使用线材的搬送机构和使用了它的热处理炉及热处理方法技术

本发明专利技术涉及在热处理炉内用于依次搬送太阳电池基板等被加热物的搬送机构和使用了它的热处理炉以及热处理方法，还涉及使被加热物以从炉内壳隔离的状态来支撑的炉内支撑方法。本发明专利技术是在对被加热物进行热处理的热处理炉内为了依次搬送多个上述被加热物而使用的搬送机构。本发明专利技术的搬送机构具有设置成相对于上述热处理炉移动的线材（５），把被加热物（１０）放置在线材（５）上，通过使线材（５）移动来进行被加热物（５）的搬送。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在热处理炉内用于依次搬送太阳电池基板等被加热物的搬送机构和使用了它的热处理炉以及热处理方法，还涉及使被加热物以从炉内壳隔离的状态来支撑的炉内支撑方法。
技术介绍
原来，活动梁能够用作对金属进行热处理时的炉内搬送机构，但在近年来，在炉内对等离子体显示器面板基板那种薄型基板进行干燥时也使用，并且现在还在研究用于太阳电池基板的热处理。这种用途扩大的主要理由是，活动梁与例如一般用作对太阳电池基板进行热处理时的炉内搬送机构的网带式输送机等相比显热容量小，可预见到热处理所要的能量成本大幅地降低及迅速地升降温。在用活动梁把太阳电池基板那样在基材背面的中央部也形成有电极导电胶等功能薄膜材料的基板搬送到炉内的场合，在梁上设置仅在基板的外周近旁部与基板接触的支撑栓以便不与功能薄膜材料的形成部分干涉，通过该支撑栓把基板支撑在梁上。然而，如前所述，对做成仅在其外周近旁部通过支撑栓把基板支撑在梁上的活动梁来说，在搬送中因热冲击或某种振动而在基板上产生破裂的场合，由于不能支撑该破裂的基板，从而不进行正常的搬送而在处理工程的途中停住，并且，此后依次被搬送的基板堆积于此，产生许多次品。此外，在产生这种基板的破裂时，由于不得不停止工程来进行去除次品的作业等，从而热处理炉的工作效率低。并且，活动梁虽然如前所述与网带式输送机相比显热容量小，但需要开发热容量更低的搬送机构。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这种原有技术的状况而提出来的，其目的是提供热容量与原有的活动梁同等或在其之下，同时，即使在热处理炉内搬送中的基板等被加热物产生破裂时也能够防止该破裂的被加热物的恶劣影响于未然，可以正常地搬送剩下的被加热物的搬送机构。采用本专利技术，提供在对被加热物进行热处理的热处理炉中为了依次搬送多个上述被加热物而使用的搬送机构，具有设置成相对于上述热处理炉移动的线材，把上述被加热物放置在上述线材上，通过使上述线材移动来搬送上述被搬送物的搬送机构(第一搬送机构)。此外，采用本专利技术，提供在对板状的被加热物进行热处理的热处理炉内为了依次搬送多个上述被加热物而使用的搬送机构，具有以所定间隔配置成相对于上述热处理炉进行不同动作的2种线材，或者相互间以所定间隔配置成一个固定在上述热处理炉上同时另一个相对于上述热处理炉移动的2种线材，上述2种线材在搬送路径的中间线左右两侧分别配置成每多根平行，在上述2种线材的每个上，沿搬送方向隔开间隔安装多个仅与上述被加热物的边缘部接触来支撑上述被加热物的支撑器具。此外，采用本专利技术，提供一种具备上述第一或第二搬送机构的热处理炉。采用本专利技术，提供一种在热处理炉内一边使用上述第一或第二搬送机构进行被加热物的搬送，一边进行上述被加热物的热处理的热处理方法。再有，采用本专利技术，提供一种在对被加热物进行热处理的热处理炉内，通过把上述被加热物支撑在热处理炉内绷紧的线材上，使上述被加热物从炉内壳隔离的被加热物的炉内支撑方法。本专利技术的搬送机构较好是设置在保持与相对于上述热处理炉移动的线材轻轻接触的状态下与上述线材同期动作的振动抑制部件。此外，本专利技术的搬送机构在上述被加热物是在基材上形成有薄膜功能材料时，其中特别是在基材的背面的中央部也形成有电极导电胶等功能薄膜材料的太阳电池基板等场合特别有用。附图说明图1是示意本专利技术的第一搬送机构的实施方式的一个例子的说明图。图2是示意本专利技术的第一搬送机构的实施方式的另一个例子的说明图。图3是展示振动抑制部件的设置方法的说明图。图4是展示线材与振动抑制部件的接触状态的说明图。图5是展示放置基板的方法的一个例子的说明图。