【技术实现步骤摘要】
多晶硅还原炉的冷却系统
本技术属于多晶硅生产领域，具体而言，本技术涉及多晶硅还原炉的冷却系统。
技术介绍
多晶硅是太阳能光伏及电子通讯产品类用原料，在光伏电池生产、电子通讯领域中起着举足轻重的作用，因此针对多晶硅生产过程中的各个系统在不断进行优化提升。通过节能降耗的手段来降低多晶硅生产成本是多晶硅生产工作者一直以来孜孜追求的目标。现有多晶硅生产系统中，还原系统是能耗最高、最具有挖潜空间的系统。现有多晶硅生产80％以上采用改良西门子工艺，基本都是采用多晶硅沉积还原炉生产棒状多晶硅，由还原炉钟罩和还原炉底盘构成的空间内有1080℃的高温沉积载体在高纯三氯氢硅与氢气的混合气氛围下实现多晶硅的气相沉积，还原炉钟罩以及底盘在如此高温的环境氛围下需要采用外供冷却介质来降温，确保设备的安全稳定运行。还原炉钟罩的传统冷却介质有高温水、导热油等介质；底盘大都采用水作为降温介质，不同的还原炉炉型采用不同温度等级的水来实施降温。而对于降温介质的热量回收再利用上，各多晶硅生产企业采用的方法千差万别，甚至很多企业不注重这些热量的回收利用，导致...
【技术保护点】
1.一种多晶硅还原炉的冷却系统，其特征在于，包括：/n还原炉，所述还原炉包括钟罩和底盘，所述钟罩设在所述底盘上方，所述底盘设于所述钟罩的底部，所述钟罩具有冷却水第一入口和钟罩高温水出口，所述底盘具有冷却水第二入口和底盘高温水出口，所述底盘高温水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连；/n换热装置，所述换热装置具有钟罩高温水入口和换热后冷却水出口，所述钟罩高温水入口与所述钟罩高温水出口相连，所述换热后冷却水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连。/n
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原炉的冷却系统，其特征在于，包括：
还原炉，所述还原炉包括钟罩和底盘，所述钟罩设在所述底盘上方，所述底盘设于所述钟罩的底部，所述钟罩具有冷却水第一入口和钟罩高温水出口，所述底盘具有冷却水第二入口和底盘高温水出口，所述底盘高温水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连；
换热装置，所述换热装置具有钟罩高温水入口和换热后冷却水出口，所述钟罩高温水入口与所述钟罩高温水出口相连，所述换热后冷却水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉的冷却系统，其特征在于，进一步包括：
第一加压泵，所述第一加压泵与所述换热后冷却水出口相连，所述第一加压泵与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相...
【专利技术属性】
技术研发人员：石何武，张升学，杨永亮，郑红梅，严大洲，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。