收卷式成膜装置和收卷式成膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种收卷式成膜装置，其具有真空容器、膜行进机构、锂源以及第一辊。上述真空容器能够维持减压状态。上述膜行进机构能够在上述真空容器内使膜行进。上述锂源能够在上述真空容器内使锂蒸发。上述第一辊被配置在上述膜的成膜面和上述锂源之间。上述第一辊具有接收从上述锂源蒸发的上述锂的转印图案。上述第一辊一边旋转一边将与上述转印图案对应的锂层的图案转印到上述成膜面。

Rolling film forming device and rolling film forming method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】收卷式成膜装置和收卷式成膜方法
本专利技术涉及一种作为低熔点金属的高速成膜技术的收卷式成膜装置和收卷式成膜方法。
技术介绍
在收卷式成膜装置中，具有一边对卷绕在放卷辊的膜进行放卷一边在将金属蒸镀到该膜后用收卷辊对膜进行收卷的装置。这种收卷式成膜装置被配置成在放卷辊和收卷辊的中途处金属蒸镀源与膜相向(例如，参照专利文献1)。并且，当从金属蒸镀源蒸发的金属附着到膜时，金属在膜上从气相状态变化成固相状态，在膜上形成固相状态的金属层。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2008/018297号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，当将金属层直接蒸镀到金属层时，由于潜热导致膜容易受到热损伤。蒸镀到膜的金属层的厚度越厚该潜热越大，该厚度越厚膜越容易进一步受到热损伤。鉴于如上的情况，本专利技术的目的在于提供一种能够在抑制膜的热损伤的同时对金属层进行成膜的收卷式成膜装置和收卷式成膜方法。用于解决课题的方案为了实现上述目的，本专利技术的一个方式所涉及的收卷式成膜装置具有真空容器、膜行进机构、锂源以及第一辊。上述真空容器能够维持减压状态。上述膜行进机构能够在上述真空容器内使膜行进。上述锂源能够在上述真空容器内使锂蒸发。上述第一辊被配置在上述膜的成膜面和上述锂源之间。上述第一辊具有接收从上述锂源蒸发的上述锂的转印图案。上述第一辊一边旋转一边将与上述转印图案对应的锂层的图案转印到上述成膜面。根据这样的收卷式成膜装置，熔融的上述锂被具有上述转印图案的上述第一辊接收，上述锂层的上述图案从上述第一辊间接地转印到上述膜的上述成膜面。也就是说，通过经由上述第一辊的真空蒸镀和涂敷，锂层在上述膜的上述成膜面被图案化。由此，对上述膜的热损伤被抑制。上述收卷式成膜装置也可以还具有第二辊，其隔着上述膜与上述第一辊相向。根据这样的收卷式成膜装置，上述第二辊隔着上述膜与上述第一辊相接。由此，锂层的图案被从上述第一辊更清晰地转印到上述膜的上述成膜面。在上述收卷式成膜装置中，上述锂源也可以具有蒸镀容器和刮刀。上述蒸镀容器收容上述锂，被配置成上述锂被蒸镀到上述第一辊。上述刮刀对从上述蒸镀容器供给到上述第一辊的上述锂的厚度进行控制。根据这样的收卷式成膜装置，从上述蒸镀容器供给到上述第一辊的上述锂的厚度通过上述刮刀可靠地控制。在上述收卷式成膜装置中，上述锂源也可以具有第三辊、蒸镀容器以及刮刀。上述第三辊与上述第一辊相向。上述蒸镀容器收容上述锂，被配置成上述锂被蒸镀到上述第三辊。上述锂的熔融面与上述第三辊相接。上述刮刀对从上述蒸镀容器供给到上述第三辊的上述锂的厚度进行控制。根据这样的收卷式成膜装置，从上述蒸镀容器供给到上述第一辊的上述锂的厚度通过上述刮刀和上述第三辊更可靠地控制。在上述收卷式成膜装置中，上述锂源也可以具有第三辊、第四辊以及蒸镀容器。上述第三辊与上述第一辊相向。上述第四辊与上述第三辊相向。上述蒸镀容器收容上述锂，被配置成上述锂被蒸镀到上述第四辊。根据这样的收卷式成膜装置，从上述蒸镀容器供给到上述第一辊的上述锂的厚度通过上述第三辊和上述第四辊更可靠地控制。另外，通过使上述第四辊存在，对上述膜的热损伤被进一步抑制。上述收卷式成膜装置也可以在上述第一辊的上游还具有对上述膜的上述成膜面进行清洁的预处理机构。根据这样的收卷式成膜装置，在上述锂层的上述图案被从上述第一辊转印到上述膜的上述成膜面之前，上述膜的上述成膜面被清洁。由此，上述锂层与上述膜的附着力增加。上述的收卷式成膜装置也可以在上述第一辊的下游还具有在上述锂层的表面形成保护层的保护层形成机构。根据这样的收卷式成膜装置，在上述锂层的上述图案被从上述第一辊转印到上述膜的上述成膜面之后，上述锂层由上述保护层保护。上述收卷式成膜装置也可以在上述真空容器内还具有对上述保护层形成机构进行隔离隔离板。