【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于激光衍射测量的
一九七五年的《仪器与技术》(Appar tus and Technlgues)登载南非B.D.Rothberg Bitty的“激光对微应力装置定标的应用”中，提出用激光衍射装置测量系统，测量微小狭缝的应力变形，当狭缝宽度为250微米时，其测量分辨率只能达到一个微米左右，无法满足分辨率达百分之几微米的实际测量要求。本专利技术的目的是为了提高激光衍射测量技术的分辨率和测量精度，专利技术人将光学空间滤波技术和电子学中的低噪声微分电路等技术引入了激光衍射测量的领域，使仪器分辨率达到了0.0018微米(待测狭缝公称尺寸为30微米)。本专利技术的主要特征是在激光远场衍射光路中引入了光学空间滤波器，从而提高了仪器对被测工件尺寸微小变化的响应灵敏度，另外被测信号输入激光信号分析仪进行处理，利用低噪声微分电路精确地找出了远场衍射光第一零点的位置，排除了激光功率波动和电子器件温度漂移对测量结果的干扰。下面结合实施例将本专利技术的技术特征叙述如下自单横模氦氖激光器(1)发出的激光，由分光板及全反射棱镜构成的分光器(2)分成强度相等的两...
【技术保护点】
一种高分辨率激光衍射测量仪器。仪器中激光器（１）发出的激光由分光板及全反射棱镜构成的分光器（２）分成强度相等的两束光，其特征是这两束光分别通过由电致伸缩陶瓷微位移器（３）、（４）驱动的刀口平尺（５）、（６）与待测工件两边缘组成的两道狭缝，从而形成两束远场衍射光。在与这两道狭缝距离为Ｌ和平面上分别放有两个光学空间滤波器（７）、（８），两束远场衍射光通过这两个滤波器后，分别由探测器（９）、（１０）接收，并分别通过激光信号分析仪（１１）的通道Ａ和通道Ｂ送入该分析仪，实现对工件进行测量和按尺寸分类的功能。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李明，张学山，
申请(专利权)人：天津港湾工程研究所，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]
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