一种无变压器的PECVD的电加热炉体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种无变压器的PECVD的电加热炉体，包括炉壳和炉丝组件，炉丝组件包括至少一个主控段炉丝和两个附控段炉丝，主控段炉丝和两个附控段炉丝相互独立，各主控段炉丝设于两个附控段炉丝的中间，每个主控段炉丝对应设有一对接线结构，每个附控段炉丝对应设有一对接线结构，各对接线结构设于炉壳上。本实用新型专利技术将原有的一根炉丝分成多段独立的炉丝，每段炉丝的电阻减少，相应的需要的电压也减少，每段炉丝两端单独接220V电压即可满足，一个炉体节省一台变压器，降低设备成本、减少安装调试工作量、节省了设备的空间。

【技术实现步骤摘要】
一种无变压器的PECVD的电加热炉体
本技术涉及太阳能电池制造设备，尤其涉及一种无变压器的PECVD的电加热炉体。
技术介绍
太阳能作为人类取之不尽用之不竭的可再生能源，其特有的充分清洁性，绝对安全性，相对的广泛性，在长期的能源战略中具有重要的影响地位。在光伏应用中，源硅片通过特殊设备进行工艺制作后就变成了可将太阳能直接转换成电能的太阳能电池片，其中在硅片表面加镀减反射膜是太阳能电池制造过程中非常重要的一环，PECVD是镀减反射膜的关键设备，而炉体是PECVD的核心部件，也是提供镀减反射膜化学反应的场所，其工作原理是利用等离子增强化学气相沉积法进行减反射膜制作，反射膜制作过程需要在一定高温(约600℃)下进行反应。普通PECVD炉体采用一整根Φ6mm炉丝(焊接可能会造成炉丝烧坏，炉体损坏)，炉体工作时需要外加变压器调节每段温区的电压，以5管PECVD为例，每台设备需要配备5个变压器，占用空间、提升了成本、增加安装的工作量，另外搬运过程中会出现引线排磕碰断裂，炉体接大线数量较多，不美观。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种将原有的一根炉丝分成多段独立的炉丝，每段炉丝两端单独接220V电压的无变压器的PECVD的电加热炉体。为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：一种无变压器的PECVD的电加热炉体，包括炉壳和炉丝组件，所述炉丝组件包括至少一个主控段炉丝和两个附控段炉丝，所述主控段炉丝和两个附控段炉丝相互独立，各主控段炉丝设于两个附控段炉丝的中间，每个主控段炉丝对应设有一对接线结构，每个附控段炉丝对应设有一对接线结构，各对接线结构设于炉壳上。作为上述技术方案的进一步改进，各对接线结构呈直线分布，所述炉壳上设有用于保护接线结构的安全罩。作为上述技术方案的进一步改进，所述主控段炉丝的直径大于附控段炉丝的直径。作为上述技术方案的进一步改进，所述主控段炉丝的轴向长度大于附控段炉丝的轴向长度。作为上述技术方案的进一步改进，各对接线结构中，正极的接线结构通过一根正极导线连接，负极的接线结构通过一个负极导线连接。作为上述技术方案的进一步改进，所述接线结构包括引线排和L形铝件，所述L形铝件固定在炉壳外，所述引线排一端与主控段炉丝或附控段炉丝的一端连接，另一端伸出炉壳与L形铝件连接，所述引线排与炉壳之间通过瓷座与炉壳绝缘。作为上述技术方案的进一步改进，所述炉壳与炉丝组件之间设有保温层。作为上述技术方案的进一步改进，所述电加热炉体配设有一安放架，所述安放架设有可防止电加热炉体滚动的安装凹槽。作为上述技术方案的进一步改进，所述安装凹槽内设有避免炉体硬接触的防护海绵。与现有技术相比，本技术的优点在于：(1)本技术的无变压器的PECVD的电加热炉体，将原有的一根炉丝分成多段独立的炉丝，这样每段炉丝的电阻减少，相应的需要的电压也减少，每段炉丝两端单独接220V电压即可满足，每段炉丝粗细和长度可以设置不同，一个炉体节省一台变压器，降低设备成本、减少安装调试工作量、节省了设备的空间，炉丝的利用率提高，因为之前必须一整根炉丝才行，短一点的炉丝就作废了，造成大量的浪费，两段炉丝如果采用焊接连接对焊接要求非常高，成本高，否则影响加热均匀性和使用寿命。(2)本技术的无变压器的PECVD的电加热炉体，将所有正极和负极分别用正极导线和负极导线引出到炉体一端，减少接大线工作量，增加美观性，只需将220V电源直接跟正极导线和负极导线相连即可。炉壳上与接线结构的外围设有安全罩，对搬运过程中引线排进行保护，同时在通电调试过程中避免意外触电。附图说明图1是本技术的加热炉体结构示意图。图2是本技术中炉丝组件的结构示意简图。图3是本技术中引线排接线的结构示意图。图4是本技术中第一配件的结构示意图。图5是本技术中第二配件的结构示意图。图6是用来放置本技术电加热炉体的安放架的结构示意图图中各标号表示：1、炉壳；2、主控段炉丝；3、附控段炉丝；4、接线结构；41、引线排；42、L形铝件；5、安全罩；6、正极导线；7、负极导线；8、保温层；9、安放架；91、安装凹槽。