用于减小变形量的门阀以及工艺腔制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于减小变形量的门阀。所述门阀包括基板、设置在基板第一面上的阀体以及设置在基板第二面上的加强件，所述加强件包括固定在所述第二面上的第一侧以及与之垂直相连且离开所述第二面的第二侧，所述第二侧的宽度比第一侧的宽度大15

Gate valve and process chamber for reducing deformation

【技术实现步骤摘要】
用于减小变形量的门阀以及工艺腔


[0001]本技术涉及太阳能电池制造设备，特别涉及用于减小变形量的门阀以及工艺腔。

技术介绍

[0002]薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称HIT或HJT或SHJ太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，它结合了晶体硅与硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，将会逐步替代PERC(Passivated Emitter and Rear Cell)电池，成为光伏电池的主流。
[0003]异质结太阳能电池制造过程中将会用到诸如等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备、物理气相沉积(PVD)设备等真空镀膜设备，以便分别形成非晶硅/微晶硅层、透明导电层TCO。在真空状态下，托盘进入PECVD设备或PVD设备的工艺腔后，工艺腔需要通过旋转门阀进行关闭，然后向工艺腔输入工艺气体。工艺腔具有长为1.5米宽为0.05 米的长方形阀口，当旋转门阀封堵所述阀口来关闭门阀时，门阀变形量较大(特别是其中部)，会造成漏气过大、保压效果差等情况。此时为减小门阀变形,会在与门阀所设置的基板一侧相对的另一侧上设置钣金折弯件，钣金折弯件两侧基本等宽，其对变形的抑制效果并不明显。
[0004]因此，如何提供一种用于减小变形量的门阀，以在门阀受力相同情况下，减小其变形量，提高工艺腔的保压效果，已成为业内亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的上述问题，本技术提出了一种用于减小变形量的门阀，所述门阀包括基板、设置在基板第一面上的阀体以及设置在基板第二面上的加强件，所述加强件包括固定在所述第二面上的第一侧以及与之垂直相连且离开所述第二面的第二侧，所述第二侧的宽度比第一侧的宽度大15
‑
25mm。
[0006]在一实施例中，所述加强件的第一侧的宽度为25mm，所述第二侧的宽度为40mm。
[0007]在一实施例中，所述加强件的第一侧的长度与第二侧的长度相同，所述第一侧的厚度与第二侧的厚度相同。
[0008]在一实施例中，所述阀体的长度为1
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2m，其宽度为5
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10cm。
[0009]在一实施例中，所述加强件为钣金折弯件。
[0010]在一实施例中，所述阀体通过弹性件设置在所述基板第一面上。
[0011]本技术还提供一种工艺腔，其包括阀口以及如上述任一项所述的用于减小变形量的门阀，所述门阀与所述阀口相匹配并可控地封堵或离开所述阀口。
[0012]在一实施例中，所述阀口的长度为1
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2m，其宽度为5
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10cm。
[0013]与现有技术中门阀的加强件的第一侧与第二侧等宽相比，本技术的用于减小变形量的门阀，所述门阀包括基板、设置在基板第一面上的阀体以及设置在基板第二面上的加强件，所述加强件包括固定在所述第二面上的第一侧以及与之垂直相连且离开所述第
二面的第二侧，所述第二侧的宽度比第一侧的宽度大15
‑
25mm。本技术能减小门阀的变形量，提高工艺腔的保压效果。
附图说明
[0014]在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本技术的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
[0015]图1为本技术的用于减小变形量的门阀应用时的组成结构示意图。
[0016]图2为本技术的用于减小变形量的门阀的局部组成结构示意图。
具体实施方式
[0017]以下结合附图和具体实施例对本技术作详细描述，以便更清楚理解本技术的目的、特点和优点。应理解的是，以下结合附图和具体实施例描述的诸方面仅是示例性的，而不应被理解为对本技术的保护范围进行任何限制。除非上下文明确地另外指明，否则单数形式“一”和“所述”包括复数指代物。需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
[0018]参见图1，其显示了本技术的用于减小变形量的门阀应用时的组成结构。如图1所示，用于减小变形量的门阀1应用在工艺腔2，以控制工艺腔2的开启与关闭，门阀1包括阀体10、基板14以及加强件 16。所述阀体10以及加强件16分别设置在基板14的第一面S1以及第二面S2上。阀体10通过弹性件12固定在所述基板14的第一面S1 上。以下对门阀1的各个构件进行详细说明。
[0019]所述加强件16可为钣金折弯件，其更具体可为不锈钢钣金折弯件。加强件16设置在所述基板14的第二面S2上，加强件16包括固定在所述第二面S2上的第一侧160以及与之垂直相连且离开所述第二面S2 的第二侧162，所述第二侧162的宽度比第一侧160的宽度大15
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25mm (毫米)。如图2所示，加强件16还可包括位于端部用于连接第一侧 160及第二侧162的连接板164。
[0020]在如图1及图2所示的实施例中，所述加强件16的第一侧160的宽度为25mm，所述第二侧162的宽度为40mm。所述加强件16的第一侧160的长度与第二侧162的长度相同，所述第一侧160的厚度与第二侧162的厚度相同。
[0021]所述阀体10的长度为1
‑
2m(米)，其宽度为5
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10cm(厘米)。
[0022]在本实施例中，所述阀体10的长度为1m，其宽度为5cm。
[0023]参见图1，本技术还提供一种工艺腔2，工艺腔2用于对异质结太阳能电池进行非晶硅、微晶硅等薄膜的沉积。工艺腔2包括用于减小变形量的门阀1以及阀口20，所述门阀1与阀口20相匹配并可控地封堵或离开阀口20。所述阀口20的长度为1
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2m，其宽度为5
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10cm。在本实施例中，所述阀口20的长度为1m，其宽度为5cm。
[0024]图1及图2所示的阀体10的在270N(牛顿)的力下的变形量为 0.484mm，而现有技术中第一侧及第二侧宽度相同且均为25mm的阀体在270N的力下的变形量为1.5mm。
[0025]本技术的用于减小变形量的门阀，所述门阀包括基板、设置在基板第一面上
的阀体以及设置在基板第二面上的加强件，所述加强件包括固定在所述第二面上的第一侧以及与之垂直相连且离开所述第二面的第二侧，所述第二侧的宽度比第一侧的宽度大15
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25mm。
[0026]本技术能在门阀受力相同情况下，减小其变形量，提高工艺腔的保压效果。
[0027]上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本技术的，熟悉本领域的人员可在不脱离本技术的技术思想的情况下，对上述实施例做出种种修改或变化，因而本技术的保护范本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于减小变形量的门阀，所述门阀包括基板、设置在基板第一面上的阀体以及设置在基板第二面上的加强件，所述加强件包括固定在所述第二面上的第一侧以及与之垂直相连且离开所述第二面的第二侧，其特征在于，所述第二侧的宽度比第一侧的宽度大15
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25mm。2.如权利要求1所述的用于减小变形量的门阀，其特征在于，所述加强件的第一侧的宽度为25mm，所述第二侧的宽度为40mm。3.如权利要求1所述的用于减小变形量的门阀，其特征在于，所述加强件的第一侧的长度与第二侧的长度相同，所述第一侧的厚度与第二侧的厚度相同。4.如权利要求1所述的用于减小变形量的门阀，其特征在于，所述阀体...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡广迎，杨飞云，李朋，
申请(专利权)人：理想万里晖真空装备泰兴有限公司，
类型：新型
国别省市：