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本申请涉及OLED工艺设备技术领域，公开了一种真空腔室，包括：壳体，壳体的第一侧壁上形成有卡匣进入壳体内的入口，第二侧壁和第三侧壁上设有用于驱动卡匣沿垂直于第一侧壁的方向移动的传输机构，传输机构包括壳体内的多个主动轮组件、用于驱动主动轮组件...
该专利属于合肥欣奕华智能机器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥欣奕华智能机器有限公司授权不得商用。

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