光伏电池镀膜反应炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体，加热炉体的一端具有炉口，炉口处设有法兰组，法兰组内设有多个进气管道，进气管道的一端从法兰组的周侧伸出、另一端伸入加热炉体内且连接有分流气管，分流气管沿着加热炉体的轴向设于加热炉体内，且各分流气管环绕加热炉体的中心轴阵列分布，分流气管朝向加热炉体中心轴的一侧设有多个分流孔，多个分流孔沿分流气管的轴向间隔分布。该光伏电池镀膜反应炉能够避免反应气体进入加热炉体后，造成加热炉体内沿轴向出现温差，影响加热炉体内温度的均匀性，导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生。

【技术实现步骤摘要】
光伏电池镀膜反应炉
本技术涉及光伏电池镀膜设备
，尤其涉及一种光伏电池镀膜反应炉。
技术介绍
现有应用在半导体等行业中，均需要卧式或立式的真空密封管式设备做工艺或实验，在工艺或者实验过程中，对于气体的进气位置以及抽气位置需要由设备的设计情况确定，进气和抽气位置若设计不当，在安装、调试、使用过程中会对于实验以及批量生产造成较严重的影响，如：气体不能及时抽出导致局部气体残留较多，薄膜生长不均匀，导致生产效率下降、影响生产效率、增加维护成本。PECVD装置是太阳能电池片生产过程中用于镀反减膜的设备，减反膜能有效提高电池片的效率，因此控制好电池片膜厚的片间均匀性很重要，做工艺时，工艺气体一直是流动的，从石英管口进入，流入石英管发生化学反应，然后被真空泵抽走，由于气体进入石英管前温度比石英管内部温度低，所以工艺气体进入石英管后必然会影响石英管内的温度，导致整个温度场不均匀，(膜厚的均匀性主要由外部环境、工艺气体温度、炉体加热强度有关)。现有的技术是由炉口进气，一方面石英管前端温度比石英管内部温度低，导致膜厚不均匀，工作效率降低，另一方面石英本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体(1)，所述加热炉体(1)的一端具有炉口(11)，其特征在于：所述炉口(11)处设有法兰组(2)，所述法兰组(2)内设有多个进气管道(3)，所述进气管道(3)的一端从法兰组(2)的周侧伸出、另一端伸入加热炉体(1)内且连接有分流气管(4)，所述分流气管(4)沿着加热炉体(1)的轴向设于加热炉体(1)内，且各分流气管(4)环绕加热炉体(1)的中心轴阵列分布，所述分流气管(4)朝向加热炉体(1)中心轴的一侧设有多个分流孔(41)，多个所述分流孔(41)沿分流气管(4)的轴向间隔分布。/n

【技术特征摘要】
1.一种光伏电池镀膜反应炉，包括加热炉体(1)，所述加热炉体(1)的一端具有炉口(11)，其特征在于：所述炉口(11)处设有法兰组(2)，所述法兰组(2)内设有多个进气管道(3)，所述进气管道(3)的一端从法兰组(2)的周侧伸出、另一端伸入加热炉体(1)内且连接有分流气管(4)，所述分流气管(4)沿着加热炉体(1)的轴向设于加热炉体(1)内，且各分流气管(4)环绕加热炉体(1)的中心轴阵列分布，所述分流气管(4)朝向加热炉体(1)中心轴的一侧设有多个分流孔(41)，多个所述分流孔(41)沿分流气管(4)的轴向间隔分布。


2.根据权利要求1所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：多个所述分流孔(41)均匀间隔分布。


3.根据权利要求1所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：所述法兰组(2)包括依次叠合的支撑法兰(21)、进气法兰(22)和水冷法兰(23)，所述支撑法兰(21)靠近炉口(11)设置，所述进气管道(3)设于进气法兰(22)内。


4.根据权利要求3所述的光伏电池镀膜反应炉，其特征在于：所述水冷法兰(23)的一侧设有进水接头(231)、另一侧设有出...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晔纯，成秋云，罗志敏，张弥涛，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43