一种贮槽式液氦低温吸附泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种贮槽式液氦低温吸附泵，涉及到低温泵技术领域，包括贮槽罐、机壳和制冷箱，机壳通过螺栓安装在贮槽罐顶部，制冷箱通过支杆焊接在贮槽罐一侧，贮槽罐与制冷箱之间熔接有连接管，连接管内焊接有单向气阀，单向气阀内设置有内腔，内腔的内壁两侧分别设置有进气口和排气槽，内腔的内壁上通过弹簧焊接有轻质挡片，轻质挡片一侧紧贴在进气口一侧，制冷箱的内壁上通过螺栓安装有制冷板，机壳的内壁上通过螺栓安装有低温泵，贮槽罐上设置有开关组和接线插头，接线插头通过电线与开关组连接，开关组通过电线分别与制冷板和低温泵连接，具有安全性好，密封效果好的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种贮槽式液氦低温吸附泵
本技术涉及低温泵
，特别涉及一种贮槽式液氦低温吸附泵。
技术介绍
低温吸附泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面，贮槽式液氦低温泵是低温泵的一种，把液氦容器抽真空减压到6650帕，液氦温度可降到2.3K，则可得到更低的极限压力，但是现在的贮槽式液氦低温吸附泵大都存在一定的不足，一方面，普通的贮槽式液氦低温吸附泵通过贮槽罐储存液氦，但在温度较高时，内部液氦会出现气化，罐内压强增加可能会出现爆炸，因此存在危险性，另一方面，低温泵与贮槽罐之间经常出现泄漏情况，因此现在需要一种贮槽式液氦低温吸附泵来帮助解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种贮槽式液氦低温吸附泵，以解决上述
技术介绍
中提出的具有危险性，密封效果差的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种贮槽式液氦低温吸附泵，包括贮槽罐、机壳和制冷箱，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种贮槽式液氦低温吸附泵，包括贮槽罐(1)、机壳(2)和制冷箱(3)，其特征在于：所述机壳(2)通过螺栓安装在所述贮槽罐(1)顶部，所述制冷箱(3)通过支杆焊接在所述贮槽罐(1)一侧，所述贮槽罐(1)与所述制冷箱(3)之间熔接有连接管(4)，所述连接管(4)内焊接有单向气阀(5)，所述单向气阀(5)内设置有内腔，所述内腔的内壁两侧分别设置有进气口(6)和排气槽(7)，所述内腔的内壁上通过弹簧(8)焊接有轻质挡片(9)，所述轻质挡片(9)一侧紧贴在所述进气口(6)一侧，所述制冷箱(3)的内壁上通过螺栓安装有制冷板(10)，所述机壳(2)的内壁上通过螺栓安装有低温泵(11)，所述贮槽罐(1)上...

【技术特征摘要】
1.一种贮槽式液氦低温吸附泵，包括贮槽罐(1)、机壳(2)和制冷箱(3)，其特征在于：所述机壳(2)通过螺栓安装在所述贮槽罐(1)顶部，所述制冷箱(3)通过支杆焊接在所述贮槽罐(1)一侧，所述贮槽罐(1)与所述制冷箱(3)之间熔接有连接管(4)，所述连接管(4)内焊接有单向气阀(5)，所述单向气阀(5)内设置有内腔，所述内腔的内壁两侧分别设置有进气口(6)和排气槽(7)，所述内腔的内壁上通过弹簧(8)焊接有轻质挡片(9)，所述轻质挡片(9)一侧紧贴在所述进气口(6)一侧，所述制冷箱(3)的内壁上通过螺栓安装有制冷板(10)，所述机壳(2)的内壁上通过螺栓安装有低温泵(11)，所述贮槽罐(1)上设置有开关组(12)和接线插头(13)，所述接线插头(13)通过电线与所述开关组(12)连接，所述开关组(12)通过电线分别与所述制冷板(10)和所述低温泵(11)连接。


2.根据权利要求1所述的一种贮槽式液氦低温吸附泵，其特征在于：所述机壳(2)底部焊接有衔接管(14)，所述贮槽罐(1)顶部设置有通口，所述衔接管(14)卡设在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，周国忠，
申请(专利权)人：苏州朗道节能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32