根据这样的收卷式成膜装置，上述保护层形成机构由上述隔离板隔离，保护层的成分难以混入上述锂层内。此外，为了实现上述目的，本专利技术的一个方式所涉及的收卷式成膜方法包含以下步骤。在能够维持减压状态的真空容器内使膜行进。将锂蒸镀并供给到形成有转印图案的第一辊。在使上述第一辊旋转的同时，使与上述转印图案对应的锂层的图案接触上述膜的成膜面，从而上述锂层的图案被转印到上述成膜面。根据这样的收卷式成膜装置，蒸镀的上述锂被供给到具有上述转印图案的上述第一辊，上述锂层的上述图案被从上述第一辊间接地转印到上述膜的上述成膜面。也就是说，通过真空蒸镀和涂敷，锂层在上述膜的上述成膜面被图案化。由此，对上述膜的热损伤被抑制。专利技术效果如上所述，根据本专利技术，能够在抑制膜的热损伤的同时对金属层进行成膜。附图说明图1是第一实施方式所涉及的收卷式成膜装置的概要结构图。图2是示出第一实施方式所涉及的收卷式成膜方法的概要流程图。图3是示出第一实施方式所涉及的收卷式成膜装置的工作的概要结构图。图4是第二实施方式所涉及的收卷式成膜装置的概要结构图。图5是第三实施方式所涉及的收卷式成膜装置的概要结构图。图6是示出第三实施方式所涉及的收卷式成膜装置的工作的概要结构图。图7是第四实施方式所涉及的收卷式成膜装置的一部分的概要结构图。具体实施方式以下，一边参照附图一边对本专利技术的实施方式进行说明。在各附图中，有时引入XYZ轴坐标。[第一实施方式]图1是第一实施方式所涉及的收卷式成膜装置的概要结构图。图1所示的收卷式成膜装置1是能够一边使膜60行进一边在膜60涂敷金属层(例如锂层)的收卷式的成膜装置。收卷式成膜装置1具有第一辊11A、锂源20、膜行进机构30以及真空容器70。进而，收卷式成膜装置1具有第二辊12、预处理机构40、排气机构71以及气体供给机构72。第一辊11A为包含不锈钢、铁、铝等金属的筒状构件。第一辊11A被配置在膜60和锂源20之间。第一辊11A与膜60的成膜面60d相向。例如，第一辊11A的辊面11r与膜60的成膜面60d相接。此外，在辊面11r形成有转印图案。转印图案例如为堤状、山状等凸状图案。由此，第一辊11A也称为作为印版滚筒的凸版。第一辊11A能够以其中心轴为中心进行旋转。例如，也可以在收卷式成膜装置1的外部设置使第一辊11A旋转驱动的旋转驱动机构。或者，第一辊11A本身也可以具有旋转驱动机构。例如，在膜60沿箭头A的方向行进时，与膜60相向的第一辊11A顺时针旋转。此时，辊面11r转动的速度(切线速度)被设定为例如与膜60的行进速度相同的速度。由此，在锂的图案形成到辊面11r的情况下，该锂的图案不发生位置偏移地被转印到膜60的成膜面60d。或者，该辊面11r转动的速度也可以被设定为与膜60的行进速度不同(更慢或更快)。也可以利用该速度差来改变锂25的膜厚等。此外，在本实施方式中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种收卷式成膜装置，其具有：/n真空容器，其能够维持减压状态；/n膜行进机构，其能够在所述真空容器内使膜行进；/n锂源，其能够在所述真空容器内使锂蒸发；以及/n第一辊，其被配置在所述膜的成膜面和所述锂源之间，具有接收从所述锂源蒸发的所述锂的转印图案，一边旋转一边将与所述转印图案对应的锂层的图案转印到所述成膜面。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180531 JP 2018-1046751.一种收卷式成膜装置，其具有：
真空容器，其能够维持减压状态；
膜行进机构，其能够在所述真空容器内使膜行进；
锂源，其能够在所述真空容器内使锂蒸发；以及
第一辊，其被配置在所述膜的成膜面和所述锂源之间，具有接收从所述锂源蒸发的所述锂的转印图案，一边旋转一边将与所述转印图案对应的锂层的图案转印到所述成膜面。


2.根据权利要求1所述的收卷式成膜装置，其还具有：
第二辊，其隔着所述膜与所述第一辊相向。


3.根据权利要求1或2所述的收卷式成膜装置，其中，
所述锂源具有：
蒸镀容器，其收容所述锂，被配置成所述锂被蒸镀到所述第一辊；以及
刮刀，其对从所述蒸镀容器供给到所述第一辊的所述锂的厚度进行控制。


4.根据权利要求1或2所述的收卷式成膜装置，其中，
所述锂源具有：
第三辊，其与所述第一辊相向；
蒸镀容器，其收容所述锂，被配置成所述锂被蒸镀到所述第三辊；以及
刮刀，其对从所述蒸镀容器供...

【专利技术属性】
技术研发人员：坂本纯一，斋藤一也，清田淳也，武井应树，横山礼宽，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本;JP