一种真空腔室制造技术

本申请涉及OLED工艺设备技术领域，公开了一种真空腔室，包括：壳体，壳体的第一侧壁上形成有卡匣进入壳体内的入口，第二侧壁和第三侧壁上设有用于驱动卡匣沿垂直于第一侧壁的方向移动的传输机构，传输机构包括壳体内的多个主动轮组件、用于驱动主动轮组件周向旋转的第一传动轴、用于驱动传动轴旋转的第一驱动机构、可驱动主动轮组件沿传动轴的轴心线移动的驱动装置、用于驱动驱动装置运动的第二驱动机构；卡匣的底部与主动轮组件接触，第一传动轴与壳体之间动密封，驱动装置与壳体之间动密封；位于壳体内部的升降机构。本申请公开的真空腔室，不仅能够同时实现主动轮组件旋转运动和直线运动，且能够保证真空腔室内的密封性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔室
本申请涉及OLED工艺设备
，特别涉及一种真空腔室。
技术介绍
在OLED工艺设备，高真空腔体内部需要对玻璃、掩膜板、卡匣进行移动和定位，因此需要传动机构实现这些功能。其中，密封是保证高真空腔体内部的真空度是关键的技术要求之一。现有的用于真空腔室动密封的技术手段主要是两类：磁流体密封轴承和不锈钢波纹管。磁流体密封轴承只能对做旋转运动的轴进行密封，波纹管只能对沿轴向直线运动的结构进行密封，这两种密封的技术手段都无法兼顾旋转运动和直线运动结构。而高真空腔体内部可用于设计传动机构的空间有限，如果传动机构很复杂结构尺寸占腔室的比例很大，不仅增加泄露的概率而且需要制造更大的腔室，设备的成本会增加。
技术实现思路
本技术提供了一种真空腔室，不仅能够同时实现真空腔室内的主动轮组件旋转运动和直线运动，且能够保证真空腔室内的密封性。为了达到上述目的，本技术提供了一种真空腔室，包括：壳体，所述壳体内形成有真空腔体，所述壳体具有第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，所述第一侧壁与所述第四侧壁相对，所述第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空腔室，其特征在于，包括：/n壳体，所述壳体内形成有真空腔体，所述壳体具有第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，所述第一侧壁与所述第四侧壁相对，所述第二侧壁与所述第三侧壁相对，其中，第一侧壁上形成有卡匣进入所述壳体内的入口；/n所述第二侧壁和所述第三侧壁上均设有用于驱动所述卡匣沿垂直于所述第一侧壁的方向移动的传输机构，每一个所述传输机构包括：位于所述壳体内部、沿垂直于所述第一侧壁的方向排列的多个主动轮组件，可绕自身轴心线旋转且贯穿侧壁地安装于侧壁上、用于驱动所述主动轮组件周向旋转的第一传动轴，位于所述壳体外部、用于驱动所述传动轴旋转的第一驱动机构，可驱动所述主动轮组件沿所述传动轴的...

【技术特征摘要】
1.一种真空腔室，其特征在于，包括：
壳体，所述壳体内形成有真空腔体，所述壳体具有第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，所述第一侧壁与所述第四侧壁相对，所述第二侧壁与所述第三侧壁相对，其中，第一侧壁上形成有卡匣进入所述壳体内的入口；
所述第二侧壁和所述第三侧壁上均设有用于驱动所述卡匣沿垂直于所述第一侧壁的方向移动的传输机构，每一个所述传输机构包括：位于所述壳体内部、沿垂直于所述第一侧壁的方向排列的多个主动轮组件，可绕自身轴心线旋转且贯穿侧壁地安装于侧壁上、用于驱动所述主动轮组件周向旋转的第一传动轴，位于所述壳体外部、用于驱动所述传动轴旋转的第一驱动机构，可驱动所述主动轮组件沿所述传动轴的轴心线移动、且贯穿于侧壁地安装于侧壁上的驱动装置，位于所述壳体外部、用于驱动所述驱动装置运动的第二驱动机构；其中，所述卡匣的底部与所述主动轮组件接触，所述第一传动轴与所述壳体之间动密封，所述驱动装置与所述壳体之间动密封；
位于所述壳体内部、用于控制进入所述壳体内部的卡匣沿垂直于所述第一侧壁、且垂直于所述传动轴的轴心线方向移动的升降机构。


2.根据权利要求1所述的真空腔室，其特征在于，所述第一传动轴为花键轴。


3.根据权利要求2所述的真空腔室，其特征在于，所述主动轮组件包括：套设于所述第一传动轴上的花键套筒、固定于所述花键套筒的法兰上的转...

【专利技术属性】
技术研发人员：李兆晟，金薰，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34