【技术实现步骤摘要】
内置式低温泵
本专利技术涉及低温泵领域，尤其涉及了一种内置式低温泵。
技术介绍
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。日常使用状态下，低温泵安装于真空处理装置的真空腔室上。由于低温泵采用低温吸附原理，工作一段时间后，一级冷板和二级冷板表面形成气体冷凝霜层，当霜层过厚时，冷板表面温度升高，对气体吸附作用减弱甚至停止，失去抽气作用，整个低温泵即达到了气吸附的极限。分析和测试结果均表明，决定低温泵中低温泵的抽速和吸留极限的主要因素在于：相对于冷板的气体入口的面积、气体入口与冷板之间的距离和角度位置，冷板及冷板上粘连活性炭的量等。市场生产厂提供的低温泵，大都将冷板和防辐射屏装在泵壳内，通过泵口对真空容器抽气。在该工作状态下：(1)泵口的面积极大的限制了低温泵的抽速；(2)冷板与抽口距离不一致，冷板的吸留不...
【技术保护点】
1.内置式低温泵，其特征在于：包括制冷机(1)和冷板组件(2)，制冷机(1)与冷板组件(2)连接并冷却冷板组件(2)，还包括泵口法兰(3)，制冷机(1)和冷板组件(2)均固装在泵口法兰(3)上，泵口法兰(3)与待真空腔室(5)的开口处配合并实现密封，冷板组件(2)伸入待真空腔室(5)内并通过泵口法兰(3)进行固定；还包括与冷板组件(2)连接的加热棒(4)，加热棒(4)位于待真空腔室(5)内。/n
【技术特征摘要】
1.内置式低温泵，其特征在于：包括制冷机(1)和冷板组件(2)，制冷机(1)与冷板组件(2)连接并冷却冷板组件(2)，还包括泵口法兰(3)，制冷机(1)和冷板组件(2)均固装在泵口法兰(3)上，泵口法兰(3)与待真空腔室(5)的开口处配合并实现密封，冷板组件(2)伸入待真空腔室(5)内并通过泵口法兰(3)进行固定；还包括与冷板组件(2)连接的加热棒(4)，加热棒(4)位于待真空腔室(5)内。
2.根据权利要求1所述的内置式低温泵，其特征在于：泵口法兰(3)上安装有密封圈(31)，密封圈(31)位于泵口法兰(3)和待真空腔室(5)之间；泵口法兰(3)上还设有用于放置供电线和/或信号传输线的排线孔(32)。
3.根据权利要求1所述的内置式低温泵，其特征在于：冷板组件(2)包括一级冷板(21)和二级冷板(22)，制冷机(1)上设有一级冷头和二级冷头，一级冷头和二级冷头均通过泵口法兰(3)伸入待真空腔室(5)内并分别与一级冷板(21)和二级冷板(22)连接进行制冷。
4.根据权利要求3所述的内置式低温泵，其特征在于：一级冷板(21)和二级冷板(22)均圆周分布，一级冷板(21)分布在二级冷板(22)外；一级冷板(21)为紫铜板，一级冷板(21)外设有镀银抛光层，一级冷板(21)上的温度为50k～60k；二级冷板(22)为紫铜板，二级冷板(22)外设有镀银抛光层，二级冷板(22)的内壁上设有活性炭，二级冷板(22)上的冷却温度为7k～8k。
5.根据权利要求3所述的内置式低温泵，其特征在于：一级冷板(21)包括一级底板(211)和多个一级百叶板(212)，一级底板(211)为环形板或圆形板，一级百叶板(212)竖直放置并圆周固定在一级底板(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈家富，冯寅兵，呼鹏，
申请(专利权)人：浙江博开机电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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