图6是展示放置基板的方法的另一个例子的说明图。图7是示意本专利技术的第二搬送机构的实施方式的一个例子的说明图。图8(a)是安装在固定侧线材上的支撑器具的俯视图。图8(b)是安装在固定侧线材上的支撑器具的侧视图。图9(a)是安装在移动侧线材上的支撑器具的俯视图。图9(b)是安装在移动侧线材上的支撑器具的侧视图。图10是从搬送方向所见的用安装在固定侧线材上的支撑器具支撑被加热物时的状态的侧视图。图11是从搬送方向所见的用安装在移动侧线材上的支撑器具支撑被加热物时的状态的侧视图。图12(a)～12(e)是展示在第二搬送机构中2种线材相对于热处理炉进行不同的动作来构成时的搬送动作的一个例子的说明图。图13是展示用安装在配置于搬送路径的中间线右侧的线材的支撑器具和安装在配置于左侧的线材的支撑器具在搬送方向中的位置错开的说明图。具体实施例方式以下，利用其实施方式对本专利技术的搬送机构进行具体说明。本专利技术的第一搬送机构是在对太阳电池基板等被加热物进行热处理的热处理炉内，为了依次搬送例如在基板上形成有功能薄膜材料的大致四边形的多个基板所使用的机构。本专利技术的第一搬送机构是基于代替原来的活动梁中的梁而使用线状物或链状物那种线材的想法而提出的方案，其特征在于，具有设置成相对于热处理炉移动的线材，把被加热物放置在上述线材上，通过使上述线材移动进行上述被加热物的搬送。作为具体的结构，可以是做成所谓的双活动梁那样，以所定的间隔配置成相对于热处理炉进行相互不同的活动梁动作的2种线材组成，也可以做成如一般的活动梁那样，以所定间隔配置成一边是固定在热处理炉的固定侧线材同时另一方相对于热处理炉使活动梁动作的移动侧线材那样的2种线材组成。此外，可以采用并用线材和梁的结构，也可以例如由固定在热处理炉上、在上面具备所定高度的支撑栓的梁和设置成相对于热处理炉移动的线材组成。考虑到支撑被支撑物时的稳定性，使这些线材和梁的数目各种在2根或其以上，较好是3根或其以下。还有，在本专利技术中，所谓‘活动梁动作’是指周期性地重复进行原来一般所知道的活动梁的动作，即上升→前进→下降→后退的移动动作。上述2种线材或者线材和梁在被加热物的外周近旁部与被加热物接触，没有发生破裂的被加热物支撑在上述2种线材或线材和梁上。发生了破裂的被加热物容易从上述2种线材或线材和梁之间脱落到热处理炉的炉床上。在本专利技术的第一搬送机构中，通过这样使用线材作为搬送机构，即使在搬送中被加热物发生破裂的场合，也可能通过使该破裂的被加热物自由地掉落到炉床上，正常地搬送剩余的被加热物来继续搬送。图1是示意本专利技术的第一搬送机构的实施方式的一个例子的说明图。固定在炉上不移动的固定侧线材1，把一端固定在固定侧线材2、另一端固定在固定侧平衡块3上。由于固定侧平衡块3通过固定侧滑轮4固定在固定侧线材1上，所以与固定侧线材1的拉伸无关，能够一直使相同的张力施加到固定侧线材1上。同样地，相对于炉移动的移动侧线材5把一端固定在移动侧线材支架6上，另一端固定在移动侧平衡块7上。由于移动侧平衡块7通过移动侧滑轮8固定在移动侧线材5上，所以与移动侧线材5的拉伸无关，能够一直使相同的张力施加到固定侧线材5上。还有，在图1中，所示的是被加热物为太阳电池基板，该基板10的宽度为15cm时，2根固定侧线材1相互以13～14cm的间隔平行地配置，移动侧线材5相互以12～13cm的间隔平行地配置的场合。移动侧线材支架6和移动侧滑轮8被支撑在驱动机构(未图示)上。驱动机构能够采用与周期地重复上升、前进、下降、后退的动作的，即所谓的一般的活动梁的动作的驱动机构相同的结构。因此，该移动侧线材5能够同样地周期地进行上述的动作。在该搬送本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬送机构，是在对被加热物进行热处理的热处理炉内为依次搬送多个上述被加热物而使用的搬送机构，其特征在于：具有设置成相对于上述热处理炉移动的线材，把上述被加热物放置在上述线材上，通过使上述线材移动来进行上述被加热物的搬送。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木道郎，近藤良夫，伊藤俊尾，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]