本发明专利技术公开了管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备，装置包括支撑架、传送导轨部分和动力部分，传送导轨部分包括承载载料舟的托盘、炉外托盘导轨、炉内托盘导轨和固定导轨，固定导轨的两端支撑在支撑架上，炉外托盘导轨可移动的设于固定导轨上，托盘可移动的设于炉外托盘导轨上，炉内托盘导轨设于炉体反应室内，动力系统包括托盘导轨推动驱动和托盘推动驱动，托盘导轨推动驱动用于驱动炉外托盘导轨移动以便与炉内托盘导轨对接，托盘推动驱动用于驱动托盘从炉外托盘导轨移动至炉内托盘导轨上。设备包括炉体和炉门系统，炉体内设有反应室，还包括上述的进出舟装置。本发明专利技术具有结构稳定、不会发生变形以及缩短取放舟时间的优点。
【技术实现步骤摘要】
管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备
本专利技术涉及光伏生产设备，尤其涉及一种管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备。
技术介绍
随着光伏产品的成本降低，光伏设备不可避免地需要降低成本，增大产能，管式PECVD作为电池片产线中的重要设备，也需要进一步提高产能，提高单管产能的方法有两种，一是缩短工艺时间，二是增加单管每舟的载片量，为了增加单管每舟的载片量，现在的石墨舟越来越大，也越来越重。石墨舟进出反应室需要一套推舟进出机构，现有的推舟机构由于石墨舟的加重，会遇到各种问题，现有推舟机构的结构如图1和图2所示。推舟机构9由推舟悬臂机构91和推舟驱动92组成，推舟驱动92驱动推舟悬臂机构91，将石墨舟送入炉体5的反应室51中摆放好(推舟驱动92要包括水平运动-推舟和竖直升降运动-放舟)，然后推舟悬臂机构91退出反应室51，最后炉门系统52将炉门关上，石墨舟8及硅片在反应室完成反应。随着石墨舟的重量和长度都不断增大，现有推舟机构的这种悬臂机构的悬臂越来越长，变形量也随之加大，同时运动时的抖动情况也愈加严重，运行稳定性变差。一旦变形量过大，悬臂机构脱离反应室所需的空间加大，导致管径需求更大，这对设备的层高要求和成本都是不利的。总之，石墨舟越大，对推舟悬臂机构的要求越高，这种结构带来的弊端越明显。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构稳定、不会发生变形以及缩短取放舟时间的管式PECVD设备的进出舟装置及管式PECVD设备。为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：一种管式PECVD设备的进出舟装置，包括支撑架、传送导轨部分和动力部分，所述传送导轨部分包括托盘、炉外托盘导轨、炉内托盘导轨和固定导轨，所述固定导轨的两端支撑在支撑架上，所述炉外托盘导轨可移动的设于固定导轨上，所述托盘可移动的设于炉外托盘导轨上，所述炉内托盘导轨设于炉体的反应室内，所述炉内托盘导轨与固定导轨之间具有一定间距，所述动力系统包括托盘导轨推动驱动和托盘推动驱动，所述托盘导轨推动驱动用于驱动炉外托盘导轨沿固定导轨移动以便与炉内托盘导轨对接，所述托盘推动驱动用于驱动托盘从炉外托盘导轨移动至炉内托盘导轨上，所述托盘用于承载载料舟。作为上述技术方案的进一步改进：所述托盘包括托盘底座和两个绝缘支架，两个绝缘支架设于托盘底座的两端，所述载料舟支撑在两个绝缘支架上，所述托盘底座设有成排布置的滚轮，所述炉外托盘导轨和炉内托盘导轨上均设有可与滚轮配合的导槽。所述绝缘支架包括三个陶瓷板，三个陶瓷板呈U形结构，两个U形结构的开口相向设置，各U形结构的外侧设有靠板。所述导槽为V形导槽。所述炉外托盘导轨底部设有多个滑块，所述滑块滑设于固定导轨上。