镀膜生产设备制造技术

本发明专利技术提供了一种镀膜生产设备，镀膜生产设备包括：进载腔，进载腔上设置有第一真空泵；加热组件，加热组件的进料端与进载箱相连接，加热组件包括至少两个真空加热装置；出载腔，与加热组件的出料端相连接，出载腔上设置有第二真空泵；传送组件，与进载腔，加热组件和出载腔相连接；其中，传送组件被配置为适于将进载腔中的至少两个工件分别传送至至少两个真空加热装置中加热，以及将完成加热的至少两个工件由真空加热装置传送至出载腔。使镀膜生产设备可以在单次抽真空‑回填大气循环中同时加热多个工件，以大幅度提升加工效率。进而实现优化镀膜生产设备结构，提升镀膜生产设备生产效率，降低产品生产成本的技术效果。

Coating production equipment

【技术实现步骤摘要】
镀膜生产设备
本专利技术涉及镀膜生产
，具体而言，涉及一种镀膜生产设备。
技术介绍
太阳能电池片生产过程中，PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学的气象沉积法)镀膜设备的产能直接影响着电池片的成本，传统的PECVD设备，由于每块载板每次进出真空腔体都需要花费很多的时间进行抽真空回填大气，同时为了工艺反应时硅片的温度均匀，需要很多个腔体均放置加热器并且花费很多的时间给硅片辐射加热，这样就导致设备成本大大提高、单位时间的产能受到很大的约束。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种镀膜生产设备。有鉴于此，本专利技术的提供了一种镀膜生产设备，镀膜生产设备包括：进载腔，进载腔上设置有第一真空泵；加热组件，加热组件的进料端与进载箱相连接，加热组件包括至少两个真空加热装置；出载腔，与加热组件的出料端相连接，出载腔上设置有第二真空泵；传送组件，与进载腔，加热组件和出载腔相连接；其中，传送组件被配置为适于将进载腔中的至少两个工件分别传送至至少两个真空加热装置中加热，以及将完成加热的至少两个工件由真空加热装置传送至出载腔。在该技术方案中，镀膜生产设备包括进载腔、加热组件、出载腔和传送组件。进载腔与加热组件的进料端相连接，用于向加热组件输送待加工的工件，加热组件用于加热工件，以满足用户的工艺需求。出载腔与加热组件的出料端相连接，用于接收已完成加热的工件，并将已完成加热的工件集中输送出镀膜生产设备。根据工件的工艺需求，在进载腔上设置有第一真空泵，在加热组件内设置至少两个真空加热装置，在出载腔上设置第二真空泵，从而使进载腔可以与真空加热装置同步气压后向真空加热装置中进载工件，相应的使出载腔可以与真空加热装置同步气压后由真空加热装置接收完成加工的工件，从而保证真空加热装置的真空环境不被破坏，确保加工出的工件的质量稳定可靠。传送组件与进载腔、加热组件和出载腔相连接，传送组件可以同时将至少两个工件由进载腔分别传送至加热装置中的至少两个真空加热装置中以供加热，并且传送组件还可以同时将至少两个真空加热装置中的工件由加热组件传送至出载腔内。通过在镀膜生产设备上设置至少两个真空加热装置，以及设置可同时向至少两个真空加热装置输送和输出工件的传送组件，使镀膜生产设备可以执行一次抽真空循环时，同时完成多个工件的加热工艺，从而避免每个工件在进出进载腔、加热组件和出载腔时均需要执行一次抽真空和回填大气的步骤，使镀膜生产设备可以在单次抽真空-回填大气循环中同时加热多个工件，以大幅度提升加工效率。进而实现优化镀膜生产设备结构，提升镀膜生产设备生产效率，降低产品生产成本的技术效果。另外，本专利技术提供的上述镀膜生产设备还可以具有如下附加技术特征：上述技术方案中，至少两个真空加热装置串接。在该技术方案中，对真空加热装置的设置方式做出了具体限定。至少两个真空加热装置相串接，传送组件依次与相串接的真空加热装置相连接。通过将至少两个真空加热装置串接在一起，可以减少传送组件的支路数目，使单条传送组件可以在一个抽真空-回填大气循环内依次完成至少两个真空加热装置的工件进载和工件出载。从而实现优化加热组件结构，简化传送组件结构，提升镀膜生产设备产能，降低镀膜生产设备成本的技术效果。上述任一技术方案中，传送组件包括：传送轮组，传送轮组包括：多个传送轮，多个传送轮分别设置于进载腔，出载腔和真空加热装置中；载板，设置于传送轮组上，传送轮转动以带动载板在传送轮组上行进，载板被配置为适于承载工件。在该技术方案中，对传送组件的结构做出了具体限定。传送组件包括传送轮组和载板，传送轮组为传送组件的输送结构，由多个传送轮组成，多个传送轮分别设置在进载腔、真空加热装置和出载腔中。载板为传送组件的定位承载结构，载板放置在传送轮组上，并在传送轮组的带动下在传送轮组上运动，其中工件被定位在载板上随同载板一同运动。工作过程中，装有工件的载板放入进载腔，并在传送轮组的驱动下运动至真空加热装置中，在真空加热装置完成对载板上的工件的加热后，传送轮组将载板传输至出载腔中，以使完成加热的工件可进入下个加工环节。