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本发明是关于激光衍射精密尺寸的测量仪器。在这种仪器的远场衍射光路中，安装了光学空间滤波器，远场衍射光通过滤波器后被送入激光信号分析仪，分析仪中包括低噪声微分、非线性补偿和计数译码等电路。由于仪器中应用了这些部件，使仪器的绝对分辨率达到了０．...
该专利属于天津港湾工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过天津港湾工程研究所授权不得商用。

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