一种管式PECVD净化台设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种管式PECVD净化台设备，包括主框架、上下料系统、输送滑台和缓存架，缓存架设于主框架内，且缓存架包括多层用于存放石墨舟的缓存位，主框架对应每层缓存位设有反应炉对接窗口，输送滑台设于主框架的底部用于输送石墨舟进出主框架，上下料系统包括三轴移动模组和设于三轴移动模组上的托舟机构，三轴移动模组用于驱动托舟机构与输送滑台对接、用于驱动托舟机构与各缓存位对接以及用于驱动托舟机构穿过反应炉对接窗口进出对应的反应炉内。本实用新型专利技术仅通过一个三轴上下料系统，可实现PECVD设备石墨舟进出反应炉、缓存架及输送滑台全部动作，简化了设备结构的复杂性，优化了设备内部操作空间布局，提升石墨舟传送速度。

【技术实现步骤摘要】
一种管式PECVD净化台设备
本技术涉及太阳能电池制备设备，尤其涉及一种管式PECVD净化台设备。
技术介绍
PECVD(等离子增强化学气相沉积)设备主要利用等离子体聚合法在太阳能电池片上沉积形成氮化硅减反射膜，以提高太阳能电池的光电转换效率。而太阳能电池片进出PECVD反应炉由石墨舟进行装载，石墨舟在设备内部主要由推舟机构及上下料机械手实现其从反应炉到缓存架及滑台等位置的循环运动。目前，PECVD设备一般有多管同时进行氮化硅减反射膜沉积工艺，每管之间的化学气相沉积反应是相互独立的，以目前常用的传统五管PECVD设备为例，每一管由一个单独的推舟机构负责石墨舟进出反应炉，该推舟机构具有两套电机系统用于实现石墨舟进出反应炉的上下和前进后退运动，五套推舟即配备十套电机及伺服驱动系统；同时，石墨舟在设备内部的流转(比如石墨舟出炉后上缓存架冷却、石墨舟通过滑台进入插片机插取硅片等动作)仍需配备一套专门的上下料机械手机构，该上下料机械手机构具有三套电机及伺服驱动系统用于实现五管推舟之间的竖直运动以及滑台、缓存架及推舟间的横向运动，导致其具有结构复杂、所需成本高、互换性差，故障率高等缺点。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、经济节约、运行稳定的管式PECVD净化台设备。为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：一种管式PECVD净化台设备，包括主框架、上下料系统、输送滑台和缓存架，所述缓存架设于主框架内，且缓存架包括多层用于存放石墨舟的缓存位，所述主框架对应每层缓存位设有反应炉对接窗口，所述输送滑台设于主框架的底部用于输送石墨舟进出主框架，所述上下料系统包括三轴移动模组和设于三轴移动模组上的托舟机构，所述三轴移动模组用于驱动托舟机构与输送滑台对接、用于驱动托舟机构与各缓存位对接以及用于驱动托舟机构穿过反应炉对接窗口进出对应的反应炉内。作为上述技术方案的进一步改进，所述三轴移动模组包括X轴移动模块、Y轴移动模块和Z轴移动模块，所述Y轴移动模块设于Z轴移动模块的滑块上，所述X轴移动模块设于Y轴移动模块的滑块上，所述托舟机构设于X轴移动模块的滑块上。作为上述技术方案的进一步改进，所述Z轴移动模块设置两组，所述Y轴移动模块设置两组，两组Y轴移动模块分别设于两组Z轴移动模块的滑块上，所述X轴移动模块设于两个Y轴移动模块的滑块上。作为上述技术方案的进一步改进，所述托舟机构包括碳化硅杆、支撑杆和固定座，所述碳化硅杆与支撑杆连接，所述支撑杆与固定座连接，所述固定座与X轴移动模块的滑块连接，所述碳化硅杆与支撑杆均与X轴移动模块平行。作为上述技术方案的进一步改进，所述固定座设有两个安装孔，所述支撑杆一端穿设于两个安装孔内，所述支撑杆位于安装孔内的表面设有多个调节块，所述调节块上设有螺纹孔，所述固定座上对应每个调节块设有调整螺栓，所述调整螺栓伸入安装孔内与调节块的螺纹孔配合。作为上述技术方案的进一步改进，所述调节块为楔块。作为上述技术方案的进一步改进，所述碳化硅杆与支撑杆通过至少一个卡箍连接。与现有技术相比，本技术的优点在于：本技术的管式PECVD净化台设备，将现有技术中推舟机构及机械手的运动功能集成于三轴上下料系统，仅需要五套动力驱动系统即可实现传统PECVD设备石墨舟进出反应炉、缓存架及输送滑台的全部动作，采用一套三轴上下料运动系统集成传统设备上下料机械手及推舟机构的功能，简化了设备结构的复杂性，优化了设备内部操作空间布局，提升石墨舟传送速度，实现了运动系统的模块化装配，相比于现有节省了多套动力驱动系统，极大的缩减了设备各类开关检测元器件的使用，极大的降低了设备电气成本及简化运动控制的难度，提高了设备运行的稳定性。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术中上下料系统的结构示意图。图3是本技术中托舟机构的结构示意图。图4是本技术中托舟机构的局部放大示意图。图中各标号表示：1、主框架；11、反应炉对接窗口；2、输送滑台；3、缓存架；31、缓存位；4、石墨舟；5、三轴移动模组；51、X轴移动模块；52、Y轴移动模块；53、Z轴移动模块；6、托舟机构；601、限位槽；61、碳化硅杆；62、支撑杆；63、固定座；631、安装孔；64、调节块；65、调整螺栓；66、卡箍。具体实施方式以下结合说明书附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。如图1至图4所示，本实施例的管式PECVD净化台设备，包括主框架1、上下料系统、输送滑台2和缓存架3，缓存架3设于主框架1内，且缓存架3包括多层用于存放石墨舟4的缓存位31，主框架1对应每层缓存位31设有反应炉对接窗口11，反应炉对接窗口11对接的是反应炉。输送滑台2设于主框架1的底部，用于输送石墨舟4进出主框架1。上下料系统包括三轴移动模组5和设于三轴移动模组5上的托舟机构6，托舟机构6用于承载石墨舟4，三轴移动模组5用于驱动托舟机构6与输送滑台2对接、用于驱动托舟机构6与各缓存位31对接以及用于驱动托舟机构6穿过反应炉对接窗口11进出对应的反应炉内。三轴移动模组5指的是X轴、Y轴和Z轴三个方向的移动模组，即X轴移动模块51、Y轴移动模块52和Z轴移动模块53，三轴移动模组5驱动托舟机构6在空间内上下、左右、前后三自由度移动。具体是，可以驱动托舟机构6与输送滑台2对接，可以驱动托舟机构6与各缓存位31对接，可以驱动托舟机构6穿过反应炉对接窗口11进出对应的反应炉内。工作时，输送滑台2伸出主框架1装载了石墨舟4之后，输送滑台2缩回进入主框架1内，三轴移动模组5带动托舟机构6下降，与输送滑台2对接，石墨舟4进入托舟机构6上(石墨舟4通过一个机械手从滑台2移动托舟机构6上)，三轴移动模组5又带着托舟机构6经过上升、平移穿过反应炉对接窗口11进入反应炉，托舟机构6将石墨舟4落在反应炉内(石墨舟4直接从托舟机构6上搭接在反应炉对应的位置)，之后三轴移动模组5带着托舟机构6返回退出反应炉。待反应结束后，三轴移动模组5带着托舟机构6又进入反应炉，取出石墨舟4，将石墨舟4放置在缓存位31上(石墨舟4直接从托舟机构6搭接到缓存位31上)，进行冷却，冷却之后，三轴移动模组5又会带着托舟机构6与缓存位31对接，将石墨舟4移动至托舟机构6上，托舟机构6带着石墨舟4再次与输送滑台2对接，将反应后的石墨舟4运往下个工艺的对接机构(一般进行的是送入插片机进行插取片)。将传统五套推舟机构及机械手的运动功能集成于三轴上下料系统，仅需要三套动力驱动系统即可实现传统PECVD设备石墨舟4进出反应炉、缓存架3及输送滑台2的全部动作，采用一套三轴上下料运动系统集成传统设备上下料机械手及推舟机构的功能，简化了设备结构的复杂性，优化了设备内部操作空间布局，提升石墨舟4传送速度，实现了运动系统的模块化装配，相比于现有节省了多套动力驱动系统(电机及伺服驱动器)，极大的缩减了设备各类开关检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管式PECVD净化台设备，其特征在于：包括主框架(1)、上下料系统、输送滑台(2)和缓存架(3)，所述缓存架(3)设于主框架(1)内，且缓存架(3)包括多层用于存放石墨舟(4)的缓存位(31)，所述主框架(1)对应每层缓存位(31)设有反应炉对接窗口(11)，所述输送滑台(2)设于主框架(1)的底部用于输送石墨舟(4)进出主框架(1)，所述上下料系统包括三轴移动模组(5)和设于三轴移动模组(5)上的托舟机构(6)，所述三轴移动模组(5)用于驱动托舟机构(6)与输送滑台(2)对接、用于驱动托舟机构(6)与各缓存位(31)对接以及用于驱动托舟机构(6)穿过反应炉对接窗口(11)进出对应的反应炉内。/n

