处理装置、装置管理控制器、程序以及半导体器件的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种处理装置、装置管理控制器、程序以及半导体器件的制造方法。其技术课题为，容易地掌握处理装置可否稳定地运转。解决手段为：提供了如下结构，至少具有：对构成装置的结构部件的状态进行监视的部件管理控制部、对从构成装置的结构部件的动作状态得到的装置数据的健全性进行监视的装置状态监视控制部、对从工厂设备提供给装置的设备数据进行监视的数据匹配控制部，基于从由部件管理控制部所获取的保养时期监视结果数据、装置状态监视控制部所获取的装置状态监视结果数据和数据匹配控制部所获取的用力监视结果数据构成的组中选择的多个监视结果数据，来导出对装置的运用状态进行评价的信息。

【技术实现步骤摘要】
处理装置、装置管理控制器、程序以及半导体器件的制造方法本申请是申请日为2017年3月6日，申请号为201710128701.7，专利技术名称为“处理装置、装置管理控制器、以及装置管理方法”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及对衬底进行处理的衬底处理装置，例如，涉及可掌握对衬底进行成膜处理的半导体制造装置的运转状态的技术。
技术介绍
在半导体制造领域中，为了谋求衬底处理装置的运转率和生产效率的提高，以器件制造商(半导体器件的制造商)为主体进行着装置的信息管理。作为基本的监视方法，通常使用如下方法：通过服务器收集半导体制造装置的信息，利用统计解析技术等来检查装置的异常。例如，在专利文献1中记载了对数据的健全性进行管理的方法，在专利文献2中记载了与发生了数据异常时的异常解析有关的技术，在专利文献3中记载了对构成衬底处理装置的部件进行保养管理的技术。这些技术是与衬底处理装置连接的管理装置对衬底处理装置的运转状态进行管理的技术。但是，今后，器件的精细化进一步推进，并且装置的数据量有增加的倾向，为此谋求着不增加器件制造商的负担地、在装置侧进行自我监视的生产管理。而且，已成为IoT(InternetofThings：物联网)强化时代，谋求着在装置侧进行数据处理的技术。因此，有必要采取用于使装置更加稳定运转的对策。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5855841号公报专利文献2：日本专利第5546197号公报专利文献3：日本专利第3300816号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，能够提供表示衬底处理装置能否稳定地运转的信息的构成。根据本专利技术的一个方案，提供如下的结构：至少具有对构成装置的结构部件的状态进行监视的部件管理控制部、对从构成装置的结构部件的动作状态得到的装置数据的健全性进行监视的装置状态监视控制部、和对从工厂设备提供给装置的设备数据进行监视的数据匹配控制部，基于从由部件管理控制部所获取的保养时期监视结果数据、装置状态监视控制部所获取的装置状态监视结果数据和数据匹配控制部所获取的用力(必需能力)监视结果数据构成的组中选择的多个监视结果数据，来导出对装置的运用状态进行评价的信息。专利技术效果根据上述结构，能够提供表示衬底处理装置能否稳定地运转的信息。附图说明图1是表示适合用于本专利技术的一实施方式的衬底处理装置的立体图。图2是表示适合用于本专利技术的一实施方式的衬底处理装置的侧剖视图。图3是表示适合用于本专利技术的一实施方式的控制系统的功能结构的图。图4是表示适合用于本专利技术的一实施方式的主控制器的功能结构的图。图5是表示适合用于本专利技术的一实施方式的衬底处理系统的结构的图。图6是说明适合用于本专利技术的一实施方式的装置管理控制器的功能结构的图。图7是说明本专利技术的一实施方式的汇总画面显示程序的处理流程的图。图8是表示本专利技术的一实施方式的装置的运用状态的汇总画面的显示例的图。图9是本专利技术的一实施方式的装置的运转状态的诊断方法项目列表的一图示例。图10是说明本专利技术的一实施方式的数据匹配动作的图。图11是说明本专利技术的一实施方式的文件匹配的显示画面的图。图12是本专利技术的一实施方式的文件匹配的处理流程图。图13是本专利技术的一实施方式的保养部件管理的处理流程图。