本申请提供了一种绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、横向移动机构和升降移动机构；升降移动机构包括支座、滑板和升降直线电机，升降直线电机包括竖向动子板和竖向定子板，竖向动子板横向滑动安装于竖向定子板中。通过设置可以在竖向定子板中横向移动的竖向动子板，并且将竖向动子板与滑板相连，滑板升降滑动安装在支座上，而支座支撑在横向交叉导轨上，而固晶绑头支撑在滑板上，竖向定子板支撑在机架上，从而使升降移动机构的大部分重量直接支撑在机架上，以减小横向动子板驱动移动部分结构的重量，进而减小运动惯量冲击，保证横向移动平稳性，减小磨损和运行噪音，进而降低发热，保证长期运动精度，从而提升固晶效率与精度。
【技术实现步骤摘要】
绑头固晶装置
本申请属于固晶设备
，更具体地说，是涉及一种绑头固晶装置。
技术介绍
晶片固晶时，需要驱动固晶绑头升降移动，以将固晶绑头移动到适当的高度，便于固晶绑头取放晶片；同时还需要驱动固晶绑头横向移动，以移动晶片。当前绑头固晶装置一般是将固晶绑头支撑在升降机构上，而将升降机构支撑在横向丝杆机构上，通过横向丝杆机构驱动升降机构横向移动，以带动固晶绑头横向移动。然而这种结构具有较大的运动惯量，导致运行时存在发热大、磨损大、噪声大，运动惯量大，长期运行影响精度。
技术实现思路
本申请实施例的目的在于提供一种绑头固晶装置，以解决相关技术中存在的固晶绑头横向移动运动惯量大影响精度的问题。为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：提供一种绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、用于驱动所述固晶绑头横向移动的横向移动机构和用于驱动所述固晶绑头升降的升降移动机构；所述横向移动机构包括支撑于所述机架上的滑座、横向安装于所述滑座上的横向交叉导轨和横向直线电机，所述横向直线电机包括用于带动所述固晶绑头横向移动的横向动子板和驱动所述横向动子板横向移动的横向定子板，所述横向定子板支撑于所述机架上；所述升降移动机构包括与所述横向交叉导轨相连的支座、竖向滑动安装于所述支座上的滑板和驱动所述滑板升降移动的升降直线电机，所述固晶绑头安装于所述滑板上，所述升降直线电机包括与所述滑板相连的竖向动子板和驱动所述竖向动子板升降移动的竖向定子板，所述竖向动子板横向滑动安装于所述竖向定子板中，所述竖向定子板与所述机架固定相连，所述横向动子板与所述支座固定相连。在一个实施例中，所述横向移动机构还包括分别设于所述横向交叉导轨两侧的同步移动组件，各所述同步移动组件包括安装于所述滑座上的齿轮和分别与所述齿轮啮合的固定齿条和滑动齿条，所述固定齿条与所述滑动齿条均平行于所述横向交叉导轨，所述固定齿条与所述滑动齿条分别位于所述齿轮的两侧，所述固定齿条固定于所述滑座上，所述滑动齿条与所述横向交叉导轨相连。在一个实施例中，所述横向交叉导轨上设有若干减重孔。在一个实施例中，所述升降移动机构还包括用于引导所述滑板升降的竖向交叉导轨，所述竖向交叉导轨竖向设置于所述支座上，所述滑板支撑于所述竖向交叉导轨上。在一个实施例中，所述升降移动机构还包括用于向上拉动所述滑板的弹性件，所述弹性件的一端与所述滑板相连，所述弹性件的另一端与所述支座相连。在一个实施例中，所述绑头固晶装置还包括驱动所述固晶绑头纵向移动的纵向移动机构，所述纵向移动机构安装于所述机架上，所述滑座支撑于所述纵向移动机构上，所述竖向动子板纵向滑动安装于所述竖向定子板中，所述横向动子板纵向滑动安装于所述横向定子板中。在一个实施例中，所述绑头固晶装置还包括固定于所述机架上的支撑架，所述支撑架包括分别设于所述滑座两侧的立板和连接两个所述立板的支撑板，各所述立板与所述横向定子板固定相连，所述竖向定子板安装于所述支撑板上。在一个实施例中，所述纵向移动机构包括安装于所述机架上的固定座、支撑所述滑座的滑块、滑动支撑所述滑块的直线导轨和驱动所述滑座纵向移动的纵向直线电机，所述纵向直线电机安装于所述固定座上，所述直线导轨纵向设于所述固定座上。在一个实施例中，所述固晶绑头包括吸嘴组件、支撑所述吸嘴组件的支撑座、驱动所述支撑座升降的升降驱动器、支撑所述支撑座的升降交叉导轨、支撑所述升降交叉导轨的支架和用于驱动所述吸嘴组件转动以调节所述吸嘴组件角度的校正组件，所述升降驱动器安装于所述支架上，所述校正组件安装于所述支架上，所述吸嘴组件转动安装于所述支撑座上，所述支架支撑于所述横向交叉导轨上。在一个实施例中，所述校正组件包括与所述吸嘴组件相连的从动轮、安装于所述支架上的调节电机、安装于所述调节电机上的主动轮和连接所述从动轮与所述主动轮的传动带。本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：本申请实施例提供的绑头固晶装置，通过设置可以在竖向定子板中横向移动的竖向动子板，并且将竖向动子板与滑板相连，滑板升降滑动安装在支座上，而支座支撑在横向交叉导轨上，将横向直线电机的横向动子板与支座相连，而固晶绑头支撑在滑板上，竖向定子板支撑在机架上，从而使升降移动机构的大部分重量直接支撑在机架上，以减小横向动子板驱动移动部分结构的重量，进而减小运动惯量冲击，保证横向移动平稳性，减小磨损和运行噪音，进而降低发热，保证长期运动精度，从而提升固晶效率与精度。