所述炉外托盘导轨和炉内托盘导轨之间设有对接定位结构，所述对接定位结构包括定位销和定位凹孔，所述定位销和定位凹孔一个设于炉外托盘导轨上，一个设于炉内托盘导轨上。所述托盘导轨推动驱动为驱动气缸，所述驱动气缸设于支撑架上。所述托盘推动驱动包括推舟杆、水平运动模组和竖直运动模组，所述水平运动模组设于支撑架上，所述竖直运动模组设于水平运动模组上，所述推舟杆设于竖直运动模组上，所述推舟杆的推舟端设有插齿，所述托盘底座上设有可与插齿配合的插槽，所述竖直运动模组用于驱动插齿与插槽的离合，所述水平运动模组用于驱动推舟杆推动托盘。所述支撑架上设有多个纵梁，各纵梁成排间隔布置，所述固定导轨横跨在各纵梁上。一种管式PECVD设备，包括炉体和炉门系统，所述炉体内设有反应室，所述管式PECVD设备还包括上述的管式PECVD设备的进出舟装置，所述炉内托盘导轨设于反应室内，所述支撑架设于炉门系统的外侧。与现有技术相比，本专利技术的优点在于：(1)本专利技术的管式PECVD设备的进出舟装置，针对管式PECVD设备的进出舟，设置了两端托盘导轨(炉外托盘导轨与炉内托盘导轨)，一段在反应室内部，一段在反应室外，反应室反应时，炉门系统需关闭，所以两段托盘导向滑轨不能连在一起，如果两段托盘导向滑轨没连在一起时，托盘无法从外部滑入反应室内部，固在此基础上设置了固定导轨，将炉外托盘导轨活动设于固定导轨上，通过驱动，将炉外托盘导轨推向炉内托盘导轨，使两段托盘导向滑轨连接起来，从而可以实现托盘载着石墨舟从炉外平移至炉内，固定导轨的两端支撑在支撑架上，使得改进后的传送导轨部分不再是悬臂的结构，整个传送导轨系统加石墨舟都支撑在支撑架上，这样无论石墨舟变得多大多重，都没有了之前悬臂结构带来的变形等问题，再者，改进后的进出舟装置，取放舟时，没有之前悬臂结构的竖直升降运动来放舟，仅需一推一拉即完成取放运动，可以缩短取放舟时间，本专利技术设计的一套无悬臂结构的传送导轨系统及相应的配套动力系统，很好地解决了悬臂结构带来的困难，同时顺利地实现了之前取放舟的功能。(2)本专利技术针对管式PECVD设备，包括炉体和炉门系统，所述炉体内设有反应室，还包括了上述的管式PECVD设备的进出舟装置，同样具有结构稳定、不会发生变形以及缩短取放舟时间的优点。附图说明图1是现有技术的管式PECVD设备的进出舟装置的结构示意图。图2是现有技术中推舟机构的结构示意图。图3是本专利技术中管式PECVD设备的进出舟装置的结构示意图。图4是本专利技术中传送导轨部分的结构示意图。图5是本专利技术中托盘与炉外托盘导轨之间的连接结构示意图。图6是本专利技术中托盘的结构示意图。图7是本专利技术中载有石墨舟的托盘的结构示意图。图8是本专利技术中炉外托盘导轨与炉内托盘导轨的对接结构示意图。图中各标号表示：1、支撑架；11、纵梁；2、托盘；201、插槽；21、托盘底座；22、绝缘支架；221、陶瓷板；23、滚轮；24、靠板；31、炉外托盘导轨；32、炉内托盘导轨；33、导槽；34、滑块；35、定位销；36、定位凹孔；4、固定导轨；5、炉体；51、反应室；52、炉门系统；6、托盘导轨推动驱动；61、驱动气缸；7、托盘推动驱动；71、推舟杆；711、插齿；72、水平运动模组；73、竖直运动模组；8、石墨舟。具体实施方式以下结合说明书附图和具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。实施例1如图3至图8所示，本实施例的管式PECVD设备的进出舟装置，包括支撑架1、传送导轨部分和动力部分，传送导轨部分包括托盘2、炉外托盘导轨31、炉内托盘导轨32和固定导轨4，固定导轨4的两端支撑在支撑架1上，炉外托盘导轨31可移动的设于固定导轨4上，托盘2可移动的设于炉外托盘导轨31上，炉内托盘导轨32设于炉体5的反应室51内，炉内托盘导轨32与炉外托盘导轨31结构相同，托盘2也可以在炉内托盘导轨32上移动。