一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置，包括外表面上绕设有电阻加热丝的镀膜石英管，镀膜石英管内设有石墨舟，用于放置待加热硅片；石墨舟底端与镀膜石英管内壁之间还设有加热组件。加热组件包括第二石英管和在第二石英管内的钨丝，钨丝与外连接线一端连接，外连接线与电源和信号源连接。通过在镀膜石英管外绕设电阻加热丝加热、内加装加热组件进行加热，使硅片受热全面。通过外连接线使钨丝加热并发出红外光，实现石墨舟内硅片受红外辐射均匀，在较短时间内达到管内温度均匀、稳定，保证了热量在被加热空间上分布的均匀性和有效性，从而使氮化硅镀膜生长速率均一，减少管式PECVD色差片，实现高效、低成本生产。

A tube type auxiliary heating device for improving coating uniformity

【技术实现步骤摘要】
一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置
本技术属于太阳能光伏电池制造
，具体涉及一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置。
技术介绍
在太阳能电池制造领域，常用等离子增强化学气相沉积（PECVD）法沉积氮化硅，在晶硅太阳电池表面上一层薄膜，作为一种重要的薄膜材料,氮化硅薄膜具有良好的钝化性能、光电性能以及机械性能。光伏太阳电池行业广泛使用板式PECVD和管式PECVD，但管式PECVD法制备的氮化硅薄膜色差问题难以解决，色差会使太阳电池的外观不良，必须重视晶硅太阳电池氮化硅膜产生色差的影响因素研究返工，使得生产成本高居不下。当导电导热性、反应温度的均匀性较差时，气体的反应速率差异较大，同一管甚至同一硅片不同区域的氮化硅膜层生长速率不同，膜层厚度也不同，极易产生色差。然而为了实现温度稳定、均匀，需要长时间恒温，导致正常生产产量低、生产成本高。因此如何更短时间同时保证温度分布更均匀成为亟待解决的难题。
技术实现思路
本技术提供了一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置，解决了加热温度不稳定、不均匀、加热时间长、产量低的技术问本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置，其特征在于，包括镀膜石英管，镀膜石英管外表面上绕设有电阻加热丝；/n所述镀膜石英管内设有石墨舟，用于放置待加热硅片；/n所述石墨舟底端与所述镀膜石英管内壁之间还设有加热组件；/n所述加热组件包括第二石英管，第二石英管固设于所述镀膜石英管内壁上，并且与所述石墨舟平行；第二石英管内设有钨丝，钨丝与外连接线一端连接，外连接线另一端贯穿第二石英管和所述镀膜石英管、并与电源和信号源连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置，其特征在于，包括镀膜石英管，镀膜石英管外表面上绕设有电阻加热丝；
所述镀膜石英管内设有石墨舟，用于放置待加热硅片；
所述石墨舟底端与所述镀膜石英管内壁之间还设有加热组件；
所述加热组件包括第二石英管，第二石英管固设于所述镀膜石英管内壁上，并且与所述石墨舟平行；第二石英管内设有钨丝，钨丝与外连接线一端连接，外连接线另一端贯穿第二石英管和所述镀膜石英管、并与电源和信号源连接。


2.根据权利要求1所述的一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置，其特征在于，所述第二石英管为密封管，管内充有惰性气体。


3.根据权利要求1所述的一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置，其特征在于，所述镀膜石英管和所述第二石英管均为透明管。


4.根据权利要求1所述的一种改善镀膜均匀性的管式辅助...

【专利技术属性】
技术研发人员：江顺钦，顾成阳，刘雷，宛正，缪云展，
申请(专利权)人：阜宁苏民绿色能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32