个位置，方便维护和保养；通过真空平移室不仅实现在真空环境下基片框架平移输送功能，而且能切换真空度，从而满足PVD和CVD两种工艺对真空度的要求。
附图说明
[0011]图1是本技术的整体结构框图。
[0012]图2是本技术的真空平移室的整体结构示意图。
[0013]图3是本技术的真空平移室的内部结构示意图。
[0014]图4是本技术的真空平移室的内部侧面结构示意图。
[0015]图5是本技术的真空平移室的另一视角的侧面局部结构示意图。
具体实施方式
[0016]为了便于理解本技术，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本技术作更全面、细致地描述，但本技术的保护范围并不限于以下具体的实施例。
[0017]如图1所示，本实施例的U型立式多功能双面镀膜生产线，包括PVD连续真空生产线1和CVD连续真空生产线2，所述PVD连续真空生产线1和CVD连续真空生产线2平行设置，PVD连续真空生产线1的末端与CVD连续真空生产线2的首端通过真空平移室3衔接，所述真空平移室3用于将基片从PVD连续真空生产线1转移至CVD连续真空生产线2，以及真空度切换，所述真空平移室3与PVD连续真空生产线1、CVD连续真空生产线2对接腔室的连接处分别设置有用于封闭进出口的门阀，且真空平移室3通过真空管道连接真空抽气系统11，在所述真空平移室3内设置有用于转移基片的平移机构。
[0018]本实施例的PVD连续真空生产线1依次包括进片室4、缓冲室5、过渡室6、PVD工艺室7、气氛隔离室8；所述CVD连续真空生产线2依次包括气氛隔离室8、CVD工艺室9、过渡室6、缓冲室5、出片室10，PVD连续真空生产线1和CVD连续真空生产线2运行方向相反，并采用独立的真空抽气系统。
[0019]其工作原理如下：基片通过进片室4进入真空环境，通过进片室4的抽放气来实现真空和大气的切换，基片通过伺服传动进入真空腔体内部，在PVD工艺室7完成前处理PVD镀膜。气氛隔离室8主要用于气氛隔离的作用，每层膜系的工艺气体会有差别，气氛隔离室8能够实现气氛隔离从而保障工艺室气体的稳定性。PVD工艺制程完成后进入真空平移室3。真空平移室3的目的之一是对真空度的切换，因为PVD和CVD两种工艺真空度要求不一样，通过
真空平移室3与腔体的门阀来实现切换通过真空泵组来实现真空度的变化。基片从真空平移室3进入CVD连续真空生产线2的气氛隔离室8，再进入CVD工艺室9进行制程。最后制程完后进入出片室10，进行真空和大气的切换，从而完成整个工艺流程。
[0020]如图2
‑
图5所示，本实施例的真空平移室3整体呈方形，在真空平移室3同侧侧壁上开设有基片入口3
‑
1和基片出口3
‑
2，所述平移机构包括平行固定在真空平移室3底板上的平移导轨3
‑
3，与平移导轨3
‑
3配合的基片框架传输支架3
‑
4，以及驱动基片框架传输支架3
‑
4沿平移导轨3
‑
3移动的平移驱动装置，基片框架传输支架3
‑
4底部安装有导轮3
‑
15，通过导轮3
‑
15与所述平移导轨3
‑
3配合。
[0021本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.U型立式多功能双面镀膜生产线，其特征在于：包括PVD连续真空生产线（1）和CVD连续真空生产线（2），所述PVD连续真空生产线（1）和CVD连续真空生产线（2）平行设置，PVD连续真空生产线（1）的末端与CVD连续真空生产线（2）的首端通过真空平移室（3）衔接，所述真空平移室（3）用于将基片从PVD连续真空生产线（1）转移至CVD连续真空生产线（2），以及真空度切换，所述真空平移室（3）与PVD连续真空生产线（1）、CVD连续真空生产线（2）对接腔室的连接处分别设置有用于封闭进出口的门阀，且真空平移室（3）通过真空管道连接真空抽气系统（11），在所述真空平移室（3）内设置有用于转移基片的平移机构。2.如权利要求1所述的U型立式多功能双面镀膜生产线，其特征在于：所述PVD连续真空生产线（1）依次包括进片室（4）、缓冲室（5）、过渡室（6）、PVD工艺室（7）、气氛隔离室（8）；所述CVD连续真空生产线（2）依次包括气氛隔离室（8）、CVD工艺室（9）、过渡室（6）、缓冲室（5）、出片室（10），PVD连续真空生产线（1）和CVD连续真空生产线（2）运行方向相反，并采用独立的真空抽气系统。3.如权利要求1所述的U型立式多功能双面镀膜生产线，其特征在于：所述真空平移室（3）整体呈方形，在真空平移室（3）同侧侧壁上开设有基片入口（3
‑
1）和基片出口（3
‑
2），所述平移机构包括平行固定在真空平移室（3）底板上的平移导轨（3
‑
3），与平移导轨（3
‑
3）配合的基片框架传输支架（3
‑
4），以及驱动基片框架传输支架（3
‑
4）沿平移导轨（3
‑
3）移动的平移驱动装置，所述基片框架传输支架（3
‑
4）上端固定有磁导向装置（3
‑
5），在基片框架传输支架（3
‑
4）下部对应所述磁导向装置（3
‑
5）设置有多组输送滚轮（3
‑
6），所述多组输送滚轮（3
‑
6）与固定在基片框架传输支架（3
‑
4）上的真空电机（3
‑
7）传动连接，真空电机（3...

【专利技术属性】
技术研发人员：舒逸，刘光斗，李赞，张巧，袁帅，杨红，欧阳杰，
申请(专利权)人：湖南玉丰真空科学技术有限公司，
类型：新型
国别省市：