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本发明提供一种处理装置、装置管理控制器、程序以及半导体器件的制造方法。其技术课题为，容易地掌握处理装置可否稳定地运转。解决手段为：提供了如下结构，至少具有：对构成装置的结构部件的状态进行监视的部件管理控制部、对从构成装置的结构部件的动作状态...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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