具体实施方式以下结合说明书附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。如图1至图5所示，本实施例的无变压器的PECVD的电加热炉体，包括炉壳1和炉丝组件，炉丝组件包括四个主控段炉丝2和两个附控段炉丝3，主控段炉丝2和两个附控段炉丝3相互独立，各主控段炉丝2设于两个附控段炉丝3的中间，每个主控段炉丝2对应设有一对接线结构4，每个附控段炉丝3对应设有一对接线结构4，各对接线结构4设于炉壳1上。在使用时，每个主控段炉丝2的两端通过接线结构4接220V电源，每个附控段炉丝3两端通过接线结构4接220V电源，从而不需要变压器。将原有的一根炉丝分成多段独立的炉丝，这样每段炉丝的电阻减少，相应的需要的电压也减少，每段炉丝粗细和长度可以设置不同，一个炉体节省一台变压器，降低设备成本、减少安装调试工作量、节省了设备的空间，炉丝的利用率提高，因为之前必须一整根炉丝才行，短一点的炉丝就作废了，造成大量的浪费，两段炉丝如果采用焊接连接对焊接要求非常高，成本高，否则影响加热均匀性和使用寿命。本实施例中，每段炉丝粗细和长度可以设置不同，主控段炉丝2的直径大于附控段炉丝3的直径。主控段炉丝2的轴向长度大于附控段炉丝3的轴向长度。具体为，将原来的一整根Φ6mm炉丝，分成3段主控段炉丝2和2段附控段炉丝3，其中主控段炉丝2为Φ5mm炉丝，附控段炉丝3为Φ4mm炉丝。附控段炉丝3短，其直径略小，主控段炉丝2长度长，其直径略大，这样附控段炉丝3和主控段炉丝2需要的电压值匹配。需要说明的是，主控段炉丝2和附控段炉丝3的数量根据实际需求设置，数量可调节。本实施例中，接线结构4包括引线排41和L形铝件42。L形铝件42固定在炉壳1外，引线排41为N形，其材料与炉丝材料相同，引线排41不带孔的一端与主控段炉丝2或附控段炉丝3的一端焊接，引线排41带孔的一端伸出壳体1与壳体1外的L形铝件带孔的一端连接，引线排41与炉壳1之间通过瓷座进行绝缘。所有接线结构4中，正极的接线结构4(具体为L形铝件42)通过一根正极导线6连接，负极的接线结构4(具体为L形铝件42)通过一个负极导线7连接。将所有正极和负极分别用正极导线6和负极导线7引出到炉体一端，减少接大线工作量，增加美观性，只需将220V电源直接跟正极导线6和负极导线7相连即可。本实施例中，各对接线结构4呈直线分布，炉壳1上设有用于保护接线结构4的安全罩5。增加保护罩，对搬运过程中接线结构4进行保护，同时在通电调试过程中避免意外触电。本实施例中，炉壳1与炉丝组件之间设有保温层8。在具体应用实例中，因为炉体是圆筒形结构，放置非常不方便，必须依靠墙壁，当炉体数量较多时，不便于摆放，也不美观。放置后容易本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无变压器的PECVD的电加热炉体，其特征在于：包括炉壳(1)和炉丝组件，所述炉丝组件包括至少一个主控段炉丝(2)和两个附控段炉丝(3)，所述主控段炉丝(2)和两个附控段炉丝(3)相互独立，各主控段炉丝(2)设于两个附控段炉丝(3)的中间，每个主控段炉丝(2)对应设有一对接线结构(4)，每个附控段炉丝(3)对应设有一对接线结构(4)，各对接线结构(4)设于炉壳(1)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种无变压器的PECVD的电加热炉体，其特征在于：包括炉壳(1)和炉丝组件，所述炉丝组件包括至少一个主控段炉丝(2)和两个附控段炉丝(3)，所述主控段炉丝(2)和两个附控段炉丝(3)相互独立，各主控段炉丝(2)设于两个附控段炉丝(3)的中间，每个主控段炉丝(2)对应设有一对接线结构(4)，每个附控段炉丝(3)对应设有一对接线结构(4)，各对接线结构(4)设于炉壳(1)上。


2.根据权利要求1所述的无变压器的PECVD的电加热炉体，其特征在于：各对接线结构(4)呈直线分布，所述炉壳(1)上设有用于保护接线结构(4)的安全罩(5)。


3.根据权利要求1所述的无变压器的PECVD的电加热炉体，其特征在于：所述主控段炉丝(2)的直径大于附控段炉丝(3)的直径。


4.根据权利要求3所述的无变压器的PECVD的电加热炉体，其特征在于：所述主控段炉丝(2)的轴向长度大于附控段炉丝(3)的轴向长度。


5.根据权利要求1至4任意一项所述的无变压器的PECVD的电加热炉体，其特征在于：各对接线结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱辉，朱晓明，郑浩，吴得轶，龙会跃，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43