图14是表示本专利技术的一实施方式的装置状态监视控制部的功能结构的图。图15是本专利技术的一实施方式的装置状态监视的处理流程图。图16是说明本专利技术的一实施方式的装置状态监视的图。图17是本专利技术的一实施方式的数据解析支援控制的处理流程图。图18是表示本专利技术的一实施方式的装置的运用状态的汇总画面的显示例的图。附图标记说明1…衬底处理装置(装置)、201…主控制器(操作部)、215…装置管理控制器、215b…画面显示控制部、215c…数据匹配控制部、215d…部件管理控制部、215e…装置状态监视控制部、215h…存储部、227…操作显示部。具体实施方式(衬底处理装置的概要)以下，参照附图对本专利技术的一实施方式进行说明。首先，在图1、图2中，对实施本专利技术的衬底处理装置(以下，有时仅称为装置)1进行说明。衬底处理装置1具备壳体2，在该壳体2的正面壁3的下部开设有为了维护而设置的正面口4，正面口4通过正面门5而被开闭。在壳体2的正面壁3上以将壳体2的内外连通的方式开设有晶片盒(pod)搬入搬出口6，晶片盒搬入搬出口6通过前闸门7而被开闭，在晶片盒搬入搬出口6的正面前方侧设置有装载口(loadport)8，装载口8构成为将所载置的晶片盒9对位。晶片盒9是密闭式的衬底搬送容器，通过未图示的工序内搬送装置而被搬入到装载口8上，或者从装载口8上搬出。在壳体2内的前后方向的大致中央部的上部设置有旋转式晶片盒架11，该旋转式晶片盒架11构成为收纳多个晶片盒9。旋转式晶片盒架11具备：垂直地立起设置并间歇旋转的支柱12；和在上中下层的各位置处呈放射状支承在该支柱12上的多层架板13。架板13构成为以载置多个晶片盒9的状态收纳晶片盒9。在旋转式晶片盒架11的下方设有晶片盒开启器14，该晶片盒开启器14载置晶片盒9，还具有能够对该晶片盒9的盖进行开闭的结构。在装载口8、旋转式晶片盒架11、晶片盒开启器14之间设置有晶片盒搬送机构15。晶片盒搬送机构15能够保持晶片盒9地升降、且能够在水平方向上前进后退，构成为在装载口8、旋转式晶片盒架11、晶片盒开启器14之间搬送晶片盒9。在壳体2内的前后方向上的大致中央部的下部，在后端的范围内设有副壳体16。在该副壳体16的正面壁17以上下两层排列地开设有一对晶片搬入搬出口(衬底搬入搬出口)19，该晶片搬入搬出口19用于相对于副壳体16内搬入搬出晶片(以后，也称为衬底)18。对各个衬底搬入搬出口19设有晶片盒开启器14。晶片盒开启器14具备：载置晶片盒9的载置台21、和对晶片盒9的盖进行开闭的开闭机构22。晶片盒开启器14构成为，通过开闭机构22对载置于载置台21的晶片盒9的盖进行开闭，由此对晶片盒9的晶片出入口进行开闭。副壳体16构成相对于配设有晶片盒搬送机构15和旋转式晶片盒架11的空间(晶片盒搬送空间)为气密的移载室23。在移载室23的前侧区域设置有晶片移载机构(衬底移载机构)24，该衬底移载机构24具备载置衬底18的所需张数(在图示中为5张)的晶片载置板25。晶片载置板25能够在水平方向上直线移动、在水平方向上旋转，并能够升降。衬底移载机构24构成为相对于舟皿(以后，也称为衬底保持体)26进行衬底18的装填及推出。在移载室23的后侧区域，构成收容舟皿26并使舟皿26待机的待机部27，在该待机部27的上方设有纵型的处理炉28。处理炉28在内部形成处理室29，该处理室29的下端部成为炉口部，该炉口部通过炉口闸门31而被开闭本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种处理装置，其特征在于，/n具备装置管理控制器，该装置管理控制器具有对构成装置的结构部件的部件数据进行监视的部件管理控制部、对从构成装置的结构部件的动作状态得到的装置数据的健全性进行监视的装置状态监视控制部、和对从工厂设备提供给装置的设备数据进行监视的数据匹配控制部中的至少多个控制部，/n所述装置管理控制器构成为，基于所述部件管理控制部所获取的保养时期监视结果数据、所述装置状态监视控制部所获取的装置状态监视结果数据和所述数据匹配控制部所获取的必须能力监视结果数据中的至少多个监视结果数据，导出对所述装置数据、所述部件数据、所述设备数据中的至少多个数据进行评价并表示装置的运用状态的信息。/n