其中，传送轮组和载板为分体式结构，用户可直接将完成装载的载板放置在传送轮组上，以尽快进入加热环节，同理在出载时，用户可直接将承载已完成加热的工件的载板由传送轮组上拆卸下来，并快速进入下一个加热循环，从而大幅度提升了工件在传送组件上的装卸速率，进而实现优化传送组件结构，提升传送组件工作效率，提升镀膜生产设备产能的技术效果。上述任一技术方案中，传送轮组的数量与真空加热装置的数量相同，不同的传动轮组位于不同的平面上；载板的数量与真空加热装置的数量相同，每个传送轮组上均设置有一个载板。在该技术方案中，对传送轮组的结构做出了进一步限定。传送轮组的数量与真空加热装置的数量相同，多个传送轮组一一对应多个真空加热装置，并且不同的传送轮组分布在不同的平面上，以避免干涉。其中，载板的数量同样与真空加热装置的数量相同，多个载板一一对应多个真空加热装置和多个传送轮组，以在多个传送轮组的驱动下通过多个载板同时为多个真空加热装置输送和输出工件。工作过程中，不同的载板分别在不同的平面上运动，当载板运动至对应的真空加热装中停止运动并执行加热工序，完成加热后，多个载板一同运动至出载腔中，并由出载腔输出。通过设置与真空加热装置数目对应的传送轮组和载板，使传送组件可以同时为多个真空加热装置输送和输出工件，从而使镀膜生产设备可以在一次抽真空-大气回填的循环内加热尽可能多的工件。进而实现优化传送组件结构，提升镀膜生产设备的生产效率，大幅度提升产能，降低生产成本的技术效果。上述任一技术方案中，真空加热装置包括：加热箱；加热器，设置于加热箱内；升降装置，设置于加热箱上，与加热器相连接，升降装置升高或降低加热器。在该技术方案中，真空加热装置包括加热箱、加热器和升降装置。加热箱围合限定出加热腔室。加热器设置在加热箱内，以提供用户加热工件的热量。升降装置设置在加热箱底部，与加热器相连接，升降装置可以带动加热器升高或降低，以使加热器可以在需要加热工件时靠近工件，完成加热后脱离工件。通过设置与升降装置相连接的加热器，使加热装置可以近距离加热工件，一方面大幅度提升了加热效率，另一方面通过近距离接触加热避免出现工件加热不均的现象，进而实现了优化加热装置结构，提升加热装置可靠性，提升镀膜生产设备的生产精度的技术效果。上述任一技术方案中，传送轮组还包括：伸缩装置，设置于进载腔，出载腔和真空加热装置上，与传送轮相连接。在该技术方案中，传送轮组上还设置有伸缩装置，伸缩装置与传送轮对应设置在进载腔、真空加热装置和出载腔中，其中伸缩装置的伸缩端与传送轮相连接，以带动传送轮伸出或回缩。工作过程中，承载待加热的工件的载板移动至目标加热箱内后停止运动，其后不负责运动该真空加热装置的传送轮组上的传送轮在伸缩装置带动下回缩，随后升降装置带动加热器上升，以使载板上的工件可以与加热器相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜生产设备，其特征在于，包括：/n进载腔，所述进载腔上设置有第一真空泵；/n加热组件，所述加热组件的进料端与所述进载箱相连接，所述加热组件包括至少两个真空加热装置；/n出载腔，与所述加热组件的出料端相连接，所述出载腔上设置有第二真空泵；/n传送组件，与所述进载腔，所述加热组件和所述出载腔相连接；/n其中，所述传送组件被配置为适于将进载腔中的至少两个工件分别传送至至少两个所述真空加热装置中加热，以及将完成加热的所述至少两个工件由所述真空加热装置传送至所述出载腔。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀膜生产设备，其特征在于，包括：
进载腔，所述进载腔上设置有第一真空泵；
加热组件，所述加热组件的进料端与所述进载箱相连接，所述加热组件包括至少两个真空加热装置；
出载腔，与所述加热组件的出料端相连接，所述出载腔上设置有第二真空泵；
传送组件，与所述进载腔，所述加热组件和所述出载腔相连接；
其中，所述传送组件被配置为适于将进载腔中的至少两个工件分别传送至至少两个所述真空加热装置中加热，以及将完成加热的所述至少两个工件由所述真空加热装置传送至所述出载腔。


2.根据权利要求1所述的镀膜生产设备，其特征在于，至少两个所述真空加热装置串接。


3.根据权利要求2所述的镀膜生产设备，其特征在于，所述传送组件包括：
传送轮组，所述传送轮组包括：
多个传送轮，多个所述传送轮分别设置于所述进载腔，所述出载腔和所述真空加热装置中；
载板，设置于所述传送轮组上，所述传送轮转动以带动所述载板在所述传送轮组上行进，所述载板被配置为适于承载所述工件。


4.根据权利要求3所述的镀膜生产设备，其特征在于，所述传送轮组的数量与所述真空加热装置的数量相同，不同的所述传动轮组位于不同的平面上；
所述载板的数量与所述真空加热装置的数量相同，每个所述传送轮组上均设置有一个所述载板。


5.根据权利要求4所述的镀膜生产设备，其特征在于，所述真空加热装置包括：
加热箱；
加热器，设置于所述加热箱内；
升降装...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁建军，朱海剑，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32