【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种中心误差的测量装置，尤其涉及一种基于等厚干涉法的中心误差的测量装置，属于光学测量
技术介绍
对于高精度的光学系统，中心误差会破坏光学设计的基础-旋转对称性，使光学元件的实际光轴偏离设计光轴，破坏了光学设计的像差校正状态，从而严重影响光学系统的分辨力、畸变和对比度等成像性能。对心装置是用来测量并校正各光学元件的中心误差，目前普遍采用的是自准直的方法，该方法和装置见“ZX-3型内调焦对心器研制工作报告”，王肇勋，光电工程1984年05期11-24页。如图I所示，光源组16通过其中的会聚镜将灯泡的光会聚到带反射功能的星点板17上；然后出射光束到达调焦镜组19，被调焦镜组19内调焦镜的轴向移动改变会聚和发散程度后，与放置在精密转轴21上的被测镜组20的某个指定的被测镜面的曲率中心接近或重合，此时出射光束被被测镜面原路反射回去；再次通过调焦镜组19后，将光束会聚在带反射功能的星点板17上，而星点板17与显微镜组18的物面重合，则返回的光束将通过星点板17反射后成像在显微镜组18的像面处，通过显微镜组18可以测量出由于被测镜面存在中心误差而导致的...
【技术保护点】
一种基于等厚干涉法的中心误差的测量装置，其特征在于，所述测量装置包括激光器(1)、会聚镜(2)、星点板(3)、分光镜(4)、参考镜(5)、接收屏(6)、CCD探测器(7)、计算组(8)、调焦组(10)、折转反射镜(11)、被测透镜(12)、连接工装(13)和精密转轴(14)，其中：在激光器(1)的光轴上依次放置会聚镜(2)、星点板(3)和分光镜(4)，星点板(3)位于会聚镜(2)的焦点上；激光器(1)发出的激光束经会聚镜(2)会聚后，经过星点板(3)的滤波，形成滤波光束，滤波光束到达分光镜(4)被分成参考光束和测量光束；在参考光束的光轴方向上依次放置参考镜(5)、接收屏(6...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：马天梦，李恋，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。