温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种改善镀膜均匀性的管式辅助加热装置，包括外表面上绕设有电阻加热丝的镀膜石英管，镀膜石英管内设有石墨舟，用于放置待加热硅片；石墨舟底端与镀膜石英管内壁之间还设有加热组件。加热组件包括第二石英管和在第二石英管内的钨丝，钨丝与外...
该专利属于阜宁苏民绿色能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阜宁苏民绿色能源科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。