【技术实现步骤摘要】
一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置
本技术属于化学气相沉积制备薄膜领域，尤其涉及一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置。
技术介绍
超级马氏体不锈钢由于其强韧性好，耐腐蚀性能优良，成本低廉，在众多不锈钢应用领域，能够作为超级双相不锈钢的替代材料。与传统马氏体不锈钢相比，降低C含量在0.03％以下，大大提高了其焊接性能，也具有更高的抗拉强度，能够进行大规模的生产应用。控制Cr含量在12％～13％，在降低其点蚀敏感性提高其耐蚀性能的同时，减少δ铁素体的出现，保证超级马氏体的韧性和应力腐蚀抗性。因此，超级马氏体不锈钢主要被应用在需高强韧性、可大规模生产且耐蚀性良好不锈钢的石油气运输管道等领域。随着石油、天然气等不可再生能源的逐渐减少，开采环境愈发恶劣，对于石油管道材料的各类性能要求也越发苛刻。为了能够承受深井、超深井对于屈服强度和冲击韧性的要求，对提高超级马氏体不锈钢强韧性的研究有着相当重要的实用意义。CN101956146A中介绍了一种能够用于深井环境的高强韧超级马氏体不锈钢，通过设计化学成分百分配比...
【技术保护点】
1.一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置，其特征在于，包括真空腔体、金属网笼、样品架、分子泵、机械泵，密封结构的真空腔体内固定有带有开口的空心玻璃砖，空心玻璃砖上放置金属网笼，所述的金属网笼是由金属丝编织成空心矩形结构，金属网笼前后左右均设有开口，使电子逃逸形成回路；/n样品架用于支撑基体置于金属网笼中央，样品架底部抵靠在金属网笼内底壁上；真空腔体上设有进气口；真空腔体通过带有阀门的管道与气瓶连接；真空腔体通过管路分别与机械泵、分子泵连接，分子泵另一侧连接有前级阀，管路与外部空气相连通；/n脉冲电源为真空腔体、金属网笼提供电源。/n
【技术特征摘要】
1.一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置，其特征在于，包括真空腔体、金属网笼、样品架、分子泵、机械泵，密封结构的真空腔体内固定有带有开口的空心玻璃砖，空心玻璃砖上放置金属网笼，所述的金属网笼是由金属丝编织成空心矩形结构，金属网笼前后左右均设有开口，使电子逃逸形成回路；
样品架用于支撑基体置于金属网笼中央，样品架底部抵靠在金属网笼内底壁上；真空腔体上设有进气口；真空腔体通过带有阀门的管道与气瓶连接；真空腔体通过管路分别...
【专利技术属性】
技术研发人员：周艳文，张豫坤，赵卓，陈东旭，王亚男，吕哲，邓洪运，祁继隆，杨力，刘梦楠，康红伟，张晶，
申请(专利权)人：辽宁科技大学，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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