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本实用新型公开了一种管式PECVD净化台设备，包括主框架、上下料系统、输送滑台和缓存架，缓存架设于主框架内，且缓存架包括多层用于存放石墨舟的缓存位，主框架对应每层缓存位设有反应炉对接窗口，输送滑台设于主框架的底部用于输送石墨舟进出主框架，上...
该专利属于湖南红太阳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南红太阳光电科技有限公司授权不得商用。

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