电极棒四氟绝缘套分离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电极棒四氟绝缘套分离装置，其包括底座；卡座的卡板邻近定位槽的板面上开设有定位盲孔；支撑座的支撑板上水平穿设螺接有螺杆，螺杆与定位盲孔同轴设置。优点：将带有氮化硅套和四氟绝缘套的电极棒放置于定位槽上，电极棒的一端穿过通孔，同时使氮化硅套与定位盲孔抵接，再拧动螺杆，使螺杆的端部顶住电极棒的另一端，并且继续转动螺杆使电极棒向卡板逐渐移动，同时卡板将氮化硅套卡住，氮化硅套又将四氟绝缘套从电极棒上顶出，直至将电极棒从通孔顶出，进而使氮化硅套和四氟绝缘套与电极棒脱离，实现拆卸的目的，保证氮化硅套和电极棒完好无损，能够得到回收利用，节约资源，保护环境。

Separation device of Teflon insulating sleeve for electrode rod

【技术实现步骤摘要】
电极棒四氟绝缘套分离装置
：本技术涉及还原炉用电极棒拆除工具
，特别涉及电极棒四氟绝缘套分离装置。
技术介绍
：多晶硅还原炉是提炼多晶硅的专用设备，多晶硅还原炉包括底盘和设置于底盘上的炉体，底盘上设置有多对电极，每对电极间具有一根硅芯；将提纯后的高纯三氯氢硅与氢气按比例混合后通入多晶硅还原炉内，向电极通电后，在一定温度和压力下，硅芯上进行气相沉积反应生成多晶硅。通常在伸入底盘内的电极上套设有四氟绝缘套，用于隔离还原炉底盘和电极，为了防止电极通电后，底盘带电而发生安全事故，另外还能够起到密封作用；同时在四氟绝缘套上方的电极上还套设有氮化硅套，氮化硅套的底面支撑在底盘的顶面上，起到支撑电极和绝缘作用；但是在长期高温运行环境下，四氟绝缘套容易损坏变形，出现泄漏现象，而泄漏的物料容易使四氟绝缘套粘结在电极棒上，导致拆卸更换四氟绝缘套费时费力，目前的处理方式是人工采用多种利器工具对粘结在电极棒上的四氟绝缘套进行破坏性拆除，但是在拆除过程中，对电极棒和氮化硅套造成不同程度的损坏，进而达不到电极棒和氮化硅套回收利用的目的，只能报废处理，浪费资源本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.电极棒四氟绝缘套分离装置，其特征在于，其包括底座和水平固定于所述底座的顶面的定位槽；所述定位槽两端的所述底座的顶面上相对固定有卡座和支撑座，所述卡座的卡板邻近所述定位槽的板面上开设有定位盲孔，所述卡板上开设有与所述定位盲孔同轴线的通孔；所述支撑座的支撑板上水平穿设螺接有螺杆。/n

【技术特征摘要】
1.电极棒四氟绝缘套分离装置，其特征在于，其包括底座和水平固定于所述底座的顶面的定位槽；所述定位槽两端的所述底座的顶面上相对固定有卡座和支撑座，所述卡座的卡板邻近所述定位槽的板面上开设有定位盲孔，所述卡板上开设有与所述定位盲孔同轴线的通孔；所述支撑座的支撑板上水平穿设螺接有螺杆。


2.根据权利要求1所述的电极棒四氟绝缘套分离装置，其特征在于，所述卡座包括所述卡板、第一锁紧螺钉和固定于所述卡板两侧的所述底座上并相对设置的两个固定块，两个所述固定块相对的侧面竖直开设有第一导向槽，所述卡板的两侧分别固定有一块沿对应所述第一导向槽上下滑动设置的第一导向块；所述固定块上背向所述卡板的侧壁开设有与所述第一导向槽连通的第一通槽，所述第一锁紧螺钉穿过所述第一通槽与所述第一导向块螺接，所述第一锁紧螺钉的螺帽与所述固定块活动接触。


3.根据权利要求1所述的电极棒四氟绝缘套分离装置，其特征在于，所述支撑座包括所述支撑板、第二锁紧螺钉和固定于所述支撑板...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉新会，张京，张斌，韩继文，
申请(专利权)人：内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙;15