低温泵制造技术

本发明专利技术提供一种低温泵，所述低温泵包括：压缩机，所述压缩机提供冷源；至少两个冷凝井，所述冷凝井分别与所述压缩机相连接，并与所述压缩机之间形成闭合循环回路；所述冷凝井分别与机台相连接，使得所述机台中的气体在所述冷凝井中降温，以通过所述冷凝井对所述机台进行抽气。本发明专利技术可实现冷凝井的交替再生，提高机台的稼动率，且根据机台的具体情况，可设置不同的冷凝井，在提高机台的稼动率的同时，还可降低成本。

Cryopump

【技术实现步骤摘要】
低温泵
本专利技术属于半导体设备领域，涉及一种低温泵。
技术介绍
在高真空系统中，低温泵(Cryopump)是常用的抽真空机具，其是利用低温进行气体的表面冷凝，又称为冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率大、极限压力低的清洁真空，被广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。低温泵的抽气原理：利用低温表面来冷凝、吸附和捕集气体，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚(厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多，这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。由于低温泵采用冷头吸附，工作一段时间后，冷头被气体凝结的固体所覆盖，表面温度升高，对气体吸附作用减弱甚至停止，失去抽气作用，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低温泵，其特征在于，所述低温泵包括：/n压缩机，所述压缩机提供冷源；/n至少两个冷凝井，所述冷凝井分别与所述压缩机相连接，并与所述压缩机之间形成闭合循环回路；所述冷凝井分别与机台相连接，使得所述机台中的气体在所述冷凝井中降温，以通过所述冷凝井对所述机台进行抽气。/n

【技术特征摘要】
1.一种低温泵，其特征在于，所述低温泵包括：
压缩机，所述压缩机提供冷源；
至少两个冷凝井，所述冷凝井分别与所述压缩机相连接，并与所述压缩机之间形成闭合循环回路；所述冷凝井分别与机台相连接，使得所述机台中的气体在所述冷凝井中降温，以通过所述冷凝井对所述机台进行抽气。


2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述冷凝井间隔排布，或所述冷凝井之间具有隔热层。


3.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述冷凝井包含制冷机，所述制冷机包括GM制冷机、斯特林制冷机及脉管制冷机中的一种或组合。


4.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述冷凝井包含一级冷头及二级冷头中的一种或组合，所述一级冷头提供的温度范围包括65K～80K，所述二级冷头提供的温度范围包括10K～14K。


5.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于：所述冷凝井包含辐射罩，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：林振旺，庄尚裕，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37