【技术特征摘要】
1.一种管式PECVD净化台设备，其特征在于：包括主框架(1)、上下料系统、输送滑台(2)和缓存架(3)，所述缓存架(3)设于主框架(1)内，且缓存架(3)包括多层用于存放石墨舟(4)的缓存位(31)，所述主框架(1)对应每层缓存位(31)设有反应炉对接窗口(11)，所述输送滑台(2)设于主框架(1)的底部用于输送石墨舟(4)进出主框架(1)，所述上下料系统包括三轴移动模组(5)和设于三轴移动模组(5)上的托舟机构(6)，所述三轴移动模组(5)用于驱动托舟机构(6)与输送滑台(2)对接、用于驱动托舟机构(6)与各缓存位(31)对接以及用于驱动托舟机构(6)穿过反应炉对接窗口(11)进出对应的反应炉内。


2.根据权利要求1所述的管式PECVD净化台设备，其特征在于：所述三轴移动模组(5)包括X轴移动模块(51)、Y轴移动模块(52)和Z轴移动模块(53)，所述Y轴移动模块(52)设于Z轴移动模块(53)的滑块上，所述X轴移动模块(51)设于Y轴移动模块(52)的滑块上，所述托舟机构(6)设于X轴移动模块(51)的滑块上。


3.根据权利要求2所述的管式PECVD净化台设备，其特征在于：所述Z轴移动模块(53)设置两组，所述Y轴移动模块(52)设置两组，两组Y轴移动模块(52)分别设于...

【专利技术属性】
技术研发人员：周佑丞，张春成，李晔纯，成秋云，吴得轶，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43