【技术特征摘要】
20160329 JP 2016-065604;20170224 JP 2017-0332151.一种处理装置，其特征在于，
具备装置管理控制器，该装置管理控制器具有对构成装置的结构部件的部件数据进行监视的部件管理控制部、对从构成装置的结构部件的动作状态得到的装置数据的健全性进行监视的装置状态监视控制部、和对从工厂设备提供给装置的设备数据进行监视的数据匹配控制部中的至少多个控制部，
所述装置管理控制器构成为，基于所述部件管理控制部所获取的保养时期监视结果数据、所述装置状态监视控制部所获取的装置状态监视结果数据和所述数据匹配控制部所获取的必须能力监视结果数据中的至少多个监视结果数据，导出对所述装置数据、所述部件数据、所述设备数据中的至少多个数据进行评价并表示装置的运用状态的信息。


2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，
所述装置管理控制器构成为，导出表示所述装置的运用状态的指数，该表示所述装置的运用状态的指数是根据从由所述保养时期监视结果数据、所述装置状态监视结果数据和所述必须能力监视结果数据构成的组中选择的至少一个监视结果数据中的、被判定为异常的监视结果数据而计算出的。


3.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，
所述装置管理控制器构成为，针对包含装置的结构部位的多个诊断对象项目的每一个，对所述保养时期监视结果数据或者所述装置状态监视结果数据判定异常的程度。


4.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，
所述数据匹配控制部构成为，分别对与从工厂设备供给的项目即顾客必须能力项目有关的所述设备数据和成为该设备数据的基准的基准数据进行比较，来判定所述设备数据是否异常。


5.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，
还具有显示装置，该显示装置显示从由所述保养时期监视结果数据、所述装置状态监视结果数据和所述必须能力监视结果数据构成的组中选择的至少一个监视结果数据，
所述数据匹配控制部构成为，将对所述设备数据和所述基准数据进行比较而判定为异常的所述必须能力监视结果数据，以表示发生了异常的图标显示于所述显示装置。


6.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，
所述装置管理控制器具备存储主装置的装置名称和IP地址的存储部，
所述数据匹配控制部构成为，在通过所述IP地址进行了与所述主装置的通信连接之后，对通过所述通信连接而获取的所述主装置的装置名称和存储在所述存储部中的所述主装置的装置名称进行核对。


7.根据权利要求6所述的处理装置，其特征在于，
所述数据匹配控制部构成为，在所述核对中装置名称一致的情况下，从所述主装置获取配方文件，并复制该获取的所述主装置的配方文件而作为所述处理装置的配方文件。


8.根据权利要求6所述的处理装置，其特征在于，
所述数据匹配控制部构成为，在所述核对中装置名称一致的情况下，从所述主装置获取参数文件，并对该获取的所述主装置的参数文件和所述处理装置的参数文件进行核对。


9.根据权利要求7或8所述的处理装置，其特征在于，
还具有显示装置，所述显示装置具有显示装置间的文件的复制或核对的结果的操作画面，
所述数据匹配控制部构成为，使所述主装置的配方文件的复制进度状况、或者所述主装置的参数文件的核对进度状况显示到所述显示装置上。


10.根据权利要求9所述的处理装置，其特征在于，
所述数据匹配控制部构成为，使装置间的文件的复制或核对的结果为文件间一致的比例显示到所述显示装置上。


11.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，
所述装置状态监视控制部构成为，对从构成装置的结构部件的动作状态得到的装置数据和与所述装置数据对应的标准数据进行比较，来判定所述装置数据是否异常。


12.根据权利要求11所述的处理装置，其特征在于，
所述装置状态监视控制部构成为，能够与具有成为标准的装置数据的主装...

【专利技术属性】
技术研发人员：浅井一秀，山本一良，林原秀元，川岸隆之，屋敷佳代子，宫田幸男，岩仓裕幸，奥野正则，藤元贤一，锻治隆一，
申请(专利权)人：株式会社国际电气，
类型：发明
国别省市：日本;JP