一种半导体材料智能研磨抛光机制造技术

技术编号:24674320 阅读:56 留言:0更新日期:2020-06-27 05:51
本实用新型专利技术属于半导体领域,尤其是一种半导体材料智能研磨抛光机,针对现有的半导体抛光机在对半导体进行抛光时,一般都是将半导体固定在抛光机上的,在一面打磨完成后,还需手工调整位置的问题,现提出如下方案,其包括底座,所述底座的顶部固定安装有两个立柱,且两个立柱相互靠近的一端均转动连接有卡罩,两个卡罩上卡装有同一个半导体棒,两个立柱的顶端固定安装有同一个横梁,所述横梁上滑动连接有U型板,本实用新型专利技术通过将半导体棒卡装在两个卡罩上,之后依次启动驱动马达、打磨电机以及转动电机,即可实现对半导体棒进行全面的打磨,且不需要手工对半导体棒进行调整位置,减少了手工操作,所以在使用时会非常方便。

An intelligent polishing machine for semiconductor materials

【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料智能研磨抛光机
本技术涉及半导体
,尤其涉及一种半导体材料智能研磨抛光机。
技术介绍
半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。现有的半导体抛光机在对半导体进行抛光时,一般都是将半导体固定在抛光机上的,在一面打磨完成后,还需手工调整位置,所以在使用时,比较麻烦,所以我们提出一种半导体材料智能研磨抛光机,用于解决上述所提出的问题。
技术实现思路
基于
技术介绍
存在半导体抛光机在对半导体进行抛光时,一般都是将半导体固定在抛光机上的,在一面打磨完成后,还需手工调整位置的技术问题,本技术提出了一种半导体材料智能研磨抛光机。本技术提出的一种半导体材料智能研磨抛光机,包括底座,底座上固定安装有控制器,所述底座的顶部固定安装有两个立柱,且两个立柱相互靠近的一端均转动连接有卡罩,两个卡罩上卡装有同一个半导体棒,两个立柱的顶端固定安装有同一个横梁,所述横梁上滑动连接有U型板,所述U型板的两侧内壁上均对称转动连接有两个同步轮,且四个同步轮上传动连接有同一个同步带,所述同步带上固定安装有抛光带,所述抛光带与半导体棒相接触。优选的,所述横梁上开设有移动孔,所述横梁的顶部滑动连接有移动板,所述移动板的底部固定安装有滚珠丝杠,所述滚珠丝杠上螺纹连接有连接罩,所述连接罩的底部与U型架的顶部固定连接,利用滚珠丝杠可以使得连接罩进行纵向滑动限位。优选的,所述连接环的顶部对称固定安装有两个安装柱,且两个安装柱的顶端均延伸至连接罩的上方并固定安装有同一个滚珠丝杠螺母,所述滚珠丝杠的底端贯穿滚珠丝杠螺母并延伸至连接罩内,所述滚珠丝杠与连接罩的一侧内壁滑动连接,且滚珠丝杠螺母与滚珠丝杠螺纹连接,利用滚珠丝杠和滚珠丝杠螺母可以方便对连接罩进行随时制动。优选的,所述连接环的底部固定安装有制动齿环,且连接罩的另一侧内壁上固定安装有安装板,所述安装板上滑动连接有移动轴,所述移动轴的顶端延伸至制动齿环内并固定安装有固定齿轮,所述固定齿轮与制动齿环活动啮合,利用制动齿环和固定齿轮可以方便对滚珠丝杠螺母进行弹性限位。优选的,所述移动轴的底端固定安装有拉板,且连接罩的另一侧内壁上开设有滑动孔,所述拉板的一侧贯穿滑动孔并延伸至连接罩的外侧,所述移动轴上套设有拉伸弹簧,且拉伸弹簧位于安装板的下方,所述拉伸弹簧的顶端和底端分别与安装板的顶部和拉板的顶部固定连接,利用拉伸弹簧可以对固定齿轮进行弹性限位,可以防止固定齿轮随意进行移动。优选的,所述U型板的两侧内壁上均对称固定安装有两个固定板,且四个同步轮分别与对应的固定板转动连接,位于一侧的固定板上固定安装有打磨电机,且打磨电机与其中的一个同步轮固定连接,利用打磨电机可以带动抛光带进行运动,以此实现对半导体棒进行打磨的目的。优选的,所述移动板的顶部固定安装有驱动马达,且驱动马达与控制器电性连接,所述移动孔的一侧内壁上固定安装有移动齿条,所述驱动马达的输出轴延伸至移动孔内并固定安装有驱动齿轮,所述驱动齿轮与移动齿条相啮合,利用驱动马达可以方便带动抛光带进行横向移动,以此便可以全面的对半导体棒进行全面的打磨。优选的,位于一侧的立柱上转动连接有连接轴,所述连接轴的一端与位于一侧的卡罩固定连接,所述连接轴的另一端固定安装有传动齿轮,所述底座的顶部一侧滑动连接有传动齿条,所述传动齿条与传动齿轮相啮合,利用传动齿条的移动,可以方便带动传动齿轮进行转动,进一步可以带动半导体棒进行转动。优选的,所述地底座的顶部滑动连接有连接板,且连接板位于立柱的一侧,所述连接板的顶部与传动齿条的底部固定连接,所述底座的顶部一侧固定安装有转动电机,且转动电机与控制器电性连接,所述转动电机的输出轴与连接板传动连接,利用转动电机作为动力源,可以方便带动传动齿条进行横向移动。优选的,所述连接板上开设有连接孔,所述转动电机的输出轴上固定安装有转动柱,所述转动柱的一侧顶部固定安装有挡杆,且挡杆的一端延伸至连接孔并与连接孔活动连接,利用连接孔和挡杆,可以方便将转动柱的转动运动,变为连接板的直线运动。本技术的有益效果是:首先将半导体棒卡装在两个卡罩,然后向下拉动,这时可以向下移动连接罩,使得抛光带与半导体棒进行紧密接触,这时可以释放拉板,便可以在拉伸弹簧的作用下,使得移动轴向上进行移动,实现固定齿轮与制动齿环进行啮合,以达到对连接罩进行固定的目的;同时启动打磨电机和驱动马达,在驱动马达进行工作时,可以带动驱动齿轮进行转动,此时移动齿条的作用下,可以实现带动移动板进行移动,在移动板进行移动时,可以带动U型板进行横向移动,在打磨电机进行工作时,可以带动抛光带进行运动,以此实现对半导体棒进行打磨的目的;最后可以间断的启动转动电机,以此可以带动转动杆按照一定的角度进行转动,这时在挡杆和连接板的作用下,可以带动传动齿条进行横向移动,便会通过传动齿轮使得半导体棒按照一定的角度进行转动,以便全面的对半导体棒进行全面的打磨。本技术通过将半导体棒卡装在两个卡罩上,之后依次启动驱动马达、打磨电机以及转动电机,即可实现对半导体棒进行全面的打磨,且不需要手工对半导体棒进行调整位置,减少了手工操作,所以在使用时会非常方便。附图说明图1为本技术提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的结构主视图;图2为本技术提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的连接罩内部结构主视图;图3为本技术提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的U型板结构侧视图;图4为本技术提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的打磨电机和同步轮连接结构主视图;图5为本技术提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的传动齿条与连接板连接结构侧视图;图6为本技术提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的附图2中的A结构放大图。图中:1底座、2立柱、3卡罩、4横梁、5半导体棒、6移动孔、7移动齿条、8移动板、9驱动马达、10驱动齿轮、11滚珠丝杠、12连接罩、13连接轴、14传动齿轮、15连接板、16转动电机、17转动柱、18连接环、19滚珠丝杠螺母、20制动齿环、21安装板、22移动轴、23固定齿轮、24拉板、25拉伸弹簧、26U型架、27固定板、28同步轮、29同步带、30抛光带、31打磨电机、32传动齿条、33连接孔。具体实施方式下面结合具体实施例对本技术作进一步解说。实施例参考图1-6,本实施例中提出了一种半导体材料智能研磨抛光机,包括底座1,底座1上固定安装有控制器,底座1的顶部固定安装有两个立柱2,且两个立柱2相互靠近的一端均转动连接有卡罩3,两个卡罩3上卡装有同一个半导体棒5,两个立柱1的顶端固定安装有同一个横梁4,横梁4上滑动连接有U型板26,U型板26的两侧内壁上均对称转动连接有两个同步轮28,且四个同步轮28上传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体材料智能研磨抛光机,包括底座,底座上固定安装有控制器,其特征在于,所述底座的顶部固定安装有两个立柱,且两个立柱相互靠近的一端均转动连接有卡罩,两个卡罩上卡装有同一个半导体棒,两个立柱的顶端固定安装有同一个横梁,所述横梁上滑动连接有U型板,所述U型板的两侧内壁上均对称转动连接有两个同步轮,且四个同步轮上传动连接有同一个同步带,所述同步带上固定安装有抛光带,所述抛光带与半导体棒相接触。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体材料智能研磨抛光机,包括底座,底座上固定安装有控制器,其特征在于,所述底座的顶部固定安装有两个立柱,且两个立柱相互靠近的一端均转动连接有卡罩,两个卡罩上卡装有同一个半导体棒,两个立柱的顶端固定安装有同一个横梁,所述横梁上滑动连接有U型板,所述U型板的两侧内壁上均对称转动连接有两个同步轮,且四个同步轮上传动连接有同一个同步带,所述同步带上固定安装有抛光带,所述抛光带与半导体棒相接触。


