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一种用于干涉测量单元的非线性误差补偿装置，包括非线性误差补偿单元、绝对零位信号产生电路（１５）、光程差细分判向计数电路（１６）和设有光程差－位移查找表的数据处理装置（１７）； 非线性误差补偿单元包括特性相同的二个光电二极管（１２），光...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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