【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池片镀膜装置及其使用方法
本专利技术涉及太阳能电池片镀膜领域。
技术介绍
太阳能电池生产有一个工艺段镀减反射膜工艺段（PECVD），该工艺段利用辉光放电的物理作用来激活粒子的一种化学气相反应，可在相对较低的温度下发生反应，在硅片表面沉积氮化硅薄膜。氮化硅薄膜具有减反射和钝化作用，提高了电池片开路电压和短路电流，进而提高了电池片转化效率。PECVD工艺段生产过程中会产生大量不合格片，约占产线的2%。其中破片等原因造成的不合格片约占产线的0.15%。PECVD工艺段生产过程中会产生的大量不合格片主要是由于镀膜不合格造成的。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：如何减少PECVD工艺段生产过程中产生的不合格片。本专利技术所采用的技术方案是：一种太阳能电池片镀膜装置，双层石英管（7）的气体进出口端各自安装有一个法兰（3），气体进口段的法兰（3）上安装有多个带阀门的工艺气体进口管（2），气体出口段的法兰（3）上有连接尾气处理装置（8）的尾气管，双层石英管（7）的气体进口端处安装...
【技术保护点】
1.一种太阳能电池片镀膜装置，其特征在于：双层石英管（7）的气体进出口端各自安装有一个法兰（3），气体进口段的法兰（3）上安装有多个带阀门的工艺气体进口管（2），气体出口段的法兰（3）上有连接尾气处理装置（8）的尾气管，双层石英管（7）的气体进口端处安装有多层栅栏板（4），多层栅栏板（4）连接气体混合腔和镀膜腔，镀膜腔的中安装有旋转盘（5），镀膜腔的外侧安装有感应线圈（1），镀膜腔通过管路连接抽真空设备（6），待镀膜的电池片放置在旋转盘（5）中。/n
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池片镀膜装置，其特征在于：双层石英管（7）的气体进出口端各自安装有一个法兰（3），气体进口段的法兰（3）上安装有多个带阀门的工艺气体进口管（2），气体出口段的法兰（3）上有连接尾气处理装置（8）的尾气管，双层石英管（7）的气体进口端处安装有多层栅栏板（4），多层栅栏板（4）连接气体混合腔和镀膜腔，镀膜腔的中安装有旋转盘（5），镀膜腔的外侧安装有感应线圈（1），镀膜腔通过管路连接抽真空设备（6），待镀膜的电池片放置在旋转盘（5）中。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片镀膜装置，其特征在于：旋转盘（5）安装在底座固定在太阳能电池片镀膜装置上的电机的输出轴上。
3.一种权利要求1中所述太阳能电池片...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁玲，刘宝华，郭丽，
申请(专利权)人：山西潞安太阳能科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：山西;14
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