2.根据权利要求1所述的一种半导体材料智能研磨抛光机,其特征在于,所述横梁上开设有移动孔,所述横梁的顶部滑动连接有移动板,所述移动板的底部固定安装有滚珠丝杠,所述滚珠丝杠上螺纹连接有连接罩,所述连接罩的底部与U型架的顶部固定连接。


3.根据权利要求2所述的一种半导体材料智能研磨抛光机,其特征在于,所述连接罩的内壁上转动连接有连接环,所述连接环的顶部对称固定安装有两个安装柱,且两个安装柱的顶端均延伸至连接罩的上方并固定安装有同一个滚珠丝杠螺母,所述滚珠丝杠的底端贯穿滚珠丝杠螺母并延伸至连接罩内,所述滚珠丝杠与连接罩的一侧内壁滑动连接,且滚珠丝杠螺母与滚珠丝杠螺纹连接。


4.根据权利要求3所述的一种半导体材料智能研磨抛光机,其特征在于,所述连接环的底部固定安装有制动齿环,且连接罩的另一侧内壁上固定安装有安装板,所述安装板上滑动连接有移动轴,所述移动轴的顶端延伸至制动齿环内并固定安装有固定齿轮,所述固定齿轮与制动齿环活动啮合。


5.根据权利要求4所述的一种半导体材料智能研磨抛光机,其特征在于,所述移动轴的底端固定安装有拉板,且连接罩的另一侧内壁上开设有滑动孔,所述拉板的一侧贯穿滑动孔...

【专利技术属性】
技术研发人员:任广慧张培林武建军柴利春王志辉张作文纪永良
申请(专利权)人:大同新成新材料股份有限公司
类型:新型
国别省市:山西;14

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