【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于精密测量
，特别是一种减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法与装置。
技术介绍
激光外差干涉仪由于具有测量速度快、测量精度高、抗干扰能力强、重复性好、溯源性强等优点，广泛应用于超精密检测和纳米测量。随着微电子、微机械及超精密加工的发展，对位移测量精度的要求达到了纳米量级，然而由于激光外差干涉仪非线性误差的存在，严重制约了其测量精度的进一步提高，现有的减小和补偿外差干涉非线性误差的方法要求电子系统或光路系统都很复杂，研究一种简单、有效的减小激光外差干涉非线性误差的方法至关重要。附图1所示为外差干涉仪位移测量的光路系统(10)的示意图，光路系统(10)包括偏振分光镜(11)、固定的参考角锥棱镜(12)和移动的测量角锥棱镜(13)。光束(14)为由双频激光器出射的包含两束振动方向相互垂直、频率分别为f1和f2的线偏振光。光束(14)进入偏振分光镜(11)，其中垂直振动的频率为f1的线偏振光在理想情况下全部反射到固定的参考角锥棱镜(12)，而平行振动的频率为f2的线偏振光全部透射进入测量角锥棱镜(13)，频率为f1和f2的光束分别经参考角锥棱镜(...
【技术保护点】
一种减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法，该方法包含以下步骤：（１）由双频激光器发出含有两种频率、两种偏振方向的光束；（２）该光束经分光镜后分成两束光，其中反射的光束经检偏器由光电探测器接收，形成参考信号；（３）透射的光束进入偏 振分光镜，这束包含两种频率、两种偏振方向的光被偏振分光镜分成两束光，其中偏振方向垂直于纸面的光束被反射称为反射光束，偏振方向平行于纸面的光束被透射称为透射光束，其特征是：所述的反射光束经固定的参考角锥棱镜反射回偏振分光镜，所述的透射 光束经安装在旋转台上的测量角锥棱镜也反射回偏振分光镜；以上两束经参考角锥棱镜和测量角...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谭久彬，陈洪芳，钟志，谢站磊，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：93[中国|哈尔滨]
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