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本发明提供一种低温泵，所述低温泵包括：压缩机，所述压缩机提供冷源；至少两个冷凝井，所述冷凝井分别与所述压缩机相连接，并与所述压缩机之间形成闭合循环回路；所述冷凝井分别与机台相连接，使得所述机台中的气体在所述冷凝井中降温，以通过所述冷凝井对所...
该专利属于芯恩(青岛)集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩(青岛)集成电路有限公司授权不得商用。

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