加工装置的使用方法制造方法及图纸

提供加工装置的使用方法，按照相同的加工条件利用磨削装置来磨削不同种类的被加工物，节省按照被加工物的种类更换盒的工夫。加工装置的使用方法具有如下步骤：被加工物准备步骤，将集合盒载置于第一盒载置台，将第一种类区分盒载置于第二盒载置台，该集合盒包含分别对以相同的加工条件进行加工的多个种类的被加工物进行收纳的多个层，该第一种类区分盒收纳加工后的被加工物中的第一种类的被加工物；登记步骤，将第一种类的被加工物被收纳于集合盒的第几层的信息登记于控制单元；磨削步骤，利用磨削单元对从集合盒中搬出的第一种类的被加工物进行磨削；和收纳步骤，将磨削后的第一种类的被加工物根据登记于控制单元的信息而收纳于第一种类区分盒。

【技术实现步骤摘要】
加工装置的使用方法
本专利技术涉及利用磨削单元对被加工物进行磨削的加工装置的使用方法。
技术介绍
在正面侧形成有IC(integratedcircuit，集成电路)、LSI(large-scaleintegratedcircuit，大规模集成电路)等器件的圆盘状的被加工物在通过切削装置等分割成各个器件之前，通过磨削装置对被加工物的背面侧进行磨削而加工成规定的厚度。磨削装置例如具有卡盘工作台。卡盘工作台具有隔着保护带而对被加工物进行吸引保持的功能。在卡盘工作台的上方设置有磨削磨轮，在磨削磨轮的下表面侧呈环状排列有磨削磨具。另外，在磨削磨轮的上表面侧连结有使磨削磨轮旋转的主轴(参照专利文献1)。在磨削装置中例如设置有两个盒载置台，在一个盒载置台上载置收纳有磨削前的被加工物的一个盒。一个盒通常能够收纳多张被加工物，例如收纳于一个盒中的多个被加工物在利用相同的磨削条件进行了加工之后，被收纳于另一个盒载置台上所载置的另一个盒中或返回一个盒中。另外，在使每一批量的被加工物的数量为少数(例如一张至十张左右)且制造彼此不同的多个批量的被加工物的工厂等中，有时多个被加工物按照每个批量而收纳于不同的盒中。例如将属于第一批量的一个或多个被加工物收纳于第一盒中，将属于第二批量的一个或多个被加工物收纳于第二盒中，将属于第三批量的一个或多个被加工物收纳于第三盒中。在这样将多个被加工物按照每个批量而收纳于不同的盒中的情况下，为了在与各批量对应的加工条件(磨削条件)下使磨削装置全自动地进行动作而利用磨削装置对所有的被加工物进行磨削，需要按照每个批量更换盒。具体而言，在利用磨削装置对收纳于第一盒中的所有被加工物进行了磨削之后，需要将第一盒更换为第二盒。然后，在利用磨削装置对收纳于第二盒的所有被加工物进行了磨削之后，需要将第二盒更换为第三盒。专利文献1：日本特开2013-255952在这样仅将属于规定的批量的(即、相同种类的)一个或多个被加工物收纳于一个盒中的情况下，为了利用磨削装置对不同种类的被加工物进行磨削，需要按照被加工物的每个种类来更换盒。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供加工装置的使用方法，在相同的加工条件下利用磨削装置对不同种类的被加工物进行磨削，因此节省了按照被加工物的每个种类更换盒的工夫。根据本专利技术的一个方式，提供加工装置的使用方法，该加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；磨削单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行磨削；第一盒载置台和第二盒载置台，它们分别载置对该被加工物进行收纳的盒；以及控制单元，其对该卡盘工作台和该磨削单元的动作进行控制，其特征在于，该加工装置的使用方法具有如下的步骤：被加工物准备步骤，将集合盒载置于该第一盒载置台上，将第一种类区分盒载置于该第二盒载置台上，所述集合盒包含分别对以相同的加工条件进行加工的多个种类的被加工物进行收纳的多个层，所述第一种类区分盒对加工后的被加工物中的第一种类的被加工物进行收纳；登记步骤，将该第一种类的被加工物被收纳于该集合盒的第几层的信息登记在该控制单元中；磨削步骤，利用该磨削单元对从该集合盒中搬出的该第一种类的被加工物进行磨削；以及收纳步骤，将通过该磨削步骤进行了磨削的该第一种类的被加工物根据登记在该控制单元中的该信息而收纳于该第一种类区分盒中。优选该加工装置还具有通知警告信息的通知单元，该加工装置的使用方法还具有如下的通知步骤：在该收纳步骤之后，为了将与收纳于该第一种类区分盒中的该第一种类的被加工物不同的第二种类的被加工物收纳于与该第一种类区分盒不同的第二种类区分盒中，该通知单元发出将载置于该第二盒载置台上的该第一种类区分盒更换成该第二种类区分盒的警告。另外，优选该加工装置还包含载置其他种类区分盒的其他盒载置台，该加工装置的使用方法还具有如下的其他收纳步骤：将与收纳于该第一种类区分盒中的被加工物不同种类的其他被加工物根据登记在该控制单元中的该信息而收纳于该其他种类区分盒中。另外，优选该集合盒具有分别配置一个被加工物的多对支承架，在该集合盒中，从该多对支承架中的位于该集合盒的高度方向的端部的一对支承架起依次按照种类排列收纳有被加工物，在该磨削步骤中，对从位于该端部的一对支承架起依次被搬出的多个被加工物按照所搬出的顺序进行加工。