镀膜生产设备制造技术

本发明专利技术提供了一种镀膜生产设备，镀膜生产设备包括：进载腔，进载腔上设置有第一真空泵；加热组件，加热组件的进料端与进载箱相连接，加热组件包括至少两个真空加热装置；出载腔，与加热组件的出料端相连接，出载腔上设置有第二真空泵；传送组件，与进载腔，加热组件和出载腔相连接；其中，传送组件被配置为适于将进载腔中的至少两个工件分别传送至至少两个真空加热装置中加热，以及将完成加热的至少两个工件由真空加热装置传送至出载腔。使镀膜生产设备可以在单次抽真空‑回填大气循环中同时加热多个工件，以大幅度提升加工效率。进而实现优化镀膜生产设备结构，提升镀膜生产设备生产效率，降低产品生产成本的技术效果。

Coating production equipment

【技术实现步骤摘要】
镀膜生产设备
本专利技术涉及镀膜生产
，具体而言，涉及一种镀膜生产设备。
技术介绍
太阳能电池片生产过程中，PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学的气象沉积法)镀膜设备的产能直接影响着电池片的成本，传统的PECVD设备，由于每块载板每次进出真空腔体都需要花费很多的时间进行抽真空回填大气，同时为了工艺反应时硅片的温度均匀，需要很多个腔体均放置加热器并且花费很多的时间给硅片辐射加热，这样就导致设备成本大大提高、单位时间的产能受到很大的约束。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种镀膜生产设备。有鉴于此，本专利技术的提供了一种镀膜生产设备，镀膜生产设备包括：进载腔，进载腔上设置有第一真空泵；加热组件，加热组件的进料端与进载箱相连接，加热组件包括至少两个真空加热装置；出载腔，与加热组件的出料端相连接，出载腔上设置有第二真空泵；传送组件，与进载腔，加热组件和出载腔相连接；其中，传送组件被本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜生产设备，其特征在于，包括：/n进载腔，所述进载腔上设置有第一真空泵；/n加热组件，所述加热组件的进料端与所述进载箱相连接，所述加热组件包括至少两个真空加热装置；/n出载腔，与所述加热组件的出料端相连接，所述出载腔上设置有第二真空泵；/n传送组件，与所述进载腔，所述加热组件和所述出载腔相连接；/n其中，所述传送组件被配置为适于将进载腔中的至少两个工件分别传送至至少两个所述真空加热装置中加热，以及将完成加热的所述至少两个工件由所述真空加热装置传送至所述出载腔。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀膜生产设备，其特征在于，包括：
进载腔，所述进载腔上设置有第一真空泵；
加热组件，所述加热组件的进料端与所述进载箱相连接，所述加热组件包括至少两个真空加热装置；
出载腔，与所述加热组件的出料端相连接，所述出载腔上设置有第二真空泵；
传送组件，与所述进载腔，所述加热组件和所述出载腔相连接；
其中，所述传送组件被配置为适于将进载腔中的至少两个工件分别传送至至少两个所述真空加热装置中加热，以及将完成加热的所述至少两个工件由所述真空加热装置传送至所述出载腔。


2.根据权利要求1所述的镀膜生产设备，其特征在于，至少两个所述真空加热装置串接。


3.根据权利要求2所述的镀膜生产设备，其特征在于，所述传送组件包括：
传送轮组，所述传送轮组包括：
多个传送轮，多个所述传送轮分别设置于所述进载腔，所述出载腔和所述真空加热装置中；
载板，设置于所述传送轮组上，所述传送轮转动以带动所述载板在所述传送轮组上行进，所述载板被配置为适于承载所述工件。


4.根据权利要求3所述的镀膜生产设备，其特征在于，所述传送轮组的数量与所述真空加热装置的数量相同，不同的所述传动轮组位于不同的平面上；
所述载板的数量与所述真空加热装置的数量相同，每个所述传送轮组上均设置有一个所述载板。


5.根据权利要求4所述的镀膜生产设备，其特征在于，所述真空加热装置包括：
加热箱；
加热器，设置于所述加热箱内；
升降装...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁建军，朱海剑，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32