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本实用新型公开了一种U型立式多功能双面镀膜生产线，包括平行设置的PVD连续真空生产线和CVD连续真空生产线，PVD连续真空生产线的末端与CVD连续真空生产线的首端通过真空平移室衔接，真空平移室用于将基片从PVD连续真空生产线转移至CVD连续...
该专利属于湖南玉丰真空科学技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南玉丰真空科学技术有限公司授权不得商用。

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