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本实用新型公开了一种大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动...
该专利属于湖南玉丰真空科学技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南玉丰真空科学技术有限公司授权不得商用。

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