一种真空腔室制造技术

本申请涉及OLED工艺设备技术领域，公开了一种真空腔室，包括：壳体，壳体的第一侧壁上形成有卡匣进入壳体内的入口，第二侧壁和第三侧壁上设有用于驱动卡匣沿垂直于第一侧壁的方向移动的传输机构，传输机构包括壳体内的多个主动轮组件、用于驱动主动轮组件周向旋转的第一传动轴、用于驱动传动轴旋转的第一驱动机构、可驱动主动轮组件沿传动轴的轴心线移动的驱动装置、用于驱动驱动装置运动的第二驱动机构；卡匣的底部与主动轮组件接触，第一传动轴与壳体之间动密封，驱动装置与壳体之间动密封；位于壳体内部的升降机构。本申请公开的真空腔室，不仅能够同时实现主动轮组件旋转运动和直线运动，且能够保证真空腔室内的密封性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔室
本申请涉及OLED工艺设备
，特别涉及一种真空腔室。
技术介绍
在OLED工艺设备，高真空腔体内部需要对玻璃、掩膜板、卡匣进行移动和定位，因此需要传动机构实现这些功能。其中，密封是保证高真空腔体内部的真空度是关键的技术要求之一。现有的用于真空腔室动密封的技术手段主要是两类：磁流体密封轴承和不锈钢波纹管。磁流体密封轴承只能对做旋转运动的轴进行密封，波纹管只能对沿轴向直线运动的结构进行密封，这两种密封的技术手段都无法兼顾旋转运动和直线运动结构。而高真空腔体内部可用于设计传动机构的空间有限，如果传动机构很复杂结构尺寸占腔室的比例很大，不仅增加泄露的概率而且需要制造更大的腔室，设备的成本会增加。
技术实现思路
本技术提供了一种真空腔室，不仅能够同时实现真空腔室内的主动轮组件旋转运动和直线运动，且能够保证真空腔室内的密封性。为了达到上述目的，本技术提供了一种真空腔室，包括：壳体，所述壳体内形成有真空腔体，所述壳体具有第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，所述第一侧壁与所述第四侧壁相对，所述第二侧壁与所述第三侧壁相对，其中，第一侧壁上形成有卡匣进入所述壳体内的入口；所述第二侧壁和所述第三侧壁上均设有用于驱动所述卡匣沿垂直于所述第一侧壁的方向移动的传输机构，每一个所述传输机构包括：位于所述壳体内部、沿垂直于所述第一侧壁的方向排列的多个主动轮组件，可绕自身轴心线旋转且贯穿侧壁地安装于侧壁上、用于驱动所述主动轮组件周向旋转的第一传动轴，位于所述壳体外部、用于驱动所述传动轴旋转的第一驱动机构，可驱动所述主动轮组件沿所述传动轴的轴心线移动、且贯穿于侧壁地安装于侧壁上的驱动装置，位于所述壳体外部、用于驱动所述驱动装置运动的第二驱动机构；其中，所述卡匣的底部与所述主动轮组件接触，所述第一传动轴与所述壳体之间动密封，所述驱动装置与所述壳体之间动密封；位于所述壳体内部、用于控制进入所述壳体内部的卡匣沿垂直于所述第一侧壁、且垂直于所述传动轴的轴心线方向移动的升降机构。本技术提供的真空腔室，在相对的两个侧壁上各安装有传输机构，当卡匣由入口进入壳体内时，卡匣的底部与传输机构中的主动轮组件接触，第一驱动机构通过驱动第一传动轴绕自身轴心线转动，以此带动主动轮组件旋转，利用主动轮组件旋转时与卡匣底部产生的摩擦力，将卡匣沿垂直于第一侧壁的方向输送进入壳体内部。同时，两个侧壁上的主动轮组件可在驱动装置的作用下沿第一传动轴的轴心线方向朝背离彼此的方向移动，使得卡匣的底部与主动轮组件脱离接触，卡匣在升降机构的作用下可实现移动。