在本专利技术的一个方式的磨削装置的使用方法中，在对多个种类的被加工物进行加工的情况下，将以相同的加工条件进行加工的多个种类的被加工物收纳于一个集合盒中。因此，在相同的加工条件下利用磨削装置对不同种类的被加工物进行磨削，因此能够节省按照被加工物的每个种类更换盒的工夫。另外，在登记步骤中，将相同种类的被加工物被收纳于集合盒的第几层的信息登记在控制单元中。并且，在收纳步骤中，根据登记在控制单元的信息而将利用磨削步骤进行了磨削的第一种类的被加工物被收纳于第一种类区分盒中，其他种类的被加工物未收纳于第一种类区分盒中。因此，能够防止将不同种类的被加工物收纳于第一种类区分盒中。附图说明图1是示出磨削装置的立体图。图2是示出集合盒的内部的图。图3是对被加工物的处理工序的一部分进行说明的图。图4的(A)是示出搬入了加工后的被加工物的第一种类区分盒的内部的图，图4的(B)是示出残留有加工前的多个被加工物的集合盒的内部的图。图5是对被加工物的处理工序的另一部分进行说明的图。图6是示出磨削装置中的处理工序的全图的图。图7是将带贴带机的磨削装置简略化而得的俯视图。图8是示出带贴带机的磨削装置中的处理工序的全图的图。标号说明2：磨削装置(加工装置)；4：基台；4a：凹部；6：被加工物搬送机器人；8a：盒载置台；8b：盒载置台；10a：集合盒；10a1：支承架；10b：第一种类区分盒；10b1：支承架；10c：第二种类区分盒；11：被加工物；11a1、11a2、11a3：被加工物；11b1、11b2、11b3：被加工物；11c1、11c2、11c3：被加工物；11A：第一批量；11B：第二批量；11C：第三批量；12：定位台；13a：正面；13b：背面；14：被加工物搬入机构(装载臂)；15：环状框架；16：旋转台；17：划片带；18：卡盘工作台；18a：保持面；19：框架单元；20a、20b：支承构造；22：Z轴移动机构；24：Z轴导轨；26：Z轴移动板；28：Z轴滚珠丝杠；30：Z轴脉冲电动机；32：固定件；34a：粗磨削单元；34b：精磨削单元；36：主轴；38：主轴电动机；40：磨轮安装座；42a：粗磨削磨轮；42b：精磨削磨轮；50：被加工物搬出机构(卸载臂)；52：搬送单元；54：旋转清洗装置；56a：触摸面板；56b：警告灯(通知单元)；58：控制单元；58a：加工条件存储部；58b：配置信息登记部；58c：盒更换条件登记部；60：带贴带机的磨削装置(加工装置)；62：UV照射装置；64：贴带机；66：通用搬送单元；66a：轨道部；66b：臂部；68：检查本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加工装置的使用方法，该加工装置具有：/n卡盘工作台，其对被加工物进行保持；/n磨削单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行磨削；/n第一盒载置台和第二盒载置台，它们分别载置对该被加工物进行收纳的盒；以及/n控制单元，其对该卡盘工作台和该磨削单元的动作进行控制，/n其特征在于，/n该加工装置的使用方法具有如下的步骤：/n被加工物准备步骤，将集合盒载置于该第一盒载置台上，将第一种类区分盒载置于该第二盒载置台上，所述集合盒包含分别对以相同的加工条件进行加工的多个种类的被加工物进行收纳的多个层，所述第一种类区分盒对加工后的被加工物中的第一种类的被加工物进行收纳；/n登记步骤，将该第一种类的被加工物被收纳于该集合盒的第几层的信息登记在该控制单元中；/n磨削步骤，利用该磨削单元对从该集合盒中搬出的该第一种类的被加工物进行磨削；以及/n收纳步骤，将通过该磨削步骤进行了磨削的该第一种类的被加工物根据登记在该控制单元中的该信息而收纳于该第一种类区分盒中。/n

【技术特征摘要】
20190125 JP 2019-0116871.一种加工装置的使用方法，该加工装置具有：
卡盘工作台，其对被加工物进行保持；
磨削单元，其对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行磨削；
第一盒载置台和第二盒载置台，它们分别载置对该被加工物进行收纳的盒；以及
控制单元，其对该卡盘工作台和该磨削单元的动作进行控制，
其特征在于，
该加工装置的使用方法具有如下的步骤：
被加工物准备步骤，将集合盒载置于该第一盒载置台上，将第一种类区分盒载置于该第二盒载置台上，所述集合盒包含分别对以相同的加工条件进行加工的多个种类的被加工物进行收纳的多个层，所述第一种类区分盒对加工后的被加工物中的第一种类的被加工物进行收纳；
登记步骤，将该第一种类的被加工物被收纳于该集合盒的第几层的信息登记在该控制单元中；
磨削步骤，利用该磨削单元对从该集合盒中搬出的该第一种类的被加工物进行磨削；以及
收纳步骤，将通过该磨削步骤进行了磨削的该第一种类的被加工物根据登记在该控制单元中的该信息而收纳于该第一种类区分盒中。


2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：三谷修三，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP