一种低温泵的热桥结构及低温泵制造技术

本实用新型专利技术涉及制冷技术领域，公开一种低温泵的热桥结构及低温泵。其中低温泵的热桥结构包括一级冷却台、二级冷却台及电磁驱动器，一级冷却台上设有第一连接件，二级冷却台上设有第二连接件，电磁驱动器的一端设有第三连接件，电磁驱动器能够驱动第三连接件以连接第一连接件和第二连接件，使一级冷却台与二级冷却台之间传递热量。本实用新型专利技术提供的低温泵的热桥结构，在制冷组件开始降温且一级冷却台的温度低于二级冷却台的温度时，电磁驱动器驱动第三连接件使第一连接件和第二连接件连接，两者的温度达到相同后第一连接件和第二连接件断开，一级冷却台和二级冷却台进行单独降温，降温时间大幅减少。

Thermal bridge structure of a cryopump and cryopump

【技术实现步骤摘要】
一种低温泵的热桥结构及低温泵
本技术涉及制冷
，尤其涉及一种低温泵的热桥结构及低温泵。
技术介绍
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。对于两级制冷式低温泵，在工作状态下，两级冷却台需要降温至20K以下，低温泵才能获取最佳的抽气能力。但是由于两级冷却台之间存在温差，使得两级冷却台的降温时间明显增长。
技术实现思路
基于以上所述，本技术的目的在于提供一种低温泵的热桥结构及低温泵，解决了现有技术存在的由于两级制冷式低温泵的两级冷却台之间存在温差而造成的两级冷却台的降温时间长的问题。为达上述目的，本技术采用以下技术方案：一种低温泵的热桥结构，包括一级冷却台、二级冷却台及电磁驱动器，所述一级冷却台上设有第一连接件，所述二级冷却台上设有第二连接件，所述电磁驱动器的一端设有第三连接件，所述电磁驱动器能够驱动所述第三连接件以连接所述第一连接件和所述第二连接件，使所述一级冷却台与所述二级冷却台之间传递热量。作为一种低温泵的热桥结构的优选方案，所述第一连接件为铜连接件或铝连接件。作为一种低温泵的热桥结构的优选方案，所述第二连接件为铜连接件或铝连接件。作为一种低温泵的热桥结构的优选方案，所述第三连接件为铜连接件或铝连接件。作为一种低温泵的热桥结构的优选方案，所述第一连接件可拆卸连接于所述一级冷却台，所述第二连接件可拆卸连接于所述二级冷却台。作为一种低温泵的热桥结构的优选方案，所述第三连接件为弧形板。作为一种低温泵的热桥结构的优选方案，所述第三连接件上设有安装孔，所述电磁驱动器设于所述安装孔处。一种低温泵，包括上述任一方案所述的低温泵的热桥结构和壳体，所述壳体上设有腔室和与所述腔室连通的吸气口，所述低温泵的热桥结构位于所述腔室内。作为一种低温泵的优选方案，所述低温泵还包括低温组件和防辐射组件，所述防辐射组件位于所述低温组件与所述壳体之间且包围所述低温组件，所述防辐射组件被配置保护所述低温组件免受来自所述壳体的辐射热。作为一种低温泵的优选方案，所述防辐射组件包括防辐射屏和防辐射板，所述防辐射屏和所述防辐射板分开设置或一体成型为一体成型件。本技术的有益效果为：本技术提供的低温泵的热桥结构，在制冷组件开始降温且一级冷却台的温度低于二级冷却台的温度时，电磁驱动器驱动第三连接件使第一连接件和第二连接件连接，一级冷却台和二级冷却台之间传递热量，两者的温度达到相同后电磁驱动器驱动第三连接件使第一连接件和第二连接件断开，然后一级冷却台和二级冷却台进行单独降温，与现有技术相比，大大减少了降温时间。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。图1是本技术具体实施例提供的低温泵的示意图；图2是本技术具体实施例提供的低温泵的电磁驱动器的示意图；图3是本技术具体实施例提供的低温泵的第三连接件的示意图。图中：11-一级冷却台，12-第一连接件，21-二级冷却台，22-第二连接件，3-电磁驱动器，31-电磁驱动器本体，32-电磁驱动器连接杆，4-第三连接件，41-安装孔，5-壳体，51-吸气口，6-低温组件，7-防辐射组件，71-防辐射屏，72-防辐射板。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本实施例提供一种低温泵的热桥结构，如图1至图3所示，该结构包括一级冷却台11、二级冷却台21及电磁驱动器3，一级冷却台11上设有第一连接件12，二级冷却台21上设有第二连接件22，电磁驱动器3的一端设有第三连接件4，制冷组件不工作时，第一连接件12与第二连接件22断开，一级冷却台11和二级冷却台21之间没有传递热量。当制冷组件开始降温且一级冷却台11的温度低于二级冷却台21的温度时，电磁驱动器3驱动第三连接件4使第一连接件12和第二连接件22连接，一级冷却台11和二级冷却台21之间传递热量，加快了二级冷却台21的温度的降低，直至一级冷却台11的温度与二级冷却台21的温度相同，电磁驱动器3驱动第三连接件4使第一连接件12和第二连接件22断开，此后，一级冷却台11和二级冷却台21单独降温。本实施例提供的低温泵的热桥结构，在制冷组件开始降温且一级冷却台11的温度低于二级冷却台21的温度时，电磁驱动器3驱动第三连接件4使第一连接件12和第二连接件22连接，一级冷却台11和二级冷却台21之间传递热量，加快了二级冷却台21的温度的降低，两者的温度达到相同后，电磁驱动器3驱动第三连接件4使第一连接件12和第二连接件22断开，然后一级冷却台11和二级冷却台21进行单独降温，与现有技术相比，大大减少了降温时间。为了减少一级冷却台11和二级冷却台21的导热时间，要求上述第一连接件12、第二连接件22及第三连接件4均需要具有较好的导热性能，从而使得第一连接件12、第二连接件22及第三连接件4的热流密度聚集，加速一级冷却台11和二级冷却台21的热量传递。具体地，本实施例的第一连接件12、第二连接件22及第三连接件4均为铜连接件。当然，本技术的第一连接件12的材料、第二连接件22的材料及第三连接件4的材料并不限于本实施例的这种均由铜制成的情况，还可以是均由铝或其他导热性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低温泵的热桥结构，其特征在于，包括一级冷却台(11)、二级冷却台(21)及电磁驱动器(3)，所述一级冷却台(11)上设有第一连接件(12)，所述二级冷却台(21)上设有第二连接件(22)，所述电磁驱动器(3)的一端设有第三连接件(4)，所述电磁驱动器(3)能够驱动所述第三连接件(4)以连接所述第一连接件(12)和所述第二连接件(22)，使所述一级冷却台(11)与所述二级冷却台(21)之间传递热量。/n