此外，上述真空腔室，第一传动轴与壳体之间、驱动装置与壳体之间均保证了动密封。因此，本技术提供的真空腔室，不仅能够同时实现主动轮组件的旋转运动和直线运动，同时还能解决传输机构的动密封问题。优选地，所述第一传动轴为花键轴。优选地，所述主动轮组件包括：套设于所述第一传动轴上的花键套筒、固定于所述花键套筒的法兰上的转轴、固定于所述转轴上的第一轴承座和第二轴承座、以及固定于所述转轴轴端的主动轮。优选地，所述转轴具有空心结构以使所述主动轮组件沿所述第一转动轴的轴心线方向移动时，所述空心结构容纳所述第一传动轴。优选地，所述第一传动轴与所述壳体之间安装有磁流体密封轴承以实现动密封。优选地，所述第一驱动机构包括电机、与所述电机连接的第二传动轴以及通过所述第二传动轴驱动、与所述第一传动轴一一对应连接的锥齿轮副。优选地，所述驱动装置包括：贯穿于侧壁的连杆组件，位于所述壳体内部、与所述连杆组件的一端固定、用于支撑所述主动轮组件的支架和直线导轨，位于所述壳体外部、用于连接位于同一个侧壁上的多个所述连杆组件位于所述壳体外部的一端的连接板，以及用于驱动所述连接板沿所述第一传动轴的轴心线方向移动的气缸。优选地，所述连杆组件位于所述壳体外部的部分安装有波纹管以实现与所述壳体之间的动密封。优选地，所述传输机构位于所述壳体内部的部分与所述壳体之间安装有密封圈。附图说明图1为本申请中的真空腔室的正视图；图2为本申请中的真空腔室传输机构传输卡匣的侧视图；图3为本申请中的真空腔室中升降机构移动卡匣的示意图；图4为本申请中的传输机构的结构示意图；图5为本申请中的传输机构的内部结构示意图；图6为本申请中的传输机构的剖视图；图7为本申请中的主动轮组件的结构示意图。图中：1-卡匣；2-壳体；3-传输机构；4-主动轮组件；5-升降机构；6-密封圈；7-磁流体密封轴承；8-花键轴；9-电机；10-锥齿轮副；11-第二传动轴；12-气缸；13-连接板；14-连杆组件；15-支架；16-直线导轨；17-花键套筒；18-转轴；19-第一轴承座；20-第二轴承座；21-主动轮；22-波纹管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参考图1、图2及图3，本技术提供了一种真空腔室，用于对卡匣1移动和定位，该真空腔室包括：壳体2、传输机构3和升降机构5，其中，壳体2内部形成有真空腔体，壳体2具有相对设置的第一侧壁和第四侧壁以及相对设置的第二侧壁和第三侧壁，第二侧壁和第三侧壁与第一侧壁相邻，第一侧壁上有使得卡匣1进入壳体2内部的入口。第二侧壁和第三侧壁上各设有一个传输机构3，传输机构3具有以下结构：位于壳体2内部、沿垂直于第一侧壁的方向排列的多个主动轮组件4，可绕自身轴心线旋转且贯穿侧壁地安装于侧壁上、用于驱动主动轮组件4周向旋转的第一传动轴，位于壳体2外部、用于驱动传动轴旋转的第一驱动机构，可驱动主动轮组件4沿传动轴的轴心线移动、且贯穿于侧壁地安装于侧壁上的驱动装置，位于壳体2外部、用于驱动该驱动装置运动的第二驱动机构。升降机构5安装于壳体2内部，用于驱动卡匣1沿垂直于第一侧壁、且垂直于传动轴的轴心线方向移动。当卡匣1进入壳体2内时，卡匣1的底部与主动轮组件4接触，第一驱动装置提供动力驱动第一传动轴绕自身轴心线旋转，以此带动主动轮组件4旋转，利用主动轮组件4旋转时与卡匣1底部产生的摩擦力将卡匣1移送至壳体2内部；当卡匣1到达指定位置时，第二驱动机构向驱动装置提供动力，使得驱动装置沿第一传动轴的轴心线方向做直线运动，以带动主动轮组件4向远离另一排主动轮21的方向移动，使得卡匣1的底部与两侧的主动轮组件4脱离接触；再利用升降机构5实现卡匣1的移动。