一种实现晶圆盘升降的固晶机内环模组及其升降方法技术

本发明专利技术提供一种实现晶圆盘升降的固晶机内环模组，包括内环、旋转环、同步带环以及用于使得内环升降的传动机构；所述同步带环套设于旋转环；所述旋转环套设于内环，内环设置有用于固定晶圆盘的安装机构；所述传动机构包括在内环开设的向上倾斜的运动槽以及固定在旋转环上的滚子滚针轴承；工作时，通过驱动同步带环带动旋转环旋转，使得旋转环上的滚子滚针轴承沿运动槽移动，以实现用于固定晶圆盘的内环螺旋式升降。本发明专利技术还提供一种可实现晶圆盘稳定升降的晶圆盘升降方法。本发明专利技术内环模组设计精巧、结构简单、对晶圆盘升降传动准确和能承受较大载荷，不仅可实现固晶机的晶圆盘稳定升降，而且可降低晶圆的加工成本和提高晶圆的加工精度。

【技术实现步骤摘要】
一种实现晶圆盘升降的固晶机内环模组及其升降方法
本专利技术涉及固晶机设备
，更具体地说，涉及一种实现晶圆盘升降的固晶机内环模组及其升降方法。
技术介绍
随着摄像头模组、智能芯片、LED芯片等广泛应用于智能手机、智能家居、智能汽车，其产业规模也不断扩大，固晶机作为生产核心零部件感光芯片(晶圆)的必备设备之一，实现其晶圆盘的自动退料、上料、固定、移动等功能对打破国内生产厂家过度依赖进口设备的困境起着至关重要的作用。现有的摄像模组生产设备固晶机一般由抓手模组、顶板模组、内环模组和XY模组四大模块组成，其中，顶板模组用于固定晶圆盘，工作时，内环模组上升与顶板模组配合，绷紧蓝膜，从而达到加工晶圆的目的。相较于发达国家的固晶机，在加工晶圆时，大多采用丝杠进给运动，将回转运动转换为直线运动，从而实现晶圆盘的升降，达到加工晶圆的目的。然而，丝杠加工精度要求过高，国内加工水平远远达不到精密晶圆加工要求，且丝杠承载能力较低、对环境要求过高，成本也比较大，因此，现有的固晶机设备在成本、加工精度和加工稳定性等方面还有待提升。<br>
技术实现思路
<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种实现晶圆盘升降的固晶机内环模组，其特征在于：包括内环、旋转环、同步带环以及用于使得内环升降的传动机构；所述同步带环套设于旋转环；所述旋转环套设于内环，内环设置有用于固定晶圆盘的安装机构；所述传动机构包括在内环开设的向上倾斜的运动槽以及固定在旋转环上的滚子滚针轴承；工作时，通过驱动同步带环带动旋转环旋转，使得旋转环上的滚子滚针轴承沿运动槽移动，以实现用于固定晶圆盘的内环螺旋式升降。/n

【技术特征摘要】
1.一种实现晶圆盘升降的固晶机内环模组，其特征在于：包括内环、旋转环、同步带环以及用于使得内环升降的传动机构；所述同步带环套设于旋转环；所述旋转环套设于内环，内环设置有用于固定晶圆盘的安装机构；所述传动机构包括在内环开设的向上倾斜的运动槽以及固定在旋转环上的滚子滚针轴承；工作时，通过驱动同步带环带动旋转环旋转，使得旋转环上的滚子滚针轴承沿运动槽移动，以实现用于固定晶圆盘的内环螺旋式升降。


2.根据权利要求1所述的实现晶圆盘升降的固晶机内环模组，其特征在于：所述运动槽为沿内环侧壁开设的至少两段运动槽；每段运动槽位于内环侧壁的位置均相同。


3.根据权利要求2所述的实现晶圆盘升降的固晶机内环模组，其特征在于：每段所述运动槽包括用于保证内环初始上升运动稳定性的水平轨道和用于内环升降的倾斜轨道；所述水平轨道和倾斜轨道相互连接。


4.根据权利要求2所述的实现晶圆盘升降的固晶机内环模组，其特征在于：每段所述运动槽的两端均设置有用于限制旋转环与内环之间位置的凹槽；限制旋转环与内环之间位置时，滚子滚针轴承位于凹槽内。


5.根据权利要求2所述的实现晶圆盘升降的固晶机内环模组，其特征在于：所述滚子滚针轴承的数量与运动槽的数量相等。


6.根据权利要求1所述的实现晶圆盘升降的固晶机内环模组...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兴伟，赵永杰，余洁，卢新建，谢伟凯，
申请(专利权)人：广东省智行机器人科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44