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本发明提供一种实现晶圆盘升降的固晶机内环模组，包括内环、旋转环、同步带环以及用于使得内环升降的传动机构；所述同步带环套设于旋转环；所述旋转环套设于内环，内环设置有用于固定晶圆盘的安装机构；所述传动机构包括在内环开设的向上倾斜的运动槽以及固定...
该专利属于广东省智行机器人科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东省智行机器人科技有限公司授权不得商用。

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