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的绑头固晶装置的结构示意图。图2为图1的绑头固晶装置中部分结构示意。图3为图1的绑头固晶装置中部分结构的爆炸结构示意图。图4为图3中支座、滑板及竖向交叉导轨组合的侧视结构示意图。图5为图3中横向交叉导轨及滑座组合的结构示意图。图6为图3中竖向直线电机的分解结构示意图。图7为图3中固晶绑头的结构示意图。其中，图中各附图主要标记：100-绑头固晶装置；11-机架；12-支撑架；121-立板；122-支撑板；20-纵向移动机构；21-固定座；22-直线导轨；23-滑块；24-纵向直线电机；241-纵向定子板；242-纵向动子板；251-限位档块；252-限位块；30-横向移动机构；31-滑座；32-横向直线电机；321-横向定子板；322-横向动子板；33-横向交叉导轨；331-减重孔；34-同步移动组件；341-齿轮；342-固定齿条；343-滑动齿条；40-升降移动机构；41-支座；42-升降直线电机；421-竖向定子板；422-竖向动子板；43-竖向交叉导轨；44-滑板；45-弹性件；50-固晶绑头；51-支架；52-吸嘴组件；53-支撑座；54-升降驱动器；55-升降交叉导轨；56-校正组件；561-调节电机；562-主动轮；563-从动轮；564-传动带。具体实施方式为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、用于驱动所述固晶绑头横向移动的横向移动机构和用于驱动所述固晶绑头升降的升降移动机构；其特征在于：所述横向移动机构包括支撑于所述机架上的滑座、横向安装于所述滑座上的横向交叉导轨和横向直线电机，所述横向直线电机包括用于带动所述固晶绑头横向移动的横向动子板和驱动所述横向动子板横向移动的横向定子板，所述横向定子板支撑于所述机架上；所述升降移动机构包括与所述横向交叉导轨相连的支座、竖向滑动安装于所述支座上的滑板和驱动所述滑板升降移动的升降直线电机，所述固晶绑头安装于所述滑板上，所述升降直线电机包括与所述滑板相连的竖向动子板和驱动所述竖向动子板升降移动的竖向定子板，所述竖向动子板横向滑动安装于所述竖向定子板中，所述竖向定子板与所述机架固定相连，所述横向动子板与所述支座固定相连。/n
【技术特征摘要】
1.绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、用于驱动所述固晶绑头横向移动的横向移动机构和用于驱动所述固晶绑头升降的升降移动机构；其特征在于：所述横向移动机构包括支撑于所述机架上的滑座、横向安装于所述滑座上的横向交叉导轨和横向直线电机，所述横向直线电机包括用于带动所述固晶绑头横向移动的横向动子板和驱动所述横向动子板横向移动的横向定子板，所述横向定子板支撑于所述机架上；所述升降移动机构包括与所述横向交叉导轨相连的支座、竖向滑动安装于所述支座上的滑板和驱动所述滑板升降移动的升降直线电机，所述固晶绑头安装于所述滑板上，所述升降直线电机包括与所述滑板相连的竖向动子板和驱动所述竖向动子板升降移动的竖向定子板，所述竖向动子板横向滑动安装于所述竖向定子板中，所述竖向定子板与所述机架固定相连，所述横向动子板与所述支座固定相连。
2.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述横向移动机构还包括分别设于所述横向交叉导轨两侧的同步移动组件，各所述同步移动组件包括安装于所述滑座上的齿轮和分别与所述齿轮啮合的固定齿条和滑动齿条，所述固定齿条与所述滑动齿条均平行于所述横向交叉导轨，所述固定齿条与所述滑动齿条分别位于所述齿轮的两侧，所述固定齿条固定于所述滑座上，所述滑动齿条与所述横向交叉导轨相连。
3.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述横向交叉导轨上设有若干减重孔。
4.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述升降移动机构还包括用于引导所述滑板升降的竖向交叉导轨，所述竖向交叉导轨竖向设置于所述支座上，所述滑板支撑于所述竖向交叉导轨上。
5.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述升降移动机构还包括用于向上拉动所述滑板的弹...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡新荣，
申请(专利权)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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