炉内托盘导轨32与固定导轨4之间具有一定间距，动力系统包括托盘导轨推动驱动6和托盘推动驱动7，托盘导轨推动驱动6用于驱动炉外托盘导轨31沿固定导轨4移动以便与炉内托盘导轨32对接，托盘推动驱动7用于驱动托盘本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：包括支撑架(1)、传送导轨部分和动力部分，所述传送导轨部分包括托盘(2)、炉外托盘导轨(31)、炉内托盘导轨(32)和固定导轨(4)，所述固定导轨(4)的两端支撑在支撑架(1)上，所述炉外托盘导轨(31)可移动的设于固定导轨(4)上，所述托盘(2)可移动的设于炉外托盘导轨(31)上，所述炉内托盘导轨(32)设于炉体(5)的反应室(51)内，所述炉内托盘导轨(32)与固定导轨(4)之间具有一定间距，所述动力系统包括托盘导轨推动驱动(6)和托盘推动驱动(7)，所述托盘导轨推动驱动(6)用于驱动炉外托盘导轨(31)沿固定导轨(4)移动以便与炉内托盘导轨(32)对接，所述托盘推动驱动(7)用于驱动托盘(2)从炉外托盘导轨(31)移动至炉内托盘导轨(32)上，所述托盘(2)用于承载载料舟。/n
【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：包括支撑架(1)、传送导轨部分和动力部分，所述传送导轨部分包括托盘(2)、炉外托盘导轨(31)、炉内托盘导轨(32)和固定导轨(4)，所述固定导轨(4)的两端支撑在支撑架(1)上，所述炉外托盘导轨(31)可移动的设于固定导轨(4)上，所述托盘(2)可移动的设于炉外托盘导轨(31)上，所述炉内托盘导轨(32)设于炉体(5)的反应室(51)内，所述炉内托盘导轨(32)与固定导轨(4)之间具有一定间距，所述动力系统包括托盘导轨推动驱动(6)和托盘推动驱动(7)，所述托盘导轨推动驱动(6)用于驱动炉外托盘导轨(31)沿固定导轨(4)移动以便与炉内托盘导轨(32)对接，所述托盘推动驱动(7)用于驱动托盘(2)从炉外托盘导轨(31)移动至炉内托盘导轨(32)上，所述托盘(2)用于承载载料舟。
2.根据权利要求1所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述托盘(2)包括托盘底座(21)和两个绝缘支架(22)，两个绝缘支架(22)设于托盘底座(21)的两端，所述载料舟(8)支撑在两个绝缘支架(22)上，所述托盘底座(21)设有成排布置的滚轮(23)，所述炉外托盘导轨(31)和炉内托盘导轨(32)上均设有可与滚轮(23)配合的导槽(33)。
3.根据权利要求2所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述绝缘支架(22)包括三个陶瓷板(221)，三个陶瓷板(221)呈U形结构，两个U形结构的开口相向设置，各U形结构的外侧设有靠板(24)。
4.根据权利要求2所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述导槽(33)为V形导槽。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的管式PECVD设备的进出舟装置，其特征在于：所述炉外托盘导轨(31)底部设有多个滑块(34)，所述滑块(34)...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖洁，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43
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