【技术实现步骤摘要】
大型磁控溅射镀膜机的真空室结构
本技术涉及一种大型磁控溅射镀膜机。
技术介绍
一些特殊形状的、大型的制件表面需要做各种功能的镀膜处理，比如大型汽车或特种车辆的风挡玻璃、特大的异形建筑玻璃制件、飞机的机舱罩等，既要解决光学之高透射、防辐射、节能问题，又要解决材料表面电导率、硬度、耐磨损、隐身等问题，需要设计一种大型的磁控溅射镀膜机，以满足这类特殊产品的镀膜需求。此大型镀膜机真空室的组合结构要满足真空室每个部分的抗压强度，满足高真空密封的要求，还要满足取放工件的大开度要求。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求的大型磁控溅射镀膜机真空室结构。本技术采用的技术方案如下：大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电...
【技术保护点】
1.大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，其特征在于：所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。/n
【技术特征摘要】
1.大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，其特征在于：所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。
2.如权利要求1所述的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，其特征在于：所述真空室体中间焊接有双道环形加强筋。
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【专利技术属性】
技术研发人员：刘国利，周毅，李国强，
申请(专利权)人：湖南玉丰真空科学技术有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43
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