绑头固晶装置制造方法及图纸

本申请提供了一种绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、横向移动机构和升降移动机构；升降移动机构包括支座、滑板和升降直线电机，升降直线电机包括竖向动子板和竖向定子板，竖向动子板横向滑动安装于竖向定子板中。通过设置可以在竖向定子板中横向移动的竖向动子板，并且将竖向动子板与滑板相连，滑板升降滑动安装在支座上，而支座支撑在横向交叉导轨上，而固晶绑头支撑在滑板上，竖向定子板支撑在机架上，从而使升降移动机构的大部分重量直接支撑在机架上，以减小横向动子板驱动移动部分结构的重量，进而减小运动惯量冲击，保证横向移动平稳性，减小磨损和运行噪音，进而降低发热，保证长期运动精度，从而提升固晶效率与精度。

【技术实现步骤摘要】
绑头固晶装置
本申请属于固晶设备
，更具体地说，是涉及一种绑头固晶装置。
技术介绍
晶片固晶时，需要驱动固晶绑头升降移动，以将固晶绑头移动到适当的高度，便于固晶绑头取放晶片；同时还需要驱动固晶绑头横向移动，以移动晶片。当前绑头固晶装置一般是将固晶绑头支撑在升降机构上，而将升降机构支撑在横向丝杆机构上，通过横向丝杆机构驱动升降机构横向移动，以带动固晶绑头横向移动。然而这种结构具有较大的运动惯量，导致运行时存在发热大、磨损大、噪声大，运动惯量大，长期运行影响精度。
技术实现思路
本申请实施例的目的在于提供一种绑头固晶装置，以解决相关技术中存在的固晶绑头横向移动运动惯量大影响精度的问题。为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：提供一种绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、用于驱动所述固晶绑头横向移动的横向移动机构和用于驱动所述固晶绑头升降的升降移动机构；所述横向移动机构包括支撑于所述机架上的滑座、横向安装于所述滑座上的横向交叉导轨和横向直线电机，所述横向直线电机包括用于带动所述固晶绑头横向移动的横向动子板和驱动所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、用于驱动所述固晶绑头横向移动的横向移动机构和用于驱动所述固晶绑头升降的升降移动机构；其特征在于：所述横向移动机构包括支撑于所述机架上的滑座、横向安装于所述滑座上的横向交叉导轨和横向直线电机，所述横向直线电机包括用于带动所述固晶绑头横向移动的横向动子板和驱动所述横向动子板横向移动的横向定子板，所述横向定子板支撑于所述机架上；所述升降移动机构包括与所述横向交叉导轨相连的支座、竖向滑动安装于所述支座上的滑板和驱动所述滑板升降移动的升降直线电机，所述固晶绑头安装于所述滑板上，所述升降直线电机包括与所述滑板相连的竖向动子板和驱动所述竖向动子板升降移动的竖向定子板，所...

【技术特征摘要】
1.绑头固晶装置，包括机架、固晶绑头、用于驱动所述固晶绑头横向移动的横向移动机构和用于驱动所述固晶绑头升降的升降移动机构；其特征在于：所述横向移动机构包括支撑于所述机架上的滑座、横向安装于所述滑座上的横向交叉导轨和横向直线电机，所述横向直线电机包括用于带动所述固晶绑头横向移动的横向动子板和驱动所述横向动子板横向移动的横向定子板，所述横向定子板支撑于所述机架上；所述升降移动机构包括与所述横向交叉导轨相连的支座、竖向滑动安装于所述支座上的滑板和驱动所述滑板升降移动的升降直线电机，所述固晶绑头安装于所述滑板上，所述升降直线电机包括与所述滑板相连的竖向动子板和驱动所述竖向动子板升降移动的竖向定子板，所述竖向动子板横向滑动安装于所述竖向定子板中，所述竖向定子板与所述机架固定相连，所述横向动子板与所述支座固定相连。


2.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述横向移动机构还包括分别设于所述横向交叉导轨两侧的同步移动组件，各所述同步移动组件包括安装于所述滑座上的齿轮和分别与所述齿轮啮合的固定齿条和滑动齿条，所述固定齿条与所述滑动齿条均平行于所述横向交叉导轨，所述固定齿条与所述滑动齿条分别位于所述齿轮的两侧，所述固定齿条固定于所述滑座上，所述滑动齿条与所述横向交叉导轨相连。


3.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述横向交叉导轨上设有若干减重孔。


4.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述升降移动机构还包括用于引导所述滑板升降的竖向交叉导轨，所述竖向交叉导轨竖向设置于所述支座上，所述滑板支撑于所述竖向交叉导轨上。


5.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述升降移动机构还包括用于向上拉动所述滑板的弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡新荣，
申请(专利权)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44