有机薄膜的成膜方法及其应用技术

本发明专利技术涉及一种有机薄膜的成膜方法及其应用，其中有机薄膜的成膜方法包括以下步骤：将成膜所用墨水打印至成膜槽内形成墨水层；对墨水层进行第一次干燥，至成膜槽内的墨水层所在的液面与成膜槽的边缘齐平；对经过第一次干燥的墨水层进行第二次干燥，得到有机薄膜，其中，第一次干燥对应的真空度与第二次干燥对应的真空度不一致。该方法能够提升整个像素内的薄膜均匀性。

【技术实现步骤摘要】
有机薄膜的成膜方法及其应用
本专利技术涉及有机显示
，特别涉及有机薄膜的成膜方法及其应用。
技术介绍
有机电致发光二极管(OLED)由于其具有自发光、反应快、视角广、亮度高、轻薄等优点，成为未来显示的主流。采用溶液加工制备OLED显示器，由于其低成本、高产能、易于实现大尺寸等优点，是未来显示技术发展的重要方向，特别是印刷工艺。在印刷工艺中，通常打印完发光层后需要经过一步真空干燥即VCD工艺，使墨水中的溶剂快速挥发干燥，初步形成较为平整的薄膜形貌，后续再通过一步高温退火来形成致密的薄膜。目前采用的VCD工艺设备，通常是由载体和冷凝板构成，载体用于承载基板，冷凝板位于基板的上部，通过控制冷凝板与基板间的距离以及冷凝板的温度以及腔体内的真空度等来调节薄膜的形貌，这种传统的VCD干燥方式通常称为一维真空干燥(onedimensionVCD)工艺。然而这种工艺很难避免像素(pixel)内的边缘堆积情况，随着功能层的层数增加，边缘堆积的区域会越来越大，最终导致pixel内的均匀有效的发光区越来越小，影响最终显示面板的性能。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种有机薄膜的成膜方法，其特征在于，包括以下步骤：/n将成膜所用墨水打印至成膜槽内形成墨水层；/n对所述墨水层进行第一次干燥，至成膜槽内的墨水层所在的液面与成膜槽的边缘齐平；/n对经过第一次干燥的墨水层进行第二次干燥，得到有机薄膜；其中，所述第一次干燥对应的真空度与所述第二次干燥对应的真空度不一致。/n

【技术特征摘要】
1.一种有机薄膜的成膜方法，其特征在于，包括以下步骤：
将成膜所用墨水打印至成膜槽内形成墨水层；
对所述墨水层进行第一次干燥，至成膜槽内的墨水层所在的液面与成膜槽的边缘齐平；
对经过第一次干燥的墨水层进行第二次干燥，得到有机薄膜；其中，所述第一次干燥对应的真空度与所述第二次干燥对应的真空度不一致。


2.根据权利要求1所述有机薄膜的成膜方法，其特征在于，对经过第一次干燥的墨水层进行第二次干燥，得到有机薄膜的步骤具体包括：
在预设温度下等待预设时间，使所述成膜槽内的墨水层进行凝固；
对经过凝固的墨水层进行第二次干燥，得到有机薄膜。


3.根据权利要求2所述有机薄膜的成膜方法，其特征在于，所述预设温度为-50℃～-5℃，所述预设时间为100s～500s。


4.根据权利要求1-3任一项所述有机薄膜的成膜方法，其特征在于，所述第一次干燥的真空度为20torr～100t...

【专利技术属性】
技术研发人员：史文，陈亚文，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44