用于装配在光阻涂布机上的旋转马达制造技术

一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达，包括：马达本体，所述马达本体内部具有磁铁以及线圈组，所述线圈组围绕在所述磁铁外围，所述磁铁和所述线圈组之间留有间隙以供所述磁铁旋转；真空腔，所述真空腔设置于所述马达本体下方，所述真空腔连接抽气管；转轴，所述转轴中心呈中空，所述转轴插设于所述磁铁中心且向上延伸至所述马达本体外，所述转轴下端向下延伸至所述真空腔内；转盘，所述转盘可拆卸地套合在所述转轴上；所述转轴在所述马达本体内部上方的位置采用第一轴承固定；所述转轴在所述马达本体内部下方的位置采用第二轴承固定。所述旋转马达可以装配在光阻涂布机上，且稳定性高。

【技术实现步骤摘要】
用于装配在光阻涂布机上的旋转马达
本专利技术涉及半导体制造设备领域，尤其涉及一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达。
技术介绍
旋转马达主要是包括定子(Stator)以及转子(Rotor)。定子(Stator)与转子(Rotor)之间具有空隙。定子(Stator)固定不动，而转子(Rotor)则通常由轴承支撑，以相对定子旋转。使用在光阻涂布机上的旋转马达，通常以永久磁铁作为转子，在永久磁铁中心插设转轴，以外围的线圈组作为定子。为了将晶圆固定在转轴上进行旋转，通常，用在光阻涂布机上的旋转马达需要在转轴上方套入转盘，再将整个结构，放置入真空箱体内。之后，将晶圆放置在所述转盘上后，对整个真空箱体抽真空，从而使晶圆吸附在转盘上，并且使得在旋转马达旋转过程中，晶圆可以稳固地吸附在转盘一同转动，从而以便相应的喷嘴机构均匀地将光阻液涂布在旋转中的晶圆上。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达，以更好地实现对晶圆的转动操作，以更好地帮助实现光阻涂布。为解决上述问题，本专利技术提供了一种用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达，其特征在于，包括：/n马达本体，所述马达本体内部具有磁铁以及线圈组，所述线圈组围绕在所述磁铁外围，所述磁铁和所述线圈组之间留有间隙以供所述磁铁旋转；/n真空腔，所述真空腔设置于所述马达本体下方，所述真空腔连接抽气管；/n转轴，所述转轴中心呈中空，所述转轴插设于所述磁铁中心且向上延伸至所述马达本体外，所述转轴下端向下延伸至所述真空腔内；/n转盘，所述转盘可拆卸地套合在所述转轴上；/n所述转轴在所述马达本体内部上方的位置采用第一轴承固定；/n所述转轴在所述马达本体内部下方的位置采用第二轴承固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达，其特征在于，包括：
马达本体，所述马达本体内部具有磁铁以及线圈组，所述线圈组围绕在所述磁铁外围，所述磁铁和所述线圈组之间留有间隙以供所述磁铁旋转；
真空腔，所述真空腔设置于所述马达本体下方，所述真空腔连接抽气管；
转轴，所述转轴中心呈中空，所述转轴插设于所述磁铁中心且向上延伸至所述马达本体外，所述转轴下端向下延伸至所述真空腔内；
转盘，所述转盘可拆卸地套合在所述转轴上；
所述转轴在所述马达本体内部上方的位置采用第一轴承固定；
所述转轴在所述马达本体内部下方的位置采用第二轴承固定。


2.如权利要求1所述的旋转马达，其特征在于，所述转轴伸入所述真空腔内的下端收缩成漏斗状。


3.如权利要求2所述的旋转马达，其特征在于，所述真空腔内具有至少两个弹片，所述弹片用于支撑所述转轴伸入所述真空腔内的下端。


4.如权利要求3所述的旋转马达，其特征在于，还包括编码器，所述编码器围绕住所述转轴下端的编码器，所述编码器设于所述马达本体和所述真空腔的交界处，所述编码器用于计算所述转轴的转动圈数。


5.如权利要求4所述的旋转马达，其特征在于，所述马达本体呈桶状，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹安和，
申请(专利权)人：芯米厦门半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35