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一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置制造方法及图纸
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下载一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置的技术资料
文档序号:24136634
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本实用新型涉及一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置,包括真空腔体、金属网笼、样品架、分子泵、机械泵,密封结构的真空腔体内固定有带有开口的空心玻璃砖,空心玻璃砖上放置金属网笼,所述的金属网笼是由金属丝编织成空心矩形结构,金属网笼前后...
该专利属于辽宁科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过辽宁科技大学授权不得商用。
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