一种板式PECVD机台的双面镀膜结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，包括外框，所述外框的内部上下两端均安装有石英管，所述外框的内部安装有镀膜机构，所述外框外壁上下两端均安装有下夹板，所述下夹板的外侧转动连接有上夹板，所述下夹板和上夹板的内部插接有磁铁，所述外框的左侧安装有调节构件，所述调节构件的左侧安装有转盘。该板式PECVD机台的双面镀膜结构，通过第一外壳、第二外壳、插板和槽板的配合，可以为镀膜工作提供空间，通过支杆、扣板、石墨框和硅片的配合，达到了可以进行镀膜工作，通过支架、定块、螺杆、转盘、螺纹管和撑杆的配合，达到了可以对外框内部的空间进行调节工作，可以使等离子的数量进行控制，达到了可以对镀膜的效果进行调节工作。

【技术实现步骤摘要】
一种板式PECVD机台的双面镀膜结构
本技术涉及
，具体为一种板式PECVD机台的双面镀膜结构。
技术介绍
PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄，在PECVD工艺中由于等离子体中高速运动的电子撞击到中性的反应气体分子，就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应，衬底温度通常保持在350℃左右就可以得到良好的SiOx或SiNx薄膜，可以作为集成电路最后的钝化保护层，提高集成电路的可靠性，现有的板式PECVD机台的双面镀膜结构在使用时，无法做到对外框的空间进行调节工作，从而无法做到对等离子的数量进行控制工作，无法做到对不同镀膜效果进行调节工作。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，以解决上述
技术介绍
中提出现有的板式PECVD机台的双面镀膜结构在使用时，无法做到对外框的空间进行调节工作，从而无法做到对等离子的数量进行控制工作，无法做到对不同镀膜效果进行调节工作的问题。为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，包括外框(1)，其特征在于：所述外框(1)的内部上下两端均安装有石英管(2)，所述外框(1)的内部安装有镀膜机构(3)，所述外框(1)外壁上下两端均安装有下夹板(4)，所述下夹板(4)的外侧转动连接有上夹板(5)，所述下夹板(4)和上夹板(5)的内部插接有磁铁(6)，所述外框(1)的左侧安装有调节构件(7)，所述调节构件(7)的左侧安装有转盘(8)，所述外框(1)的内部设置有等离子(9)；/n所述调节构件(7)包括支架(701)、定块(702)、螺杆(703)、螺纹管(704)和撑杆(705)，所述支架(701)之间固接有定块(702)，所述定块(70...

【技术特征摘要】
1.一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，包括外框(1)，其特征在于：所述外框(1)的内部上下两端均安装有石英管(2)，所述外框(1)的内部安装有镀膜机构(3)，所述外框(1)外壁上下两端均安装有下夹板(4)，所述下夹板(4)的外侧转动连接有上夹板(5)，所述下夹板(4)和上夹板(5)的内部插接有磁铁(6)，所述外框(1)的左侧安装有调节构件(7)，所述调节构件(7)的左侧安装有转盘(8)，所述外框(1)的内部设置有等离子(9)；
所述调节构件(7)包括支架(701)、定块(702)、螺杆(703)、螺纹管(704)和撑杆(705)，所述支架(701)之间固接有定块(702)，所述定块(702)的内部转动连接有螺杆(703)，所述螺杆(703)的外壁螺纹连接有螺纹管(704)，所述螺纹管(704)的外壁上下两端均转动连接有撑杆(705)，所述螺杆(703)与转盘(8)固定相连。


2.根据权利要求1所述的一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，其特征在于：所述撑杆(705)为对称设置。


3.根据权利要求1所述的一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，其特征在于：所述外框(1)包括第...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈金元，
申请(专利权)人：理想万里晖真空装备泰兴有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32