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一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达，包括：马达本体，所述马达本体内部具有磁铁以及线圈组，所述线圈组围绕在所述磁铁外围，所述磁铁和所述线圈组之间留有间隙以供所述磁铁旋转；真空腔，所述真空腔设置于所述马达本体下方，所述真空腔连接抽气管；转轴，...
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