【技术实现步骤摘要】
一种升降式独立直驱真空机械手
本专利技术涉及一种机械手,具体地说是一种升降式独立直驱真空机械手。
技术介绍
在半导体器件的制造过程中,许多工序操作都需要在真空腔室中进行,而如图1所示,半导体晶片主要通过真空机械手在不同真空腔室中传递,并送至相应工位。真空蛙手是真空机械手的一种重要构型,但现有技术中的真空蛙手多为单蛙手结构,虽然根据实际需要也出现了双臂蛙手结构,但现有技术中的双臂蛙手两侧的手指手臂位于同一平面上且呈180°布置,并且两侧手臂共用一个旋转大臂实现旋转,单个手臂并非独立转动,这在传递晶片过程中存在较大局限。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种升降式独立直驱真空机械手,各个手臂分别通过相应的直驱电机单独驱动转动,且一轴手臂和二轴手臂同步升降,三轴手臂和四轴手臂同步升降,这大大提高了各个手臂使用的灵活性,有助于真空腔室内传片,并且大大提高了工作效率。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:一种升降式独立直驱真空机械手,包括机械手组件和外壳体,所述机械手组件包括一轴手臂、二轴手臂、三轴手臂和四轴手臂,所述外壳体内设有可升降的第一转接座和可升降的第二转接座,且第一转接座下端设有三轴直驱电机、上端设有四轴直驱电机,第二转接座下端设有一轴直驱电机、上端设有二轴直驱电机,所述外壳体设有多个转子轴,其中一轴转子轴上端与一轴手臂固连、下端穿过第一转接座和二轴直驱电机后与一轴直驱电机固连,二轴转子轴套设于一轴转子轴外侧,且二轴转子轴上端与二轴手臂固连、下端穿过第一转接座后与二轴直 ...
【技术保护点】
1.一种升降式独立直驱真空机械手,其特征在于:包括机械手组件(2)和外壳体(4),所述机械手组件(2)包括一轴手臂(5)、二轴手臂(6)、三轴手臂(7)和四轴手臂(8),所述外壳体(4)内设有可升降的第一转接座(10)和可升降的第二转接座(13),且第一转接座(10)下端设有三轴直驱电机(18)、上端设有四轴直驱电机(17),第二转接座(13)下端设有一轴直驱电机(20)、上端设有二轴直驱电机(19),所述外壳体(4)内设有多个转子轴,其中一轴转子轴(24)上端与一轴手臂(5)固连、下端穿过第一转接座(10)和二轴直驱电机(19)后与一轴直驱电机(20)固连,二轴转子轴(23)套设于一轴转子轴(24)外侧,且二轴转子轴(23)上端与二轴手臂(6)固连、下端穿过第一转接座(10)后与二轴直驱电机(19)固连,三轴转子轴(22)套设于二轴转子轴(23)外侧,且三轴转子轴(22)上端与三轴手臂(7)固连、下端穿过四轴直驱电机(17)后与三轴直驱电机(18)固连,四轴转子轴(21)套设于三轴转子轴(22)外侧,且四轴转子轴(21)上端与四轴手臂(8)固连、下端与四轴直驱电机(17)固连。/n
【技术特征摘要】
1.一种升降式独立直驱真空机械手,其特征在于:包括机械手组件(2)和外壳体(4),所述机械手组件(2)包括一轴手臂(5)、二轴手臂(6)、三轴手臂(7)和四轴手臂(8),所述外壳体(4)内设有可升降的第一转接座(10)和可升降的第二转接座(13),且第一转接座(10)下端设有三轴直驱电机(18)、上端设有四轴直驱电机(17),第二转接座(13)下端设有一轴直驱电机(20)、上端设有二轴直驱电机(19),所述外壳体(4)内设有多个转子轴,其中一轴转子轴(24)上端与一轴手臂(5)固连、下端穿过第一转接座(10)和二轴直驱电机(19)后与一轴直驱电机(20)固连,二轴转子轴(23)套设于一轴转子轴(24)外侧,且二轴转子轴(23)上端与二轴手臂(6)固连、下端穿过第一转接座(10)后与二轴直驱电机(19)固连,三轴转子轴(22)套设于二轴转子轴(23)外侧,且三轴转子轴(22)上端与三轴手臂(7)固连、下端穿过四轴直驱电机(17)后与三轴直驱电机(18)固连,四轴转子轴(21)套设于三轴转子轴(22)外侧,且四轴转子轴(21)上端与四轴手臂(8)固连、下端与四轴直驱电机(17)固连。
2.根据权利要求1所述的升降式独立直驱真空机械手,其特征在于:所述一轴转子轴(24)上端设有一轴转接块(32)与所述一轴手臂(5)固连;所述二轴手臂(6)设于一轴手臂(5)下侧,且二轴转子轴(23)上端设有二轴转接盘(33)与所述二轴手臂(6)固连,所述一轴转子轴(24)上端穿过所述二轴转接盘(33);所述三轴手臂(7)设于二轴手臂(6)下侧,且三轴转子轴(22)上端设有三轴转接盘(34)与三轴手臂(7)固连,所述二轴转子轴(23)上端穿过所述三轴转接盘(34);所述四轴手臂(8)设于三轴手臂(7)下侧,且四轴转子轴(21)上端设有四轴转接盘(35)与四轴手臂(8)固连,所述三轴转子轴(22)上端穿过所述四轴转接盘(35)。
3.根据权利要求1所述的升降式独立直驱真空机械手,其特征在于:所述第一转接座(10)和第二转接座(13)均与所述外壳体(4)滑动连接,所述外壳体(4)内设有第一升降机构和第二升降机构,且所述第一转接座(10)通过所述第一升降机构驱动升降,所述第二转接座(13)通过第二升降机构驱动升降。
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【专利技术属性】
技术研发人员:杨国峰,张鹏,边弘晔,徐方,常志勇,谭学科,
申请(专利权)人:沈阳新松机器人自动化股份有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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