下载绑头固晶装置的技术资料

文档序号:24942629

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本申请提供了一种绑头固晶装置,包括机架、固晶绑头、横向移动机构和升降移动机构;升降移动机构包括支座、滑板和升降直线电机,升降直线电机包括竖向动子板和竖向定子板,竖向动子板横向滑动安装于竖向定子板中。通过设置可以在竖向定子板中横向移动的竖向动...
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