【技术特征摘要】
1.一种低温泵的热桥结构，其特征在于，包括一级冷却台(11)、二级冷却台(21)及电磁驱动器(3)，所述一级冷却台(11)上设有第一连接件(12)，所述二级冷却台(21)上设有第二连接件(22)，所述电磁驱动器(3)的一端设有第三连接件(4)，所述电磁驱动器(3)能够驱动所述第三连接件(4)以连接所述第一连接件(12)和所述第二连接件(22)，使所述一级冷却台(11)与所述二级冷却台(21)之间传递热量。


2.根据权利要求1所述的低温泵的热桥结构，其特征在于，所述第一连接件(12)为铜连接件或铝连接件。


3.根据权利要求1所述的低温泵的热桥结构，其特征在于，所述第二连接件(22)为铜连接件或铝连接件。


4.根据权利要求1所述的低温泵的热桥结构，其特征在于，所述第三连接件(4)为铜连接件或铝连接件。


5.根据权利要求1所述的低温泵的热桥结构，其特征在于，所述第一连接件(12)可拆卸连接于所述一级冷却台(11)，所述第二连接件(22)可拆卸连接于所述二级冷却台(21)。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯苌春，郭如勇，杜希阳，汤洪明，
申请(专利权)人：苏州八匹马超导科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32