上述真空腔室还在第一传动轴与壳体2之间以及驱动装置与壳体2之间设置了实现动密封的结构，使得传输机构3在实现主动轮组件4旋转运动和直线运动的同时，保证了真空腔室内的密封效果。作为一种优选的方案，如图4及图7所示，上述第一传动轴可选择花本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空腔室，其特征在于，包括：/n壳体，所述壳体内形成有真空腔体，所述壳体具有第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，所述第一侧壁与所述第四侧壁相对，所述第二侧壁与所述第三侧壁相对，其中，第一侧壁上形成有卡匣进入所述壳体内的入口；/n所述第二侧壁和所述第三侧壁上均设有用于驱动所述卡匣沿垂直于所述第一侧壁的方向移动的传输机构，每一个所述传输机构包括：位于所述壳体内部、沿垂直于所述第一侧壁的方向排列的多个主动轮组件，可绕自身轴心线旋转且贯穿侧壁地安装于侧壁上、用于驱动所述主动轮组件周向旋转的第一传动轴，位于所述壳体外部、用于驱动所述传动轴旋转的第一驱动机构，可驱动所述主动轮组件沿所述传动轴的轴心线移动、且贯穿于侧壁地安装于侧壁上的驱动装置，位于所述壳体外部、用于驱动所述驱动装置运动的第二驱动机构；其中，所述卡匣的底部与所述主动轮组件接触，所述第一传动轴与所述壳体之间动密封，所述驱动装置与所述壳体之间动密封；/n位于所述壳体内部、用于控制进入所述壳体内部的卡匣沿垂直于所述第一侧壁、且垂直于所述传动轴的轴心线方向移动的升降机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空腔室，其特征在于，包括：
壳体，所述壳体内形成有真空腔体，所述壳体具有第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，所述第一侧壁与所述第四侧壁相对，所述第二侧壁与所述第三侧壁相对，其中，第一侧壁上形成有卡匣进入所述壳体内的入口；
所述第二侧壁和所述第三侧壁上均设有用于驱动所述卡匣沿垂直于所述第一侧壁的方向移动的传输机构，每一个所述传输机构包括：位于所述壳体内部、沿垂直于所述第一侧壁的方向排列的多个主动轮组件，可绕自身轴心线旋转且贯穿侧壁地安装于侧壁上、用于驱动所述主动轮组件周向旋转的第一传动轴，位于所述壳体外部、用于驱动所述传动轴旋转的第一驱动机构，可驱动所述主动轮组件沿所述传动轴的轴心线移动、且贯穿于侧壁地安装于侧壁上的驱动装置，位于所述壳体外部、用于驱动所述驱动装置运动的第二驱动机构；其中，所述卡匣的底部与所述主动轮组件接触，所述第一传动轴与所述壳体之间动密封，所述驱动装置与所述壳体之间动密封；
位于所述壳体内部、用于控制进入所述壳体内部的卡匣沿垂直于所述第一侧壁、且垂直于所述传动轴的轴心线方向移动的升降机构。


2.根据权利要求1所述的真空腔室，其特征在于，所述第一传动轴为花键轴。


3.根据权利要求2所述的真空腔室，其特征在于，所述主动轮组件包括：套设于所述第一传动轴上的花键套筒、固定于所述花键套筒的法兰上的转...

【专利技术属性】
技术研发人员：李兆晟，金薰，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34