一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构制造技术

本实用新型专利技术的目的在于公开一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，包括用于承载硅片的槽体，所述槽体的四角为相同弧度的圆弧形，所述槽体的承载面为由相互对称的斜托面与平托面相结合的平面角型结构；与现有技术相比，承载面采用斜托面与平托面相结合的平面角型设计，不同规格的硅片可以分别搭载在斜托面和平托面上，四角采用相同弧度的圆弧形对称设计，弧度的大小可以根据不同规格硅片进行调整，满足不同规格电池片定制化生产的需求，有效地解决了由于硅片尺寸偏差导致的绕镀、崩边和掉片的问题；满足了市场对不同尺寸电池片定制化生产需求、改善了产品质量、降低了生产成本、提升了设备的利用率，实现本实用新型专利技术的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构
本技术涉及一种晶硅太阳能电池的石墨载板结构，特别涉及一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构。
技术介绍
在晶硅太阳能电池制造过程中，板式PECVD镀膜是行业中普遍用到的设备，工艺过程主要是通过石墨载板承载着硅片传输到各腔室，在硅片表面进行镀膜。现有的石墨载板结构主要为台阶面，倒角非圆弧形设计，台阶面的设计为上立面与平面的夹角呈90度，因此上立面无法搭载硅片，硅片只能搭载到平面上，这种设计一般只适合搭载固定规格尺寸硅片，如硅片尺寸有偏差，传输过程中易出现掉片、崩边不良的现象，造成一定经济损失，且无法满足市场对不同规格电池片的定制化需求。因此，特别需要一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，以解决上述现有存在的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，针对现有技术的不足，能够满足不同规格电池片的生产，有效地降低崩边和掉片不良的问题。本技术所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，其特征在于，包括用于承载硅片的槽体，所述槽体的四角为相同弧度的圆弧形，所述槽体的承载面为由相互对称的斜托面与平托面相结合的平面角型结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，其特征在于，包括用于承载硅片的槽体，所述槽体的四角为相同弧度的圆弧形，所述槽体的承载面为由相互对称的斜托面与平托面相结合的平面角型结构。


2.如权利要求1所述的适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，其特征在于，所述斜托面与所述平托面之间的平面...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋标，高艳飞，张强，刘怀彬，任杰，董忠吉，袁逸秀，王丽娜，
申请(专利权)人：国家电投集团西安太阳能电力有限公司，黄河水电西宁太阳能电力有限公司，青海黄河上游水电开发有限责任公司，国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61