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本实用新型涉及一种溅射靶材交变箱，包括上箱体和下箱体、与上箱体转动连接的箱门、设置在上箱体内的置物台、设置在上箱体内壁上的出风口和传感器、设置在下箱体内的温度控制系统，温度控制系统包括温度调节开关、时间控制开关、与温度调节开关和时间控制开关...
该专利属于中诺新材(北京)科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中诺新材(北京)科技有限公司授权不得商用。

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