下载一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构的技术资料

文档序号:25008772

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本实用新型的目的在于公开一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构,包括用于承载硅片的槽体,所述槽体的四角为相同弧度的圆弧形,所述槽体的承载面为由相互对称的斜托面与平托面相结合的平面角型结构;与现有技术相比,承载面采用斜托面与平托面相结合的平...
该专利属于国家电投集团西安太阳能电力有限公司;黄河水电西宁太阳能电力有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过国家电投集团西安太阳能电力有限公司;黄河水电西宁太阳能电力有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司授权不得商用。

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