一种用于干涉测量单元的非线性误差补偿装置制造方法及图纸

一种用于干涉测量单元的非线性误差补偿装置，包括非线性误差补偿单元、绝对零位信号产生电路（１５）、光程差细分判向计数电路（１６）和设有光程差－位移查找表的数据处理装置（１７）； 非线性误差补偿单元包括特性相同的二个光电二极管（１２），光电二极管（１２）关于杠杆（１１）对称放置，狭缝（１３）及光源（１４）在杠杆（１１）处于水平时与杠杆在同一平面内，且关于杠杆对称； 光程差细分判向计数电路（１６）的一端与干涉测量单元中的光电接收器（７）相连，另一端与数据处理装置（１７）相连； 绝对零位信号产生电路（１５）的一端与非线性误差补偿单元中的光电二极管（１２）相连，另一端与上述数据处理装置（１７）相连。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种用于干涉测量单元的非线性误差补偿装置
本技术属于光学测量
，具体涉及一种用于干涉测量单元的非线性误差补偿装置，该装置通过对精密几何量(位移、角度)测量中采用的如附图1所示的干涉单元的非线性系统理论误差进行补偿，可以将测量精度从原有的2％提高到0.1％。
技术介绍
附图1所示的以角锥棱镜为核心器件的干涉测量单元，因其在很宽的范围内都能产生干涉条纹([1]干涉测试技术，王文生，兵器工业出版社，1992，4。[2]激光测量技术，孙长库，叶声华编著，天津大学出版社，2001，7。)而被广泛应用于精密几何量(位移、角度)测量仪器中([3]英国Taylor Hobson公司，Talysurf2，Talysurf5型表面轮廓仪。[4]美国Brown-Boveri公司激光干涉仪。)。传统的应用方法为了降低系统的复杂度，在±5°的工作范围内都是将触针的相对位移Δy近似为光程差ΔS的线性函数，然而Δy与ΔS的函数关系在本质上是非线性的，作线性近似处理必然会带来非线性误差。正是这种非线性误差的存在，使得其测量精度与应用范围受到了很大的限制。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于干涉测量单元的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于干涉测量单元的非线性误差补偿装置，包括非线性误差补偿单元、绝对零位信号产生电路(15)、光程差细分判向计数电路(16)和设有光程差—位移查找表的数据处理装置(17)；非线性误差补偿单元包括特性相同的二个光电二极管(12)，光电二极管(12)关于杠杆(11)对称放置，狭缝(13)及光源...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭军，谢铁邦，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：实用新型
国别省市：